1. குரோமியம் இலக்கு: ஸ்பட்டரிங் ஃபிலிம் பொருளாக குரோமியம், அதிக ஒட்டுதலுடன் அடி மூலக்கூறுடன் எளிதில் இணைவது மட்டுமல்லாமல், குரோமியம் மற்றும் ஆக்சைடு இணைந்து CrO3 ஃபிலிமை உருவாக்குவதால், அதன் இயந்திர பண்புகள், அமில எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை சிறப்பாக உள்ளன. மேலும், முழுமையற்ற ஆக்சிஜனேற்ற நிலையில் உள்ள குரோமியத்தால் ஒரு பலவீனமான உறிஞ்சும் ஃபிலிமையும் உருவாக்க முடியும். 98%-க்கும் அதிகமான தூய்மையுள்ள குரோமியத்தைக் கொண்டு செவ்வக இலக்குகள் அல்லது உருளை வடிவ குரோமியம் இலக்குகள் தயாரிக்கப்படுவதாகத் தெரிவிக்கப்பட்டுள்ளது. மேலும், குரோமியம் செவ்வக இலக்கை உருவாக்க சின்டரிங் முறையைப் பயன்படுத்தும் தொழில்நுட்பமும் முதிர்ச்சியடைந்துள்ளது.
2. ITO இலக்கு தயாரிப்பு: கடந்த காலத்தில், ITO படல இலக்கு மூலப்பொருளைத் தயாரிக்க, பொதுவாக In-Sn கலப்புலோகப் பொருட்கள் பயன்படுத்தப்பட்டன. பின்னர், பூச்சு செயல்முறையின் போது ஆக்சிஜன் மூலம் ITO படலம் உருவாக்கப்பட்டது. இந்த முறையில் வினை வாயுவைக் கட்டுப்படுத்துவது கடினம் மற்றும் இதன் மீண்டும் மீண்டும் செய்யும் திறன் குறைவாக இருந்தது. எனவே, சமீபத்திய ஆண்டுகளில் இது ITO சின்டரிங் இலக்கால் மாற்றப்பட்டுள்ளது. ITO இலக்கு மூலப்பொருளின் வழக்கமான செயல்முறை, அதன் தர விகிதத்தின்படி, பால் மில்லிங் முறையில் முழுமையாகக் கலக்கப்படும். பின்னர், சிறப்பு கரிமப் பொடி கலவைப் பொருளைச் சேர்த்து தேவையான வடிவத்தில் கலக்கப்படும். பிறகு, அழுத்தப்பட்ட அமுக்கத்திற்கு உட்படுத்தப்பட்டு, பின்னர் அந்தத் தகடு காற்றில் 100℃/மணி என்ற வெப்பமூட்டும் விகிதத்தில் 1600℃ வரை 1 மணி நேரம் வைத்திருக்கப்பட்டு, பின்னர் 100℃/மணி என்ற குளிரூட்டும் விகிதத்தில் அறை வெப்பநிலைக்குக் கொண்டுவரப்பட்டு தயாரிக்கப்படுகிறது. இலக்குகளைத் தயாரிக்கும் போது, ஸ்பட்டரிங் செயல்முறையில் வெப்பப் புள்ளிகளைத் தவிர்ப்பதற்காக, இலக்கின் தளம் மெருகூட்டப்பட வேண்டும்.
3. தங்கம் மற்றும் தங்கக் கலப்புலோக இலக்குகள், கவர்ச்சிகரமான பளபளப்பு மற்றும் நல்ல அரிப்பு எதிர்ப்புத் திறனைக் கொண்டுள்ளன. இவை அலங்கார மேற்பரப்பு பூச்சுகளுக்கு உகந்த பொருட்களாகும். கடந்த காலத்தில் பயன்படுத்தப்பட்ட ஈரப் பூச்சு முறையில், படல ஒட்டுதல் குறைவாகவும், வலிமை குறைவாகவும், தேய்மான எதிர்ப்புத் திறன் குறைவாகவும் இருந்தது. மேலும், கழிவு திரவத்தால் ஏற்படும் மாசுபாடு போன்ற பிரச்சனைகளும் இருந்தன. எனவே, தவிர்க்க முடியாமல் உலர் பூச்சு முறையால் இது மாற்றப்பட்டது. இலக்குகளின் வகைகளில் சமதள இலக்கு, கலப்பு இலக்கு, குழாய் இலக்கு, கலப்பு குழாய் இலக்கு போன்றவை அடங்கும். இதன் தயாரிப்பு முறையானது, முக்கியமாக வெற்றிட உருக்குதல், ஊறவைத்தல், குளிர் உருட்டல், பதப்படுத்துதல், நுண் உருட்டல், வெட்டுதல், மேற்பரப்பு சுத்தம் செய்தல், குளிர் உருட்டல் கலப்புப் பொதி போன்ற தொடர்ச்சியான செயல்முறைகள் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது. இந்தத் தொழில்நுட்பம் சீனாவில் மதிப்பீட்டில் தேர்ச்சி பெற்றுள்ளது, மேலும் இதன் பயன்பாடு நல்ல பலன்களைத் தருகிறது.
4. காந்தப் பொருள் இலக்கு (Magnetic material target) என்பது முக்கியமாக மென்படல காந்தத் தலைகள், மென்படல வட்டுகள் மற்றும் பிற காந்த மென்படல சாதனங்களைப் பூசுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. காந்தப் பொருட்களுக்கு DC மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் முறையைப் பயன்படுத்துவதால், மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் செய்வது மிகவும் கடினமாகிறது. எனவே, அத்தகைய இலக்குகளைத் தயாரிப்பதற்கு, "இடைவெளி இலக்கு வகை" (gap target type) எனப்படும் CT இலக்குகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இதன் கொள்கை என்னவென்றால், இலக்குப் பொருளின் மேற்பரப்பில் பல இடைவெளிகளை வெட்டி எடுப்பதாகும். இதன் மூலம், காந்த அமைப்பானது காந்தப் பொருள் இலக்கின் மேற்பரப்பில் கசிவு காந்தப்புலத்தை உருவாக்க முடியும். இதனால், இலக்கின் மேற்பரப்பு ஒரு செங்குத்து காந்தப்புலத்தை உருவாக்கி, மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் படலத்தின் நோக்கத்தை அடைய முடிகிறது. இந்த இலக்குப் பொருளின் தடிமன் 20 மி.மீ. வரை இருக்கலாம் என்று கூறப்படுகிறது.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
பதிவிட்ட நேரம்: ஜனவரி 24, 2024