Вакуум бүрхүүлийн процесст нимгэн хальсны бичил бүтэц нь тэдгээрийн механик шинж чанар, оптик гүйцэтгэл, зэврэлтээс хамгаалах чадварыг тодорхойлоход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Бичил бүтэц нь голчлон хальсны нягтрал, ширхэгийн хэмжээ, стрессийн төлөв байдал, гадаргуугийн барзгаржилт зэрэг хүчин зүйлээс хамаардаг. Эдгээр параметрүүд нь эргээд тунадасжуулалтын үед ашигладаг цэнэг алдалтын горимоор ихээхэн зохицуулагддаг. Нимгэн хальсны тунадасжуулалтад хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг цэнэг алдалтын горимууд нь Шууд гүйдлийн (DC) цэнэг алдалт, Радио давтамжийн (RF) цэнэг алдалт, Дунд давтамжийн (MF) цэнэг алдалт, Импульсийн тогтмол гүйдлийн цэнэг алдалт юм. Эдгээр цэнэг алдалтын горим бүр нь плазмын шинж чанар болон энергийн тархалтад нөлөөлдөг бөгөөд энэ нь тунадасжуулсан хальсны бичил бүтцэд мэдэгдэхүйц нөлөөлдөг. Энэ нийтлэлд цэнэг алдалтын янз бүрийн горимууд нь ширхэгийн морфологи, хальсны жигд байдал, стрессийн төлөв байдал, хальсны нягтралд хэрхэн нөлөөлдөг талаар авч үзэх болно.
Шууд гүйдлийн (DC) цэнэг алдалт ба түүний хальсны бичил бүтцэд үзүүлэх нөлөө
Тогтмол гүйдлийн цэнэг алдалт нь хамгийн өргөн хэрэглэгддэг цацалтын аргуудын нэг бөгөөд ялангуяа металл хальсыг тунадасжуулахад ашигладаг. Тогтмол гүйдлийн цэнэг алдалт нь бай болон суурь материалын хооронд цахилгаан орон үүсгэж, электрон ба ионуудыг мөргөлдөж, суурь материал дээр материал хуримтлуулах замаар ажилладаг.
Техникийн онцлогууд:
Өндөр цацалтын хурд: Металл хальсыг хурдан хуримтлуулахад тохиромжтой.
Плазмын нягтрал бага: Харьцангуй том ширхэгийн хэмжээтэй, барзгар бүтэцтэй хальс үүсгэдэг.
Өндөр үлдэгдэл стресс: Киноны дотоод стресс харьцангуй өндөр байж болох бөгөөд энэ нь наалдац болон киноны бат бөх чанарт нөлөөлж болзошгүй.
Микро бүтцэд үзүүлэх нөлөө:
Үр тарианы хэмжээ: Тогтмол гүйдлийн цэнэгээ ихэвчлэн илүү том үр тарианы хэмжээтэй хальс үүсгэдэг.
Киноны нягтрал: Кино нь ихэвчлэн бага нягтралтай, нүх сүвтэй, хоосон зайтай байдаг.
Дотоод стресс: Кино нь ихэвчлэн илүү өндөр дотоод стрессийг харуулдаг бөгөөд энэ нь зарим хэрэглээнд хальслах эсвэл гажуудал үүсэх зэрэг асуудалд хүргэдэг.
Радио давтамжийн (RF) цэнэг алдалт ба түүний хальсны бичил бүтцэд үзүүлэх нөлөө
Радио давтамжийн цэнэг алдалт нь плазм үүсгэхийн тулд өндөр давтамжийн хувьсах цахилгаан орон ашигладаг бөгөөд исэл, нитрид зэрэг тусгаарлагч материалыг цацахад түгээмэл хэрэглэгддэг. Радио давтамжийн цэнэг алдалт нь дамжуулагч бус байг цацахад давуу талтай бөгөөд энэ нь бай дээр цэнэг хуримтлагдахаас зайлсхийж, плазмын тогтвортой үүсэлтийг хангадаг.
Техникийн онцлогууд:
Плазмын нягтрал өндөр: Илүү жигд бүрхүүлд хүргэдэг.
Цахилгаан дамжуулдаггүй байнд тохиромжтой: RF цэнэг алдалт нь исэл болон нитрид зэрэг тусгаарлагч материалыг цацахад тохиромжтой.
Тунадас багатай: Цацраах хүч бага байдаг тул RF цэнэг алдалт нь тунадас удаан байх шалтгаан болдог.
Микро бүтцэд үзүүлэх нөлөө:
Үр тарианы хэмжээ: RF цэнэг алдалт нь жижиг үр тарианы хэмжээтэй хальс үүсгэдэг бөгөөд энэ нь хальсны нягтрал болон оптик гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.
Стресс: Плазмын жигд байдал нь стрессийн хэлбэлзлийг бууруулдаг тул хальс нь ихэвчлэн бага дотоод стресстэй байдаг.
Гадаргуугийн чанар: Кино нь илүү гөлгөр гадаргуутай байх хандлагатай тул оптик бүрхүүл, диэлектрик хальс болон функциональ нимгэн хальсанд тохиромжтой.
Дунд давтамжийн (MF) цэнэг алдалт ба түүний хальсны бичил бүтцэд үзүүлэх нөлөө
Олон давтамжтай цэнэг алдалт нь 10-200 кГц давтамжийн хүрээнд ажилладаг бөгөөд металл бүрхүүл болон реактив цацалтын процесст түгээмэл хэрэглэгддэг. Олон давтамжтай цэнэг алдалт нь өндөр чадлын нөхцөлд илүү хүчтэй плазм үүсгэдэг бөгөөд өндөр тунадасжилтын хурд өгөх чадвартай.
Техникийн онцлогууд:
Өндөр чадлын нягтрал: Хурдан тунадасжих хурд болон илүү хүчтэй цацалтын нөлөөг бий болгодог.
Ионжуулалтын алдагдал бага: RF цэнэг алдалттай харьцуулахад MF цэнэг алдалт нь ионжуулалтын алдагдлыг багасгаж, тунадасны үр ашгийг сайжруулдаг.
Өндөр тунадасжилтын түвшин: MF ялгаруулалт нь үйлдвэрлэлийн хэмжээний үйлдвэрлэлийн том талбайн бүрхүүлд тохиромжтой.
Микро бүтцэд үзүүлэх нөлөө:
Үр тарианы хэмжээ: Кино нь ихэвчлэн жижиг үр тарианы хэмжээ, илүү сайн нягтралыг харуулдаг.
Жигд байдал: MF ялгадастай хамт хуримтлагдсан хальснууд нь ерөнхийдөө илүү жигд бичил бүтэцтэй байдаг.
Стресс: Өндөр чадлын нягтралтай тул MF цэнэг алдалтын хальснууд нь дотоод стресс багатай байдаг нь гадаргуугийн чанарыг сайжруулж, тунадасны үр ашгийг нэмэгдүүлдэг.
Импульсийн тогтмол гүйдлийн цэнэг алдалт ба түүний хальсны бичил бүтцэд үзүүлэх нөлөө
Импульсийн тогтмол гүйдлийн цэнэглэлт нь импульсийн цахилгаан хангамжийн хяналтыг багтаасан арга бөгөөд ихэвчлэн өндөр энергийн ионы бөмбөгдөлтийн хэрэглээнд ашиглагддаг. Энэхүү цэнэглэлтийн горим нь ионы нягтралыг нэмэгдүүлэх, илүү үр ашигтай цацалтын үр нөлөөг бий болгоход онцгой ач холбогдолтой бөгөөд мөн өндөр тунадасжилтын хурдыг хангадаг.
Техникийн онцлогууд:
Импульсийн чадал: Импульсийн үед хамгийн өндөр оргил чадал нь өндөр тунадасжилтын түвшинг бий болгодог.
Нуман даралтыг сайжруулах: Импульсийн тогтмол гүйдлийн цэнэглэлт нь нуман нөлөөллийг бууруулахад тусалдаг бөгөөд энэ нь ялангуяа өндөр чадлын цацалтанд ашигтай байдаг.
Цацрагийн үр ашиг: Импульсийн тогтмол гүйдлийн цэнэглэлт нь илүү эрчим хүчний хэмнэлттэй бөгөөд харьцангуй бага эрчим хүчний хэрэглээтэй, цацрагийн өндөр түвшинг санал болгодог.
Микро бүтцэд үзүүлэх нөлөө:
Үр тарианы хэмжээ: Импульсийн тогтмол гүйдлийн цэнэгээр үүссэн хальснууд нь ерөнхийдөө дунд зэргийн үр тарианы хэмжээтэй бөгөөд хальсны нягтрал ба жигд байдлыг тэнцвэржүүлдэг.
Киноны наалдац: Өндөр энергийн ионы бөмбөгдөлтийн улмаас хальснууд нь суурьтай хүчтэй наалддаг.
Элэгдэлд тэсвэртэй байдал: Импульсийн тогтмол гүйдлийн хальснууд нь тунадасжуулалтын үед ионы өндөр бөмбөгдөлтөөс болж элэгдэлд тэсвэртэй байдаг.
Киноны бичил бүтэц дээрх цэнэг алдалтын горимуудын харьцуулалт
| Харьцуулсан зүйл | Тогтмол гүйдлийн цэнэг алдалт | Радио давтамжийн цэнэг алдалт | MF цэнэг алдалт | Импульсийн тогтмол гүйдлийн цэнэглэлт |
|---|---|---|---|---|
| Цацрагийн хурд | Өндөр | Бага | Өндөр | Өндөр |
| Плазмын нягтрал | Бага | Өндөр | Өндөр | Өндөр |
| Үр тарианы хэмжээ | Том | Жижиг | Жижиг | Дунд зэрэг |
| Кино нягтрал | Бага | Өндөр | Өндөр | Дунд зэрэг |
| Дотоод стресс | Өндөр | Бага | Бага | Бага |
| Гадаргуугийн чанар | Барзгар | Гөлгөр | Дүрэмт хувцас | Хүчтэй |
| Төгс хэрэглээ | Металл бүрээс | Оптик хальс, диэлектрик | Металл бүрхүүл, реактив цацалт | Өндөр элэгдэлд тэсвэртэй хальснууд |
Дүгнэлт
Вакуум бүрхүүлийн процесст ашигладаг цэнэг алдалтын горим нь нимгэн хальсны бичил бүтцийг тодорхойлоход гол үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд энэ нь эргээд бүрхүүлийн гүйцэтгэл болон найдвартай байдалд нөлөөлдөг. Тогтмол гүйдлийн цэнэг алдалт нь өндөр цацалтын хурдтай боловч үр тарианы хэмжээ том, дотоод стресс ихэсдэг бөгөөд энэ нь хальсны бат бөх чанарт нөлөөлж болзошгүй юм. Нөгөөтэйгүүр, RF цэнэг алдалт нь илүү сайн жигд байдал, бага стрессийг өгдөг боловч бага цацалтын хурдтай ажилладаг тул оптик болон диэлектрик бүрхүүлд тохиромжтой. Олон давтамжтай цэнэг алдалт нь өндөр тунадасжилтын хурд болон сайн бичил бүтцийн жигд байдлын хооронд тэнцвэрийг хадгалдаг тул үйлдвэрлэлийн хэмжээний металл бүрхүүлд тохиромжтой. Эцэст нь, импульсийн тогтмол гүйдлийн цэнэг алдалт нь хүчтэй наалдац ба элэгдэлд тэсвэртэй байх шаардлагатай өндөр энергийн цэнэг алдалтын хэрэглээнд ашигтай байдаг.
Үйлдвэрлэгчид цэнэг алдах горим бүрийн өвөрмөц шинж чанарыг ойлгосноор гоёл чимэглэлийн бүрхүүл, оптик хальс, элэгдэлд тэсвэртэй бүрхүүл эсвэл функциональ нимгэн хальс гэх мэт янз бүрийн хэрэглээнд хүссэн хальсны шинж чанарыг олж авахын тулд үйл явцаа оновчтой болгож чадна.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 1-р сарын 27