1. Chromium fojusi Chromium gẹ́gẹ́ bí ohun èlò fíìmù tí ń tú jáde kìí ṣe pé ó rọrùn láti darapọ̀ mọ́ substrate pẹ̀lú ìsopọ̀ gíga nìkan, ṣùgbọ́n chromium àti oxide tún rọrùn láti ṣe fíìmù CrO3, àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ rẹ̀, resistance acid, àti ìdúróṣinṣin ooru dára jù. Ní àfikún, chromium ní ipò oxidation tí kò pé tún lè ṣe fíìmù absorption tí kò lágbára. A ti ròyìn pé Chromium tí ó mọ́ ju 98% lọ ni a ṣe sí àwọn ibi-afẹde onígun mẹ́rin tàbí àwọn ibi-afẹde chromium onígun mẹ́rin. Ní àfikún, ìmọ̀-ẹ̀rọ lílo ọ̀nà sintering láti ṣe ibi-afẹde onígun mẹ́rin chromium tún ti dàgbà.
2. ITO afojusun ITO. A maa n lo ohun elo afojusun fiimu ITO ti a lo nigba atijo, a maa n lo awọn ohun elo alloy In-Sn lati ṣe awọn afojusun, lẹhinna ninu ilana ibora nipasẹ atẹgun, lẹhinna a ṣe fiimu ITO. Ọna yii nira lati ṣakoso gaasi idahun ati pe ko ni agbara lati ṣe atunṣe daradara. Nitorinaa, ni awọn ọdun aipẹ yii a ti rọpo pẹlu ibi-afẹde sintering ITO. Ilana aṣoju ohun elo afojusun ITO ni ibamu si ipin didara, nipasẹ ọna milling rogodo yoo dapọ patapata, lẹhinna a fi aṣoju idapọ lulú Organic pataki kun yoo dapọ sinu apẹrẹ ti a beere, ati nipasẹ titẹ ti a fi titẹ si, lẹhinna awo naa ni afẹfẹ ni oṣuwọn igbona 100 ℃ / h lẹhin ti o ba di wakati 1 mu, lẹhinna oṣuwọn itutu ti 100 ℃ / h si isalẹ si iwọn otutu yara ati ṣe. Oṣuwọn itutu ti 100 ℃ / h si isalẹ si iwọn otutu yara ati ṣe. Nigbati a ba n ṣe awọn ibi-afẹde, a nilo lati ni didan ọkọ ofurufu afojusun, ki o le yago fun awọn aaye gbigbona ninu ilana sputtering.
3. Wúrà tí a fi wúrà àti wúrà ṣe, tí ó lẹ́wà, tí ó sì ní ìdènà ìbàjẹ́ tó dára, ni ohun èlò ìbòrí ojú ilẹ̀ tí ó dára jùlọ. Ọ̀nà ìbòrí tí a lò nígbà tí a ti fi fíìmù sí ara rẹ̀ tẹ́lẹ̀ jẹ́ kékeré, agbára rẹ̀ kéré, agbára rẹ̀ kò lágbára, àti ìṣòro ìbàjẹ́ omi, nítorí náà, a máa fi àwo gbígbẹ rọ́pò rẹ̀ láìsí àní-àní. Irú àfojúsùn náà ní àfojúsùn ìbòrí, àfojúsùn ìbòrí àdúgbò, àfojúsùn ìbòrí, àfojúsùn ìbòrí àdúgbò àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Ọ̀nà ìmúrasílẹ̀ rẹ̀ jẹ́ nípasẹ̀ ìwọ̀n yíyọ́ afẹ́fẹ́, yíyọ́, yíyípo tútù, yíyọ́, yíyọ́, yíyọ́ ojú ilẹ̀, pípa àti ọ̀pọ̀lọpọ̀ iṣẹ́ bíi ìmúrasílẹ̀ ìlànà náà. Ìmọ̀-ẹ̀rọ yìí ti kọjá àyẹ̀wò ní China, lílo àwọn àbájáde rere.
4. Àfojúsùn ohun èlò oofa. Àfojúsùn ohun èlò oofa ni a sábà máa ń lò fún fífi àwọn orí oofa onípele, àwọn díìsì fíìmù onípele àti àwọn ẹ̀rọ fíìmù onípele mìíràn bò. Nítorí lílo ọ̀nà ìfọ́mọ́ra magnetron DC fún àwọn ohun èlò oofa magnetron jẹ́ ohun tó ṣòro jù. Nítorí náà, àwọn ibi-àfojúsùn CT pẹ̀lú ohun tí a ń pè ní “irú ibi-àfojúsùn” ni a ń lò fún ìmúrasílẹ̀ irú àwọn ibi-àfojúsùn bẹ́ẹ̀. Ìlànà náà ni láti gé ọ̀pọ̀lọpọ̀ àlàfo kúrò lórí ojú ohun èlò oofa náà kí a lè ṣẹ̀dá ètò oofa náà lórí ojú ibi-àfojúsùn ohun èlò oofa onípele, kí ojú ibi-àfojúsùn lè ṣẹ̀dá pápá oofa orthogonal kí ó sì ṣe àṣeyọrí ète fíìmù oofa magnetron. Wọ́n sọ pé sisanra ohun èlò oofa yìí lè dé 20mm.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Jan-24-2024