Zotsatira za Mitundu Yosiyanasiyana Yotulutsa Madzi pa Kapangidwe Kakang'ono ka Zophimba

Mu njira yophikira vacuum, kapangidwe kake kakang'ono ka mafilimu opyapyala kamakhala ndi gawo lofunika kwambiri pakuzindikira mawonekedwe awo a makina, magwiridwe antchito a kuwala, komanso kukana dzimbiri. Kapangidwe kake kakang'ono kamayang'aniridwa makamaka ndi zinthu monga kuchuluka kwa filimu, kukula kwa tirigu, momwe zimakhudzira kupsinjika, ndi kuuma kwa pamwamba. Magawo awa, nawonso, amalamulidwa kwambiri ndi njira yotulutsira yomwe imagwiritsidwa ntchito potulutsa. Njira zotulutsira zomwe zimagwiritsidwa ntchito kwambiri potulutsa filimu yopyapyala ndi Direct Current (DC), Radio Frequency (RF), Medium Frequency (MF), ndi Pulsed DC discharge. Njira iliyonse yotulutsira imakhudza mawonekedwe a plasma ndi kugawa mphamvu, zomwe zimakhudza kwambiri kapangidwe ka filimu yosungidwa. Nkhaniyi ikufotokoza momwe njira zosiyanasiyana zotulutsira zimakhudzira mawonekedwe a tirigu, kufanana kwa filimu, momwe zimakhudzira kupsinjika, ndi kuchuluka kwa filimu.

Kutulutsa kwa Mphamvu Yaikulu (DC) ndi Zotsatira Zake pa Kapangidwe Kakang'ono ka Filimu

Kutulutsa kwa DC ndi njira imodzi yomwe imagwiritsidwa ntchito kwambiri potulutsa ma sputtering, makamaka poika mafilimu achitsulo. Kutulutsa kwa DC kumagwira ntchito popanga malo amagetsi pakati pa cholinga ndi substrate, zomwe zimapangitsa kuti ma elekitironi ndi ma ayoni agundane ndikuyika zinthu pa substrate.

Zinthu Zaukadaulo:

Kuthamanga kwambiri kwa sputtering: Koyenera kuti mafilimu achitsulo azitha kuikidwa mwachangu.

Kuchuluka kochepa kwa plasma: Zotsatira zake ndi mafilimu okhala ndi tinthu tating'onoting'ono tating'ono komanso kapangidwe kolimba.

Kupsinjika kwakukulu kotsalira: Kupsinjika kwamkati mwa filimuyi kumatha kukhala kwakukulu, zomwe zingakhudze kumamatira ndi kulimba kwa filimuyo.

Zotsatira pa kapangidwe kake:

Kukula kwa tirigu: Kutuluka kwa DC nthawi zambiri kumabweretsa mafilimu okhala ndi tirigu wokulirapo.

Kuchuluka kwa filimu: Filimu nthawi zambiri imakhala yochepa, yokhala ndi ma porosity ndi voids.

Kupsinjika kwamkati: Filimuyi nthawi zambiri imawonetsa kupsinjika kwakukulu kwamkati, komwe kungayambitse mavuto monga kusokoneza kapena kupotoka mu ntchito zina.

Kutulutsa kwa Ma Radio Frequency (RF) ndi Zotsatira Zake pa Kapangidwe Kakang'ono ka Filimu

Kutulutsa kwa RF kumagwiritsa ntchito magetsi osinthasintha pafupipafupi kuti apange plasma, ndipo nthawi zambiri kumagwiritsidwa ntchito potulutsa zinthu zotetezera monga ma oxide ndi ma nitride. Kutulutsa kwa RF ndikwabwino potulutsa ma flue osayendetsa magetsi chifukwa kumapewa kusonkhanitsa mphamvu pa chandamale, zomwe zimapangitsa kuti plasma ipangidwe bwino.

Zinthu Zaukadaulo:

Kuchuluka kwa plasma: Kumabweretsa zophimba zofanana.

Yoyenera mipherezero yosayendetsa mpweya: Kutulutsa kwa RF ndikwabwino kwambiri potulutsa zinthu zotetezera kutentha monga ma oxide ndi ma nitride.

Kuchepa kwa mphamvu yotulutsa mpweya: Chifukwa cha mphamvu yotsika yotulutsa mpweya, kutulutsa mpweya wa RF nthawi zambiri kumabweretsa kuchepa kwa mphamvu yotulutsa mpweya.

Zotsatira pa kapangidwe kake:

Kukula kwa tirigu: Kutulutsa kwa RF kumapanga mafilimu okhala ndi tirigu wochepa, zomwe zimapangitsa kuti filimuyo ikhale yolimba komanso kuti igwire bwino ntchito.

Kupsinjika: Filimuyi nthawi zambiri imakhala ndi kupsinjika pang'ono kwamkati, chifukwa kufanana kwa plasma kumachepetsa kusinthasintha kwa kupsinjika.

Ubwino wa pamwamba: Filimuyi imakhala ndi malo osalala, zomwe zimapangitsa kuti ikhale yoyenera kugwiritsa ntchito zokutira zowala, mafilimu a dielectric, ndi mafilimu opyapyala ogwira ntchito.

Kutulutsa kwa Medium Frequency (MF) ndi Zotsatira Zake pa Kapangidwe Kakang'ono ka Filimu

Kutulutsa kwa MF kumagwira ntchito pamlingo wa 10–200 kHz ndipo nthawi zambiri kumagwiritsidwa ntchito popanga zokutira zachitsulo ndi njira zotulutsira madzi. Kutulutsa kwa MF kumapanga plasma yolimba pansi pa mphamvu yayikulu ndipo kumatha kupereka kuchuluka kwa ma deposition.

Zinthu Zaukadaulo:

Kuchuluka kwa mphamvu: Kumalola kuti pakhale kuchuluka kwa mphamvu zomwe zimayikidwa mwachangu komanso kuti pakhale zotsatira zabwino kwambiri.

Kuchepa kwa ionization: Poyerekeza ndi kutulutsa kwa RF, kutulutsa kwa MF kumabweretsa kuchepa kwa ionization, zomwe zimapangitsa kuti magwiridwe antchito a deposition akhale abwino.

Kuchuluka kwa malo otayira: Kutulutsa kwa MF ndikoyenera kugwiritsa ntchito zokutira zazikulu popanga mafakitale.

Zotsatira pa kapangidwe kake:

Kukula kwa tirigu: Filimuyi nthawi zambiri imakhala ndi tirigu wochepa komanso wokhuthala bwino.

Kufanana: Mafilimu omwe amaikidwa ndi MF discharge nthawi zambiri amakhala ndi kapangidwe kake kamene kamakhala kofanana.

Kupsinjika: Chifukwa cha kuchuluka kwa mphamvu, mafilimu otulutsa MF amawonetsa kupsinjika pang'ono kwamkati, zomwe zimathandiza kuti pamwamba pakhale bwino komanso kuti pakhale bwino kwambiri.

Kutulutsa kwa DC komwe kumayendetsedwa ndi mpweya komanso momwe kumakhudzira kapangidwe ka filimu

Kutulutsa kwa DC koyendetsedwa ndi pulsed ndi njira yomwe imaphatikizapo kuwongolera magetsi oyendetsedwa ndi pulsed, komwe nthawi zambiri kumagwiritsidwa ntchito popanga ma ion bombardment amphamvu kwambiri. Njira yotulutsira iyi ndi yothandiza kwambiri pakupeza kuchuluka kwa ma ion komanso zotsatira zabwino kwambiri zotulutsira madzi, komanso kupereka chiwopsezo chachikulu choyika madzi.

Zinthu Zaukadaulo:

Mphamvu yothamanga: Mphamvu yapamwamba kwambiri panthawi ya kuthamanga kwa mpweya imapangitsa kuti mpweya ukhale wambiri.

Kuchepetsa bwino kwa arc: Kutulutsa kwa DC komwe kumayendetsedwa kumathandiza kuchepetsa zotsatira za arc, zomwe zimathandiza kwambiri pakutulutsa kwamphamvu kwambiri.

Kutulutsa madzi mwachangu: Kutulutsa madzi kwa DC komwe kumayendetsedwa ndi pulsed kumagwiritsa ntchito mphamvu zambiri, zomwe zimapangitsa kuti madzi azituluka mwachangu komanso kugwiritsa ntchito mphamvu zochepa.

Zotsatira pa kapangidwe kake:

Kukula kwa tirigu: Mafilimu opangidwa ndi kutulutsa kwa DC komwe kumayendetsedwa ndi pulsed nthawi zambiri amakhala ndi tirigu wapakati, wofanana ndi kuchuluka kwa filimu.

Kumatirira kwa filimu: Mafilimu nthawi zambiri amakhala omatirira kwambiri ku substrate, chifukwa cha kuphulika kwa ma ion amphamvu kwambiri.

Kukana kuvala: Makanema a DC opunduka nthawi zambiri amawonetsa kukana kuvala bwino chifukwa cha kuphulika kwa ma ion ambiri panthawi yoyika.

Kuyerekeza kwa Ma Discharge Modes pa Filimu Microstructure