የተለያዩ የመልቀቂያ ሁነታዎች በሽፋኖች ማይክሮ መዋቅር ላይ ያላቸው ተጽእኖ

በቫክዩም ሽፋን ሂደት ውስጥ፣ የቀጭን ፊልሞች ማይክሮ መዋቅር ሜካኒካል ባህሪያቸውን፣ የኦፕቲካል አፈጻጸምን እና የዝገት መቋቋምን በመወሰን ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታል። ማይክሮ መዋቅሩ በዋናነት የሚነካው እንደ የፊልም ጥግግት፣ የእህል መጠን፣ የጭንቀት ሁኔታ እና የገጽታ ሸካራነት ባሉ ነገሮች ነው። እነዚህ መለኪያዎች በተራው በአብዛኛው የሚተዳደሩት በማስቀመጥ ወቅት በሚውለው የማስወገጃ ሁነታ ነው። በቀጭን ፊልም ማስቀመጫ ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውሉት የማስወገጃ ሁነታዎች ቀጥተኛ የአሁኑ (DC) ማስወጫ፣ የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ (RF) ማስወጫ፣ መካከለኛ ፍሪኩዌንሲ (MF) ማስወጫ እና የተወገደ የዲሲ ማስወጫ ናቸው። እያንዳንዳቸው እነዚህ የማስወጫ ሁነታዎች የፕላዝማ ባህሪያትን እና የኃይል ስርጭትን ይነካሉ፣ ይህም የተቀመጠው ፊልም ማይክሮ መዋቅርን በእጅጉ ይነካል። ይህ ጽሑፍ የተለያዩ የማስወጫ ሁነታዎች የእህል ሞርፎሎጂን፣ የፊልም ወጥነትን፣ የጭንቀት ሁኔታን እና የፊልም ጥግግትን እንዴት እንደሚነኩ ያብራራል።

የቀጥታ ጅረት (ዲሲ) ፈሳሽ እና በፊልም ማይክሮስትራክቸር ላይ ያለው ተጽእኖ

የዲሲ ፈሳሽ በተለይም የብረት ፊልሞችን በማከማቸት ረገድ በስፋት ጥቅም ላይ ከሚውሉት የስፕቱተር ዘዴዎች አንዱ ነው። የዲሲ ፈሳሽ የሚሠራው በዒላማው እና በንጣፉ መካከል የኤሌክትሪክ መስክ በመፍጠር ሲሆን ኤሌክትሮኖች እና አየኖች እንዲጋጩ እና ቁሳቁሱን በንጣፉ ላይ እንዲያስቀምጡ ያደርጋል።

ቴክኒካዊ ባህሪያት፡

ከፍተኛ የስፕቱተር ፍጥነት፡- የብረት ፊልሞችን በፍጥነት ለማስቀመጥ ተስማሚ።

ዝቅተኛ የፕላዝማ ጥግግት፡- በአንጻራዊ ሁኔታ ትላልቅ የእህል መጠኖች እና ሻካራ መዋቅር ባላቸው ፊልሞች ላይ ውጤት ያስገኛል።

ከፍተኛ የተረፈ ውጥረት፡- በፊልሙ ውስጥ ያለው ውስጣዊ ውጥረት በአንጻራዊ ሁኔታ ከፍተኛ ሊሆን ይችላል፣ ይህም የማጣበቅ እና የፊልሙን ዘላቂነት ሊጎዳ ይችላል።

በማይክሮስትራክቸር ላይ የሚያሳድሩት ተጽዕኖ፡

የእህል መጠን፡- የዲሲ ፈሳሽ በተለምዶ ትላልቅ የእህል መጠኖች ያሏቸው ፊልሞችን ያስከትላል።

የፊልም ጥግግት፡ ፊልሙ ብዙውን ጊዜ ጥቅጥቅ ያለ አይደለም፣ እምቅ ቀዳዳ እና ባዶነት አለው።

ውስጣዊ ጭንቀት፡- ፊልሙ ብዙውን ጊዜ ከፍተኛ የውስጥ ጭንቀት ያሳያል፣ ይህም በተወሰኑ አፕሊኬሽኖች ላይ እንደ መበስበስ ወይም ማዛባት ያሉ ችግሮችን ሊያስከትል ይችላል።

የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ (RF) ፈሳሽ እና በፊልም ማይክሮስትራክቸር ላይ የሚያሳድረው ተጽዕኖ

የRF ፈሳሽ ፕላዝማ ለማመንጨት ከፍተኛ ድግግሞሽ ያላቸው ተለዋጭ የኤሌክትሪክ መስኮችን ይጠቀማል፣ እና እንደ ኦክሳይድ እና ናይትሬድ ያሉ መከላከያ ቁሳቁሶችን ለማሰራጨት በተለምዶ ጥቅም ላይ ይውላል። የRF ፈሳሽ ለኢንዱክቲቭ ኢላማ ስፓተርንግ ጠቃሚ ነው ምክንያቱም በዒላማው ላይ የኃይል ክምችት እንዳይከማች ስለሚያደርግ የተረጋጋ የፕላዝማ ማመንጨትን ያረጋግጣል።

ቴክኒካዊ ባህሪያት፡

ከፍተኛ የፕላዝማ ጥግግት፡- ወደ ተመሳሳይ ሽፋኖች ይመራል።

ለአየር ማጓጓዣ ያልሆኑ ኢላማዎች ተስማሚ፡ የRF ፍሳሽ እንደ ኦክሳይድ እና ናይትሬይድ ያሉ መከላከያ ቁሳቁሶችን ለማሰራጨት ተስማሚ ነው።

ዝቅተኛ የማስቀመጫ መጠን፡- ዝቅተኛ የማፍሰሻ ኃይል ስላለው፣ የRF ፈሳሽ በተለምዶ ቀርፋፋ የማስቀመጫ መጠን ያስከትላል።

በማይክሮስትራክቸር ላይ የሚያሳድሩት ተጽዕኖ፡

የእህል መጠን፡- የRF ፈሳሽ አነስተኛ የእህል መጠኖች ያሏቸውን ፊልሞች ያመነጫል፣ ይህም የፊልም ጥግግት እና የኦፕቲካል አፈጻጸምን ያሻሽላል።

ውጥረት፡- ፊልሙ በተለምዶ ዝቅተኛ የውስጥ ጭንቀት አለው፣ ምክንያቱም የፕላዝማ ወጥነት የጭንቀት ልዩነትን ስለሚቀንስ።

የገጽታ ጥራት፡ ፊልሙ ለስላሳ ገጽታ ስላለው ለኦፕቲካል ሽፋኖች፣ ለዳይኤሌክትሪክ ፊልሞች እና ለተግባራዊ ቀጭን ፊልሞች ተስማሚ ያደርገዋል።

መካከለኛ ድግግሞሽ (MF) ፈሳሽ እና በፊልም ማይክሮስትራክቸር ላይ የሚያሳድረው ተጽዕኖ

የኤምኤፍ ፈሳሽ ከ10-200 kHz ባለው ክልል ውስጥ የሚሰራ ሲሆን በተለምዶ በብረታ ብረት ሽፋኖች እና ምላሽ ሰጪ የስፕተርንግ ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል። የኤምኤፍ ፈሳሽ በከፍተኛ የኃይል ሁኔታዎች ውስጥ ጠንካራ ፕላዝማ ያመነጫል እና ከፍተኛ የማስቀመጫ መጠንን ለማቅረብ ይችላል።

ቴክኒካዊ ባህሪያት፡

ከፍተኛ የኃይል ጥግግት፡ ፈጣን የማስቀመጫ መጠኖችን እና ጠንካራ የስፕተር ውጤቶችን ያስችላል።

ዝቅተኛ የአዮኒዜሽን ኪሳራዎች፡ ከRF ፈሳሽ ጋር ሲነጻጸር፣ የኤምኤፍ ፈሳሽ አነስተኛ የአዮኒዜሽን ኪሳራዎችን ያስከትላል፣ ይህም የመቀመጫ ቅልጥፍናን ያሻሽላል።

ከፍተኛ የማስቀመጫ መጠን፡- የኤምኤፍ ፈሳሽ በኢንዱስትሪ ደረጃ ምርት ውስጥ ለትላልቅ አካባቢዎች ሽፋኖች ተስማሚ ነው።

በማይክሮስትራክቸር ላይ የሚያሳድሩት ተጽዕኖ፡

የእህል መጠን፡ ፊልሙ በተለምዶ አነስተኛ የእህል መጠኖችን እና የተሻለ ጥግግት ያሳያል።

ወጥነት፡- በኤምኤፍ ፈሳሽ የተከማቹ ፊልሞች በአጠቃላይ የበለጠ ወጥ የሆነ ማይክሮስትራክቸር አላቸው።

ውጥረት፡- ከፍተኛ የኃይል ጥግግት ስላለው፣ የኤምኤፍ (MF) ፈሳሽ ፊልሞች ዝቅተኛ ውስጣዊ ውጥረት ያሳያሉ፣ ይህም የተሻለ የገጽታ ጥራት እና ከፍተኛ የማስቀመጫ ውጤታማነትን ያበረታታል።

የተወዛወዘ የዲሲ ፈሳሽ እና በፊልም ማይክሮስትራክቸር ላይ ያለው ተጽእኖ

የተወጋ ዲሲ ፈሳሽ (pulsed DC discharge) ከፍተኛ የኃይል አየኖች በሚፈነዱበት ጊዜ ጥቅም ላይ የሚውል የ pulsed የኃይል አቅርቦት ቁጥጥርን የሚያካትት ዘዴ ነው። ይህ የመውጫ ሁነታ በተለይ ከፍተኛ የአየኖች ጥግግት እና የበለጠ ቀልጣፋ የስፕተር ውጤቶቻቸውን ለማሳካት ጠቃሚ ሲሆን ከፍተኛ የመቀመጫ መጠንም ይሰጣል።

ቴክኒካዊ ባህሪያት፡

የተወዛወዘ ኃይል፡- በ pulses ወቅት ከፍተኛ የ ፒክ ኃይል ከፍተኛ የ pulse rate እንዲኖር ያስችላል።

የተሻሻለ የአርክ መጨናነቅ፡ የተወዛወዘ የዲሲ ፈሳሽ በተለይ ለከፍተኛ ኃይል ስፓተር ማድረጊያ ጠቃሚ የሆነውን የአርክ ውጤቶችን ለመቀነስ ይረዳል።

የስፑተር ቅልጥፍና፡ የተወጋ የዲሲ ፈሳሽ የበለጠ ኃይል ቆጣቢ ሲሆን በአንጻራዊነት ዝቅተኛ የኃይል ፍጆታ ያለው ከፍተኛ የስፑተር ፍጥነቶችን ይሰጣል።

በማይክሮስትራክቸር ላይ የሚያሳድሩት ተጽዕኖ፡

የእህል መጠን፡- በ pulsed DC discharge የሚዘጋጁት ፊልሞች በአጠቃላይ መካከለኛ የእህል መጠኖች አሏቸው፣ የፊልም ጥግግት እና ወጥነት ሚዛን አላቸው።

የፊልም ማጣበቂያ፡- ፊልሞቹ ከፍተኛ ኃይል ባለው የአዮን ቦምብ ድብደባ ምክንያት በተለምዶ ከንጥረ ነገሩ ጋር ጠንካራ ማጣበቂያ ያሳያሉ።

የመልበስ መቋቋም፡- የተወጠሩ የዲሲ ፊልሞች ብዙውን ጊዜ በሚከማችበት ጊዜ ከፍተኛ የአዮኖች ቦምብ በመኖሩ ምክንያት የላቀ የመልበስ መቋቋም ያሳያሉ።

በፊልም ማይክሮስትራክቸር ላይ የፍሳሽ ማስወገጃ ሁነታዎችን ማወዳደር