១. គោលដៅក្រូមីញ៉ូម ក្រូមីញ៉ូមជាសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តបាញ់មិនត្រឹមតែងាយស្រួលក្នុងការផ្សំជាមួយស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានភាពស្អិតខ្ពស់ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងក្រូមីញ៉ូម និងអុកស៊ីដដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្ត CrO3 ផងដែរ លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច ភាពធន់នឹងអាស៊ីត និងស្ថេរភាពកម្ដៅរបស់វាគឺល្អជាង។ លើសពីនេះ ក្រូមីញ៉ូមនៅក្នុងស្ថានភាពអុកស៊ីតកម្មមិនពេញលេញក៏អាចបង្កើតខ្សែភាពយន្តស្រូបយកខ្សោយផងដែរ។ ក្រូមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធជាង 98% ត្រូវបានគេរាយការណ៍ថាត្រូវបានផលិតទៅជាគោលដៅចតុកោណកែង ឬគោលដៅក្រូមីញ៉ូមរាងស៊ីឡាំង។ លើសពីនេះ បច្ចេកវិទ្យានៃការប្រើប្រាស់វិធីសាស្ត្រស៊ីនធើរដើម្បីបង្កើតគោលដៅក្រូមីញ៉ូមរាងចតុកោណកែងក៏មានភាពចាស់ទុំផងដែរ។
2. ការរៀបចំគោលដៅ ITO សម្ភារៈគោលដៅខ្សែភាពយន្ត ITO ដែលធ្លាប់ប្រើពីមុន ជាធម្មតាប្រើសម្ភារៈយ៉ាន់ស្ព័រ In-Sn ដើម្បីបង្កើតគោលដៅ ហើយបន្ទាប់មកនៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូតតាមរយៈអុកស៊ីសែន ហើយបន្ទាប់មកបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ITO។ វិធីសាស្រ្តនេះពិបាកក្នុងការគ្រប់គ្រងឧស្ម័នប្រតិកម្ម និងមានភាពផលិតឡើងវិញមិនល្អ។ ដូច្នេះ ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ គោលដៅស៊ីនធឺរ ITO ត្រូវបានជំនួស។ ដំណើរការធម្មតានៃសម្ភារៈគោលដៅ ITO គឺយោងទៅតាមសមាមាត្រគុណភាព តាមរយៈវិធីសាស្ត្រកិនបាល់នឹងត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងពេញលេញ ហើយបន្ទាប់មកបន្ថែមសមាសធាតុម្សៅសរីរាង្គពិសេសដែលនឹងត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាទៅជារូបរាងដែលត្រូវការ ហើយតាមរយៈការបង្ហាប់សម្ពាធ ហើយបន្ទាប់មកបន្ទះនៅក្នុងខ្យល់ក្នុងអត្រាកំដៅ 100 ℃ / ម៉ោងដល់ 1600 ℃ បន្ទាប់ពីសង្កត់ 1 ម៉ោង ហើយបន្ទាប់មកអត្រាត្រជាក់ 100 ℃ / ម៉ោងចុះដល់សីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ហើយផលិត។ អត្រាត្រជាក់ 100 ℃ / ម៉ោងចុះដល់សីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ហើយផលិត។ នៅពេលផលិតគោលដៅ ផ្ទៃគោលដៅត្រូវបានទាមទារឱ្យប៉ូលា ដើម្បីជៀសវាងចំណុចក្តៅក្នុងដំណើរការ sputtering។
៣. គោលដៅមាស និងយ៉ាន់ស្ព័រមាស ភ្លឺរលោងទាក់ទាញ ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងការច្រេះល្អ គឺជាសម្ភារៈថ្នាំកូតផ្ទៃតុបតែងដ៏ល្អ។ វិធីសាស្រ្តស្រោបដោយស្រទាប់សើមដែលប្រើក្នុងអតីតកាលគឺមានភាពស្អិតជាប់នៃខ្សែភាពយន្តតូច កម្លាំងទាប ធន់នឹងការកកិតមិនល្អ ក៏ដូចជាបញ្ហាបំពុលសារធាតុរាវកាកសំណល់ ដូច្នេះជៀសមិនរួចត្រូវបានជំនួសដោយការស្រោបដោយស្រទាប់ស្ងួត។ ប្រភេទគោលដៅមានគោលដៅរាបស្មើ គោលដៅសមាសធាតុក្នុងស្រុក គោលដៅបំពង់ គោលដៅបំពង់សមាសធាតុក្នុងស្រុក និងដូច្នេះនៅលើ។ វិធីសាស្រ្តរៀបចំរបស់វាភាគច្រើនគឺតាមរយៈកម្រិតនៃការរលាយក្នុងសុញ្ញកាស ការជ្រលក់ ការរមូរត្រជាក់ ការដុត ការរមូរល្អ ការកាត់ ការសម្អាតផ្ទៃ កញ្ចប់សមាសធាតុរមូរត្រជាក់ និងដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់ដូចជាការរៀបចំដំណើរការ។ បច្ចេកវិទ្យានេះបានឆ្លងកាត់ការវាយតម្លៃនៅក្នុងប្រទេសចិន ការប្រើប្រាស់លទ្ធផលល្អ។
៤. គោលដៅសម្ភារៈម៉ាញេទិក គោលដៅសម្ភារៈម៉ាញេទិកភាគច្រើនត្រូវបានប្រើសម្រាប់ដាក់ក្បាលម៉ាញេទិកស្តើង ឌីសស្តើង និងឧបករណ៍ស្តើងម៉ាញេទិកផ្សេងទៀត។ ដោយសារតែការប្រើប្រាស់វិធីសាស្ត្របាញ់ម៉ាញេទិក DC សម្រាប់សម្ភារៈម៉ាញេទិក ការបាញ់ម៉ាញេទិកគឺពិបាកជាង។ ដូច្នេះ គោលដៅ CT ដែលមានអ្វីដែលគេហៅថា "ប្រភេទគោលដៅគម្លាត" ត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការរៀបចំគោលដៅបែបនេះ។ គោលការណ៍គឺកាត់ចន្លោះជាច្រើននៅលើផ្ទៃនៃសម្ភារៈគោលដៅ ដើម្បីឱ្យប្រព័ន្ធម៉ាញេទិកអាចត្រូវបានបង្កើតនៅលើផ្ទៃនៃដែនម៉ាញេទិកលេចធ្លាយគោលដៅសម្ភារៈម៉ាញេទិក ដើម្បីឱ្យផ្ទៃគោលដៅអាចបង្កើតដែនម៉ាញេទិកអ័រថូហ្គោណាល់ និងសម្រេចបាននូវគោលបំណងនៃខ្សែភាពយន្តបាញ់ម៉ាញេទិក។ គេនិយាយថាកម្រាស់នៃសម្ភារៈគោលដៅនេះអាចឡើងដល់ 20 មីលីម៉ែត្រ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ មករា-២៤-២០២៤