عدة مواد مستهدفة شائعة

1. هدف الكروم: يتميز الكروم، كمادة لطبقة الترسيب بالرش، بسهولة اندماجه مع الركيزة بفضل قوة التصاقه العالية، كما أنه يتحد مع أكسيد الكروم لتكوين طبقة CrO3، مما يُحسّن خصائصه الميكانيكية ومقاومته للأحماض وثباته الحراري. إضافةً إلى ذلك، يُمكن للكروم في حالة الأكسدة غير الكاملة تكوين طبقة امتصاص ضعيفة. وقد أُفيد بتصنيع أهداف مستطيلة أو أسطوانية من الكروم بنقاوة تزيد عن 98%. علاوةً على ذلك، فإن تقنية استخدام طريقة التلبيد لتصنيع أهداف الكروم المستطيلة ناضجة.
٢. تحضير هدف ITO: في السابق، كان يُستخدم عادةً سبيكة الإنديوم والقصدير (In-Sn) لتحضير هدف ITO، ثم تُطلى هذه المادة بالأكسجين لتكوين طبقة ITO. إلا أن هذه الطريقة يصعب التحكم في غاز التفاعل وتتميز بضعف قابلية التكرار. لذلك، استُبدلت في السنوات الأخيرة بأهداف ITO المُلبدة. تتم عملية تحضير هدف ITO عادةً بطحن المادة جيدًا باستخدام الطحن الكروي، ثم يُضاف إليها عامل مركب من مسحوق عضوي خاص، ويُخلط المزيج حتى يُصبح بالشكل المطلوب. بعد ذلك، يُضغط المزيج تحت ضغط عالٍ، ثم يُسخن في الهواء بمعدل ١٠٠ درجة مئوية/ساعة حتى يصل إلى ١٦٠٠ درجة مئوية لمدة ساعة، ثم يُبرد بمعدل ١٠٠ درجة مئوية/ساعة حتى يصل إلى درجة حرارة الغرفة. عند تحضير الأهداف، يجب صقل سطح الهدف لتجنب ظهور بقع ساخنة أثناء عملية الترسيب بالرش.
3. يُعد الذهب وسبائكه الذهبية، بفضل بريقها الساحر ومقاومتها الجيدة للتآكل، من المواد المثالية لطلاء الأسطح الزخرفية. كانت طريقة الطلاء الرطب المستخدمة سابقًا تعاني من ضعف التصاق الطبقة، وانخفاض قوتها، وقلة مقاومتها للتآكل، فضلًا عن مشاكل تلوث السوائل الناتجة عنها، ولذلك، تم استبدالها حتمًا بالطلاء الجاف. تتنوع أنواع الأهداف المستخدمة، فمنها الأهداف المستوية، والأهداف المركبة الموضعية، والأهداف الأنبوبية، والأهداف الأنبوبية المركبة الموضعية، وغيرها. وتعتمد طريقة تحضيرها بشكل أساسي على عمليات الصهر الفراغي، والتخليل، والدرفلة على البارد، والتلدين، والدرفلة الدقيقة، والقص، وتنظيف السطح، وتغليف الطبقات المركبة بالدرفلة على البارد، وغيرها من العمليات التحضيرية. وقد حظيت هذه التقنية بتقييمات إيجابية في الصين، وحققت نتائج جيدة في استخدامها.
٤. هدف المادة المغناطيسية: يُستخدم هدف المادة المغناطيسية بشكل أساسي لطلاء رؤوس الأغشية الرقيقة المغناطيسية، وأقراص الأغشية الرقيقة، وغيرها من أجهزة الأغشية الرقيقة المغناطيسية. ونظرًا لصعوبة استخدام طريقة الترسيب بالرش المغناطيسي للتيار المستمر، تُستخدم أهداف التصوير المقطعي المحوسب (CT) من نوع "الهدف ذي الفجوات" لتحضير هذه الأهداف. ويعتمد مبدأ هذه الطريقة على قطع العديد من الفجوات على سطح مادة الهدف، مما يسمح بتوليد مجال مغناطيسي متسرب على سطح الهدف، وبالتالي تشكيل مجال مغناطيسي متعامد، وتحقيق الغرض من ترسيب الأغشية بالرش المغناطيسي. ويُذكر أن سمك هذه المادة الهدفية قد يصل إلى ٢٠ مم.

– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا