1. Хромовая мишень. Хром как материал для напыляемой пленки не только легко соединяется с подложкой, обеспечивая высокую адгезию, но и позволяет получать пленку CrO3 из хрома и оксидов, что улучшает его механические свойства, кислотостойкость и термическую стабильность. Кроме того, хром в неполной степени окисления также может образовывать слабоабсорбирующую пленку. Сообщается об изготовлении прямоугольных или цилиндрических хромовых мишеней из хрома чистотой более 98%. Кроме того, технология изготовления прямоугольных хромовых мишеней методом спекания также хорошо развита.
2. Подготовка мишени из ITO. Ранее для изготовления мишеней из ITO-пленки обычно использовали сплавы In-Sn, а затем в процессе нанесения покрытия через кислород получали ITO-пленку. Этот метод затруднял контроль реакционного газа и имел низкую воспроизводимость. Поэтому в последние годы его заменили на спеченные мишени из ITO. Типичный процесс изготовления мишени из ITO включает в себя: в соответствии с соотношением компонентов, тщательное перемешивание методом шаровой мельницы, добавление специального органического порошкового композитного агента для придания необходимой формы, прессование под давлением, затем пластину нагревали на воздухе при 100 ℃/ч до 1600 ℃ в течение 1 часа, затем охлаждали при 100 ℃/ч до комнатной температуры. При изготовлении мишени поверхность мишени необходимо полировать, чтобы избежать образования горячих точек в процессе распыления.
3. Золотая мишень и мишень из золотого сплава обладают привлекательным блеском и хорошей коррозионной стойкостью, являясь идеальным материалом для декоративного покрытия поверхностей. Применяемый ранее метод мокрого нанесения покрытия характеризовался низкой адгезией пленки, малой прочностью, плохой износостойкостью, а также проблемами загрязнения отработанными жидкостями, поэтому его неизбежно заменил метод сухого нанесения. Существуют различные типы мишеней: плоские, композитные, трубчатые, композитные трубчатые и другие. Метод их изготовления включает в себя в основном вакуумную плавку, травление, холодную прокатку, отжиг, тонкую прокатку, резку, очистку поверхности, холодную прокатку, композитную упаковку и ряд других процессов. Эта технология прошла оценку в Китае и демонстрирует хорошие результаты применения.
4. Мишень из магнитного материала. Мишень из магнитного материала в основном используется для нанесения покрытий на тонкопленочные магнитные головки, тонкопленочные диски и другие тонкопленочные магнитные устройства. Поскольку для нанесения покрытий на магнитные материалы методом магнетронного распыления постоянного тока требуется больше усилий, для изготовления таких мишеней используются мишени типа CT с так называемыми «зазорными мишенями». Принцип заключается в вырезании множества зазоров на поверхности материала мишени, чтобы создать магнитное поле утечки на поверхности материала мишени, благодаря чему на поверхности мишени формируется ортогональное магнитное поле, и достигается цель нанесения пленки методом магнетронного распыления. Толщина такой мишени может достигать 20 мм.
– Данная статья опубликованапроизводитель вакуумных напыляемых машинГуандун Чжэньхуа
Дата публикации: 24 января 2024 г.