1. Ҳадафи хромӣ Хром ҳамчун маводи плёнкаи пошиданӣ на танҳо бо субстрат бо часпакии баланд якҷоя кардан осон аст, балки хром ва оксидро барои тавлиди плёнкаи CrO3 низ истифода бурдан мумкин аст, хосиятҳои механикии он, муқовимати кислота ва устувории гармӣ беҳтаранд. Илова бар ин, хром дар ҳолати нопурраи оксидшавӣ низ метавонад плёнкаи сусти ҷаббидашавандаро ба вуҷуд орад. Гузориш дода шудааст, ки хром бо покии зиёда аз 98% ба ҳадафҳои росткунҷа ё ҳадафҳои хромии силиндрӣ табдил дода мешавад. Илова бар ин, технологияи истифодаи усули пухтани хром барои сохтани ҳадафи росткунҷа низ пухта расидааст.
2. Ҳадафи ITO Омодасозии маводи ҳадафи плёнкаи ITO, ки қаблан истифода мешуд, одатан аз маводи хӯлаи In-Sn барои сохтани ҳадафҳо истифода мешуд ва сипас дар раванди пӯшиш тавассути оксиген истифода мешуд ва сипас плёнкаи ITO тавлид мешуд. Назорати ин усул бо гази реаксия душвор аст ва такроршавандагии паст дорад. Аз ин рӯ, дар солҳои охир онро бо ҳадафи синтеризатсияи ITO иваз карданд. Раванди маъмулии маводи ҳадафи ITO мувофиқи таносуби сифат аст, тавассути усули фрезеркунии тӯбӣ пурра омехта карда мешавад ва сипас агенти композитии хокаи махсуси органикӣ илова карда мешавад ва ба шакли зарурӣ омехта карда мешавад ва тавассути фишурдакунии фишорӣ ва сипас пластина дар ҳаво дар ҳарорати 100 ℃ / соат бо суръати гармкунӣ то 1600 ℃ пас аз нигоҳ доштани 1 соат ва сипас бо суръати хунуккунӣ то 100 ℃ / соат то ҳарорати хонагӣ ва тайёр карда мешавад. Суръати хунуккунӣ то 100 ℃ / соат то ҳарорати хонагӣ ва тайёр карда мешавад. Ҳангоми сохтани ҳадафҳо, сатҳи ҳадаф бояд сайқал дода шавад, то дар раванди пошидани нуқтаҳои гарм пешгирӣ карда шавад.
3. Тилло ва тиллои ҳадафи хӯлаи тиллоӣ, дурахши зебо ва муқовимати хуби зангзанӣ, маводи беҳтарини рӯйпӯшкунии рӯизаминӣ барои рӯйпӯшкунии ороишӣ мебошад. Усули рӯйпӯшкунии тар, ки қаблан истифода мешуд, часпакии плёнка хурд, қувваи паст, муқовимати сусти фарсудашавӣ ва инчунин мушкилоти ифлосшавии моеъҳои партов буд, аз ин рӯ, ногузир бо рӯйпӯшкунии хушк иваз карда мешуд. Навъи ҳадаф дорои ҳадафи ҳамвор, ҳадафи маҳаллии композитӣ, ҳадафи найчаӣ, ҳадафи маҳаллии композитӣ ва ғайра мебошад. Усули тайёр кардани он асосан тавассути гудохтаи вакуумӣ, бодиринг, ғелонидани хунук, тафсондан, ғелонидани майда, буридан, тоза кардани рӯизаминӣ, бастаи композитии ғелонидани хунук ва як қатор равандҳо, ба монанди омода кардани раванд мебошад. Ин технология дар Чин аз арзёбӣ гузаштааст ва натиҷаҳои хуб ба даст овардааст.
4. Ҳадафи маводи магнитӣ Ҳадафи маводи магнитӣ асосан барои рӯйпӯш кардани сарҳои магнитии плёнкаи тунук, дискҳои плёнкаи тунук ва дигар дастгоҳҳои плёнкаи тунуки магнитӣ истифода мешавад. Аз сабаби истифодаи усули пошидани магнетронии DC барои маводи магнитӣ пошидани магнетрон душвортар аст. Аз ин рӯ, барои тайёр кардани чунин ҳадафҳо ҳадафҳои CT бо номи "навъи ҳадафи фосила" истифода мешаванд. Принсип дар он аст, ки дар сатҳи маводи ҳадаф бисёр фосилаҳоро бурида, системаи магнитӣ дар сатҳи майдони магнитии ихроҷи ҳадафи маводи магнитӣ ба вуҷуд ояд, то сатҳи ҳадаф майдони магнитии ортогоналӣ ташкил кунад ва ба ҳадафи плёнкаи пошидани магнетрон ноил гардад. Гуфта мешавад, ки ғафсии ин маводи ҳадаф метавонад ба 20 мм расад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 24 январи соли 2024