Àwọn ipa ti awọn ipo isunjade oriṣiriṣi lori ipilẹ microstructure ti awọn ibora

Nínú ilana ìbòrí afẹ́fẹ́, ìṣètò kékeré ti àwọn fíìmù tín-tín ń kó ipa pàtàkì nínú pípinnu àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ wọn, iṣẹ́ opitika, àti ìdènà ìbàjẹ́. Àwọn ohun bíi ìwọ̀n fíìmù, ìwọ̀n ọkà, ipò wahala, àti ìdàrúdàpọ̀ ojú ilẹ̀ ló ní ipa lórí ìṣètò kékeré náà. Àwọn pàrámítà wọ̀nyí, ní tirẹ̀, ni a ń ṣàkóso nípasẹ̀ ìṣètò ìtújáde tí a lò nígbà ìtújáde. Àwọn ọ̀nà ìtújáde tí a sábà máa ń lò jùlọ nínú ìtújáde fíìmù tín-tín ni ìtújáde Direct Current (DC), ìtújáde Radio Frequency (RF), ìtújáde Medium Frequency (MF), àti ìtújáde pulsed DC. Ọ̀kọ̀ọ̀kan àwọn ọ̀nà ìtújáde wọ̀nyí ní ipa lórí àwọn ànímọ́ plasma àti ìpínkiri agbára, èyí tí ó ní ipa lórí ìṣètò kékeré ti fíìmù tí a fi sílẹ̀ ní pàtàkì. Àpilẹ̀kọ yìí jíròrò bí àwọn ọ̀nà ìtújáde tí ó yàtọ̀ síra ṣe ní ipa lórí ìrísí ọkà, ìṣọ̀kan fíìmù, ipò wahala, àti ìwọ̀n fíìmù.

Ìtújáde Ọkọ̀ Direct Current (DC) àti ipa rẹ̀ lórí Microstructure Fíìmù

Ìtújáde DC jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn ọ̀nà ìtújáde sputtering tí a ń lò jùlọ, pàápàá jùlọ nínú ìtújáde àwọn fíìmù irin. Ìtújáde DC ń ṣiṣẹ́ nípa ṣíṣẹ̀dá pápá iná mànàmáná láàárín ibi tí a fẹ́ dé àti substrate, èyí tí ó ń mú kí àwọn elekitironi àti àwọn ion kọlù ara wọn tí wọ́n sì ń kó ohun èlò sí orí substrate náà.

Àwọn Ẹ̀yà Ìmọ̀-ẹ̀rọ:

Oṣuwọn sputtering giga: O dara fun gbigbajade iyara ti awọn fiimu irin.

Ìwọ̀n plasma kékeré: Ó máa ń yọrí sí àwọn fíìmù tí wọ́n ní ìwọ̀n ọkà tó tóbi àti ìrísí rẹ̀ tó le koko jù.

Ìṣòro tó pọ̀ jù: Ìṣòro inú fíìmù náà lè ga díẹ̀, èyí tó lè ní ipa lórí ìfaramọ́ àti agbára fíìmù náà.

Àwọn ipa lórí ìṣètò kékeré:

Ìwọ̀n ọkà: Ìtújáde DC sábà máa ń yọrí sí àwọn fíìmù tí wọ́n ní ìwọ̀n ọkà tí ó tóbi jù.

Ìwọ̀n fíìmù: Fíìmù náà kì í sábà ní ìwúwo púpọ̀, pẹ̀lú àwọn ihò àti àwọn òfo tó lè wà níbẹ̀.

Àìbalẹ̀ ọkàn: Fíìmù náà sábà máa ń fi àìbalẹ̀ ọkàn tó ga hàn, èyí tó lè yọrí sí àwọn ìṣòro bíi ìfọ́ tàbí ìfọ́ nínú àwọn ohun èlò kan.

Ìtújáde Ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́ Rédíò (RF) àti ipa rẹ̀ lórí Microstructure Fíìmù

Ìtújáde RF ń lo àwọn pápá iná mànàmáná onígbà púpọ̀ láti ṣe ìṣẹ̀dá plasma, a sì sábà máa ń lò ó fún fífún àwọn ohun èlò ìdábòbò bíi oxides àti nitrides. Ìtújáde RF jẹ́ àǹfààní fún ìtújáde ibi-afẹ́de tí kò ní ìdarí nítorí pé ó yẹra fún ìkójọpọ̀ agbára lórí ibi-afẹ́de náà, èyí tí ó ń rí i dájú pé plasma náà dúró ṣinṣin.

Àwọn Ẹ̀yà Ìmọ̀-ẹ̀rọ:

Ìwọ̀n ìwúwo plasma tó ga jù: Ó ń yọrí sí àwọn ìbòrí tó dọ́gba.

Ó yẹ fún àwọn ibi tí kò ní ìfàsẹ́yìn: Ìtújáde RF jẹ́ ohun tó dára fún fífún àwọn ohun èlò ìdènà bíi oxides àti nitrides ní ìfọ́.

Oṣuwọn idogo kekere: Nitori agbara sputtering kekere, idasilẹ RF maa n fa awọn oṣuwọn idogo ti o lọra.

Àwọn ipa lórí ìṣètò kékeré:

Ìwọ̀n ọkà: Ìtújáde RF ń mú àwọn fíìmù tí ó ní ìwọ̀n ọkà kékeré jáde, èyí tí ó ń mú kí ìwọ̀n fíìmù àti iṣẹ́ ojú pọ̀ sí i.

Àìbalẹ̀ ọkàn: Fíìmù náà sábà máa ń ní ìdààmú inú tó kéré sí i, nítorí pé ìṣọ̀kan omi inú ara máa ń dín ìyàtọ̀ nínú ìdààmú kù.

Dídára ojú ilẹ̀: Fíìmù náà máa ń ní ojú tí ó mọ́ tónítóní, èyí tí ó mú kí ó dára fún àwọn ìbòrí ojú, àwọn fíìmù dielectric, àti àwọn fíìmù tín-tín tí ó ń ṣiṣẹ́.

Ìtújáde Ìgbohùngbà Aláàbọ̀ (MF) àti ipa rẹ̀ lórí Microstructure Fíìmù

Ìtújáde MF ń ṣiṣẹ́ láàárín 10–200 kHz, a sì sábà máa ń lò ó nínú àwọn ìbòrí irin àti àwọn ìlànà ìtújáde oníṣẹ́. Ìtújáde MF ń mú kí plasma lágbára sí i lábẹ́ àwọn ipò agbára gíga, ó sì lè fúnni ní ìwọ̀n ìtújáde tó ga jù.

Àwọn Ẹ̀yà Ìmọ̀-ẹ̀rọ:

Agbara iwuwo giga: Gba laaye fun awọn oṣuwọn idogo iyara ati awọn ipa sputtering ti o lagbara.

Àdánù ionization tó dínkù: Ní ìfiwéra pẹ̀lú ìtújáde RF, ìtújáde MF máa ń dín ìpàdánù ionization kù, èyí sì máa ń mú kí iṣẹ́ ìtújáde sunwọ̀n sí i.

Oṣuwọn gbigbe silẹ giga: Iyọkuro MF dara fun awọn ibora agbegbe nla ni iṣelọpọ iwọn ile-iṣẹ.

Àwọn ipa lórí ìṣètò kékeré:

Ìwọ̀n ọkà: Fíìmù náà sábà máa ń fi ìwọ̀n ọkà kékeré hàn àti ìwọ̀n ọkà tó dára jù.

Ìṣọ̀kan: Àwọn fíìmù tí a fi MF kọ̀ sílẹ̀ sábà máa ń ní ìrísí kékeré kan náà.

Wahala: Nitori agbara ti o ga julọ, awọn fiimu itusilẹ MF ṣe afihan wahala inu ti o kere si, eyiti o ṣe alabapin si didara oju ilẹ ti o dara julọ ati ṣiṣe itọju giga.

Ìtújáde DC Pulsed àti ipa rẹ̀ lórí Microstructure Fíìmù

Ìtújáde pulsed DC jẹ́ ọ̀nà kan tí ó ní í ṣe pẹ̀lú ìṣàkóso ìpèsè agbára pulsed, tí a sábà máa ń lò nínú àwọn ohun èlò ìbọn ion alágbára gíga. Ọ̀nà ìtújáde yìí wúlò gan-an fún àṣeyọrí ìwọ̀n ion gíga àti àwọn ipa sputtering tí ó munadoko jù, nígbàtí ó tún ń pèsè ìwọ̀n ìtújáde gíga.

Àwọn Ẹ̀yà Ìmọ̀-ẹ̀rọ:

Agbara Pulsed: Agbara oke giga lakoko awọn puls jẹ ki awọn oṣuwọn ifipamọ giga wa.

Ìdènà arc tó dára síi: Ìtújáde DC tó ń tàn kálẹ̀ ń dín àwọn ipa arcing kù, èyí tó ṣe pàtàkì fún sputtering agbára gíga.

Ìṣiṣẹ́ ìfọ́mọ́ra: Ìtújáde DC tí a lù ní agbára púpọ̀, ó ń fúnni ní ìwọ̀n ìfọ́mọ́ra gíga pẹ̀lú agbára lílo díẹ̀.

Àwọn ipa lórí ìṣètò kékeré:

Ìwọ̀n ọkà: Àwọn fíìmù tí a ṣe nípasẹ̀ ìtújáde DC pulsed sábà máa ń ní ìwọ̀n ọkà àárín, tí ó ń ṣe àtúnṣe ìwọ̀n fíìmù àti ìṣọ̀kan rẹ̀.

Ìfaramọ́ fíìmù: Àwọn fíìmù náà sábà máa ń fi ìfaramọ́ tó lágbára hàn sí ohun èlò ìṣàn omi, nítorí ìbọn ion tó lágbára.

Agbara lati wọ: Awọn fiimu DC ti a ti pulsed nigbagbogbo n fi agbara lati wọ ti o ga julọ han nitori bombardment giga ti ion lakoko gbigbe.

Àfiwé Àwọn Ọ̀nà Ìtújáde lórí Fíìmù Microstructure