د کوټینګونو په مایکرو جوړښت باندې د مختلف خارجیدو طریقو اغیزې

د ویکیوم کوټینګ په پروسه کې، د پتلو فلمونو مایکرو جوړښت د دوی میخانیکي ملکیتونو، نظري فعالیت، او د زنګ مقاومت په ټاکلو کې مهم رول لوبوي. مایکرو جوړښت په عمده توګه د فلم کثافت، د غلې دانې اندازه، د فشار حالت، او د سطحې ناهموارۍ په څیر فکتورونو لخوا اغیزمن کیږي. دا پیرامیټرونه، په خپل وار، په لویه کچه د زیرمه کولو پرمهال کارول شوي خارج حالت لخوا اداره کیږي. د پتلو فلم زیرمه کولو کې ترټولو عام کارول شوي خارج حالتونه مستقیم جریان (DC) خارج، د راډیو فریکونسي (RF) خارج، د منځنۍ فریکونسي (MF) خارج، او د نبض شوي DC خارج دي. د دې خارج حالتونو څخه هر یو د پلازما ځانګړتیاو او د انرژۍ ویش اغیزه کوي، کوم چې د زیرمه شوي فلم مایکرو جوړښت باندې د پام وړ اغیزه کوي. دا مقاله بحث کوي چې څنګه د خارج مختلف حالتونه د غلې دانې مورفولوژي، د فلم یووالي، د فشار حالت، او د فلم کثافت اغیزه کوي.

مستقیم جریان (DC) خارجیدل او د فلم مایکرو جوړښت باندې یې اغیز

د ډي سي خارجول د سپټر کولو یو له خورا پراخه کارول شوي تخنیکونو څخه دی، په ځانګړي توګه د فلزي فلمونو په زیرمه کولو کې. د ډي سي خارجول د هدف او سبسټریټ ترمنځ د بریښنایی ساحې په رامینځته کولو سره کار کوي، چې الکترونونه او ایونونه د ټکر لامل کیږي او مواد په سبسټریټ کې زیرمه کوي.

تخنیکي ځانګړتیاوې:

د تویېدو لوړه کچه: د فلزي فلمونو د چټکې زیرمې لپاره مناسب.

د پلازما ټیټ کثافت: په پایله کې فلمونه د نسبتا لویو دانې اندازې او سخت جوړښت سره رامینځته کیږي.

لوړ پاتې شونو فشار: په فلم کې داخلي فشار نسبتا لوړ کیدی شي، کوم چې ممکن د فلم چپکولو او دوام اغیزه وکړي.

په کوچنیو جوړښتونو اغیزې:

د دانې اندازه: د DC خارجیدل معمولا د لویو دانې اندازې فلمونو پایله لري.

د فلم کثافت: فلم معمولا لږ کثافت لري، د احتمالي سوریو او تشو سره.

داخلي فشار: فلم ډیری وختونه لوړ داخلي فشار ښیې، کوم چې کولی شي په ځینو غوښتنلیکونو کې د ډیلامینیشن یا وارپ کولو په څیر مسلو لامل شي.

د راډیو فریکونسي (RF) خارجیدل او د فلم مایکرو جوړښت باندې یې اغیز

د RF خارجیدل د پلازما تولید لپاره د لوړ فریکونسۍ بدلیدونکي بریښنایی ساحې کاروي، او معمولا د اکسایډونو او نایټرایډونو په څیر د موصلي موادو د تویولو لپاره کارول کیږي. د RF خارجیدل د غیر چلونکي هدف سپټرینګ لپاره ګټور دي ځکه چې دا په هدف باندې د چارج راټولیدو مخه نیسي، د پلازما مستحکم تولید ډاډمن کوي.

تخنیکي ځانګړتیاوې:

د پلازما لوړ کثافت: د ډیرو یونیفورم پوښونو لامل کیږي.

د غیر چلونکي هدفونو لپاره مناسب: د RF خارجیدل د اکسایډونو او نایټرایډونو په څیر د انسولیټینګ موادو د تویولو لپاره مثالی دی.

د جمع کولو ټیټه کچه: د کمې سپټرینګ ځواک له امله، د RF خارجیدل معمولا د جمع کولو ورو کچه رامینځته کوي.

په کوچنیو جوړښتونو اغیزې:

د دانې اندازه: د RF خارجیدل د دانې کوچنۍ اندازې سره فلمونه تولیدوي، کوم چې د فلم کثافت او نظري فعالیت لوړوي.

فشار: فلم معمولا ټیټ داخلي فشار لري، ځکه چې د پلازما یووالي د فشار توپیر کموي.

د سطحې کیفیت: فلم یو نرم سطح لري، چې دا د آپټیکل کوټینګونو، ډایالټریک فلمونو، او فعال پتلو فلمونو لپاره مثالی کوي.

د منځنۍ فریکونسۍ (MF) خارجیدل او د فلم مایکرو جوړښت باندې یې اغیز

د MF خارجیدل د 10-200 kHz په حد کې کار کوي او معمولا په فلزي پوښونو او د غبرګون وړ سپټرینګ پروسو کې کارول کیږي. د MF خارجیدل د لوړ بریښنا شرایطو لاندې قوي پلازما تولیدوي او د لوړ زیرمو نرخونو رسولو وړتیا لري.

تخنیکي ځانګړتیاوې:

د بریښنا لوړ کثافت: د ګړندي زیرمو نرخونو او قوي سپټرینګ اغیزو ته اجازه ورکوي.

د ایونیزیشن کم زیانونه: د RF خارجیدو په پرتله، د MF خارجیدل د ایونیزیشن کم زیانونه رامینځته کوي، چې د زیرمو موثریت ښه کوي.

د لوړ جمع کولو کچه: د MF خارجیدل په صنعتي پیمانه تولید کې د لوی ساحې پوښښ لپاره مناسب دي.

په کوچنیو جوړښتونو اغیزې:

د دانې اندازه: فلم معمولا د دانې کوچنۍ اندازې او غوره کثافت ښیې.

یوشانوالی: هغه فلمونه چې د MF خارجیدو سره زیرمه شوي وي عموما ډیر یوشان مایکرو جوړښت لري.

فشار: د لوړ بریښنا کثافت له امله، د MF خارجیدونکي فلمونه ټیټ داخلي فشار ښیې، کوم چې د سطحې کیفیت او لوړ زیرمه کولو موثریت کې مرسته کوي.

د نبض شوي DC خارجیدل او د فلم مایکرو جوړښت باندې د هغې اغیز

د نبض شوي ډي سي خارجول یو تخنیک دی چې د نبض شوي بریښنا رسولو کنټرول پکې شامل دی، چې ډیری وختونه د لوړ انرژۍ ایون بمبارۍ غوښتنلیکونو کې کارول کیږي. دا خارجول حالت په ځانګړي ډول د لوړ ایون کثافت او ډیر اغیزمن سپټرینګ اغیزو ترلاسه کولو لپاره ګټور دی، پداسې حال کې چې د لوړ زیرمه کولو کچه هم چمتو کوي.

تخنیکي ځانګړتیاوې:

نبض شوی ځواک: د نبض په جریان کې لوړ لوړ ځواک د لوړ جمع کولو نرخونه فعالوي.

د قوس فشار ښه شوی: د نبض شوي DC خارجیدل د قوس اغیزو کمولو کې مرسته کوي، کوم چې په ځانګړي ډول د لوړ ځواک سپټرینګ لپاره ګټور دی.

د سپټرینګ موثریت: د نبض شوي DC خارجیدل ډیر انرژي موثر دي، د لوړ سپټرینګ نرخونه او نسبتا ټیټ بریښنا مصرف وړاندې کوي.

په کوچنیو جوړښتونو اغیزې:

د دانې اندازه: هغه فلمونه چې د نبض شوي DC خارجیدو لخوا تولید شوي عموما د دانې منځنۍ اندازې لري، د فلم کثافت او یووالي متوازن کوي.

د فلم چپکیدل: فلمونه معمولا د لوړ انرژۍ ایون بمبارۍ څخه مننه، د سبسټریټ سره قوي چپکیدل ښیې.

د اغوستلو مقاومت: د نبض شوي DC فلمونه ډیری وختونه د زیرمه کولو پرمهال د لوړ ایون بمبارۍ له امله غوره اغوستلو مقاومت ښیې.

د فلم مایکرو جوړښت کې د خارجیدو حالتونو پرتله کول