Tasirin Yanayin Fitar da Ruwa daban-daban akan Tsarin Rufi

A cikin tsarin rufewa ta injin, tsarin ƙananan fina-finai na bakin ciki yana taka muhimmiyar rawa wajen tantance halayen injinansu, aikin gani, da juriya ga tsatsa. Tsarin ƙananan fina-finai galibi yana tasiri ne ta hanyar abubuwa kamar yawan fim, girman hatsi, yanayin damuwa, da kuma rashin kyawun saman. Waɗannan sigogi, bi da bi, galibi ana sarrafa su ta hanyar yanayin fitarwa da ake amfani da shi yayin ajiyewa. Hanyoyin fitarwa da aka fi amfani da su a cikin ajiyewa ta bakin ciki sune fitarwa ta yanzu kai tsaye (DC), fitarwa ta mitar rediyo (RF), fitarwa ta matsakaici (MF), da fitarwa ta DC. Kowanne daga cikin waɗannan hanyoyin fitarwa yana tasiri ga halayen plasma da rarraba makamashi, wanda ke tasiri sosai ga tsarin ƙaramin fim ɗin da aka ajiye. Wannan labarin ya tattauna yadda nau'ikan fitarwa daban-daban ke shafar yanayin hatsi, daidaiton fim, yanayin damuwa, da yawan fim.

Fitar da Wutar Lantarki Kai Tsaye (DC) da Tasirinsa akan Tsarin Fim

Fitar da iskar DC tana ɗaya daga cikin dabarun fesawa da aka fi amfani da su, musamman wajen ajiye fina-finan ƙarfe. Fitar da iskar DC tana aiki ta hanyar ƙirƙirar filin lantarki tsakanin abin da aka nufa da substrate, wanda ke sa electrons da ions su yi karo da juna sannan su saka kayan a kan substrate.

Fasaloli na Fasaha:

Babban sputtering rate: Ya dace da saurin adana fina-finan ƙarfe.

Ƙarancin yawan sinadarin plasma: Yana haifar da fina-finai masu girman hatsi da kuma tsari mai tsauri.

Babban damuwa da ya rage: Damuwar ciki a cikin fim ɗin na iya zama mai yawa, wanda zai iya shafar mannewa da dorewar fim ɗin.

Tasiri akan Tsarin Ƙananan:

Girman hatsi: Fitar da iskar DC yawanci tana haifar da fina-finai masu girman hatsi.

Yawan fim: Fim ɗin yawanci ba shi da kauri sosai, tare da yuwuwar samun ramuka da kuma ramuka.

Damuwa ta ciki: Fim ɗin yakan nuna ƙarin damuwa ta ciki, wanda zai iya haifar da matsaloli kamar wargajewa ko wargajewa a wasu aikace-aikace.

Fitar da Mitar Rediyo (RF) da Tasirinsa ga Tsarin Fim

Fitar RF tana amfani da filayen lantarki masu canzawa akai-akai don samar da plasma, kuma ana amfani da ita ne wajen fesa kayan kariya kamar oxides da nitrides. Fitar RF tana da amfani ga fesawa mara amfani saboda tana guje wa taruwar caji akan abin da aka nufa, wanda ke tabbatar da dorewar samar da plasma.

Fasaloli na Fasaha:

Yawan sinadarin plasma mai yawa: Yana haifar da ƙarin rufin da ya dace.

Ya dace da manufofin da ba sa isar da wutar lantarki: Fitar da iskar RF ta dace da sputtering kayan kariya kamar oxides da nitrides.

Ƙarancin ajiyar kuɗi: Saboda ƙarancin ƙarfin sputtering, fitar da RF yawanci yana haifar da jinkirin ajiyar kuɗi.

Tasiri akan Tsarin Ƙananan:

Girman hatsi: Fitar RF tana samar da fina-finai masu ƙananan girman hatsi, wanda ke haɓaka yawan fim da aikin gani.

Damuwa: Fim ɗin yawanci yana da ƙarancin damuwa a cikin ciki, saboda daidaiton plasma yana rage bambancin damuwa.

Ingancin saman: Fim ɗin yana da santsi, wanda hakan ya sa ya dace da murfin gani, fina-finan dielectric, da fina-finan siriri masu aiki.

Fitar da ruwa a matsakaicin mita (MF) da tasirinsa akan tsarin fim

Fitar MF tana aiki a cikin kewayon 10-200 kHz kuma ana amfani da ita sosai a cikin rufin ƙarfe da hanyoyin sputtering mai amsawa. Fitar MF tana samar da ƙarin plasma a ƙarƙashin yanayin wutar lantarki mai girma kuma tana da ikon samar da ƙarin ƙimar ajiya.

Fasaloli na Fasaha:

Ƙarfin iko mafi girma: Yana ba da damar saurin ajiyar kuɗi da kuma tasirin sputtering mai ƙarfi.

Rage asarar ionization: Idan aka kwatanta da fitar da RF, fitar da MF yana haifar da ƙarancin asarar ionization, wanda ke inganta ingancin ajiya.

Babban adadin ajiya: Fitar MF ya dace da manyan fenti a fannin samar da kayayyaki a masana'antu.

Tasiri akan Tsarin Ƙananan:

Girman hatsi: Fim ɗin yawanci yana nuna ƙananan girman hatsi da kuma yawan da ya fi kyau.

Daidaito: Fina-finan da aka ajiye tare da fitar da MF gabaɗaya suna da tsari iri ɗaya.

Damuwa: Saboda yawan ƙarfin da ake da shi, fina-finan fitar da MF suna nuna ƙarancin damuwa a cikin jiki, wanda ke ba da gudummawa ga ingantaccen ingancin saman da kuma ingantaccen adanawa.

Fitar da iskar DC da Tasirinsa ga Tsarin Fim

Fitar da iskar DC mai ƙarfi wata dabara ce da ta shafi sarrafa wutar lantarki mai ƙarfi, wacce galibi ake amfani da ita a aikace-aikacen bam ɗin ion mai ƙarfi. Wannan yanayin fitarwa yana da amfani musamman don cimma babban yawan ion da tasirin sputtering mai inganci, yayin da kuma ke samar da ƙimar ajiya mafi girma.

Fasaloli na Fasaha:

Ƙarfin bugun zuciya: Ƙarfin bugun zuciya mai ƙarfi yana ba da damar samun ƙarfin bugun zuciya mai yawa.

Ingantaccen rage girman baka: Fitar da DC mai ƙarfi yana taimakawa wajen rage tasirin arcing, wanda yake da amfani musamman ga sputtering mai ƙarfi.

Ingancin fitar da iska: Fitar da iskar DC mai ƙarfi ta fi amfani da makamashi, tana ba da yawan fitar da iska mai yawa tare da ƙarancin amfani da wutar lantarki.

Tasiri akan Tsarin Ƙananan:

Girman hatsi: Fina-finan da aka samar ta hanyar fitar da iskar DC gabaɗaya suna da matsakaicin girman hatsi, suna daidaita yawan fim ɗin da daidaito.

Mannewa a cikin fim: Fina-finan galibi suna nuna mannewa mai ƙarfi ga substrate, godiya ga fashewar ion mai ƙarfi.

Juriyar Sawa: Fina-finan DC da aka hura galibi suna nuna juriyar sawa mafi kyau saboda yawan fashewar ion a lokacin da aka zubar da shi.

Kwatanta Yanayin Fitar da Fim ɗin