Fiantraikan'ny fomba famoahana samihafa amin'ny rafitra bitika amin'ny coatings

Ao anatin'ny dingan'ny fanosorana amin'ny banga, ny firafitry ny sarimihetsika manify dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny famaritana ny toetrany mekanika, ny fahombiazan'ny optika ary ny fanoherana ny harafesina. Ny firafitry ny sarimihetsika manify dia voataonan'ny anton-javatra toy ny hakitroky ny sarimihetsika, ny haben'ny voa, ny toetry ny fihenjanana ary ny harafesina amin'ny velarana. Ireo masontsivana ireo kosa dia fehezin'ny fomba famoahana ampiasaina mandritra ny fametrahana. Ny fomba famoahana ampiasaina matetika indrindra amin'ny fametrahana sarimihetsika manify dia ny famoahana mivantana (DC), ny famoahana amin'ny Radio Frequency (RF), ny famoahana amin'ny Medium Frequency (MF), ary ny famoahana amin'ny Pulsed DC. Ny tsirairay amin'ireo fomba famoahana ireo dia misy fiantraikany amin'ny toetran'ny plasma sy ny fizarana angovo, izay misy fiantraikany lehibe amin'ny firafitry ny sarimihetsika napetraka. Ity lahatsoratra ity dia miresaka momba ny fiantraikan'ny fomba famoahana samihafa amin'ny endriky ny voa, ny fitoviana amin'ny sarimihetsika, ny toetry ny fihenjanana ary ny hakitroky ny sarimihetsika.

Fivoahan'ny herinaratra mivantana (DC) sy ny fiantraikany amin'ny rafitra bitika amin'ny sarimihetsika

Ny famoahana herinaratra DC dia iray amin'ireo teknika sputtering be mpampiasa indrindra, indrindra amin'ny fametrahana sarimihetsika metaly. Ny famoahana herinaratra DC dia miasa amin'ny alàlan'ny famoronana saha elektrika eo anelanelan'ny lasibatra sy ny substrate, ka mahatonga ny elektrôna sy ny ion hifandona ary hametraka fitaovana eo amin'ny substrate.

Toetra ara-teknika:

Tahan'ny fiparitahana avo lenta: Azo ampiasaina amin'ny fametrahana haingana ny sarimihetsika metaly.

Hakitroky ny plasma ambany: Vokatra sarimihetsika misy haben'ny voam-bary lehibe kokoa sy rafitra henjana kokoa.

Fihenjanan-kery sisa tavela avo: Mety ho somary avo ny fihenjanan-kery anatiny ao amin'ny sarimihetsika, izay mety hisy fiantraikany amin'ny fifikirana sy ny faharetan'ny sarimihetsika.

Fiantraikany amin'ny rafitra bitika:

Haben'ny voa: Ny fivoahan'ny herinaratra avy amin'ny herinaratra (DC) dia mazàna miteraka sarimihetsika misy haben'ny voa lehibe kokoa.

Hakitry ny sarimihetsika: Mazàna tsy dia matevina loatra ilay sarimihetsika, miaraka amin'ny mety ho fisian'ny porosity sy lavaka.

Fihenjanana anatiny: Matetika ny sarimihetsika dia mampiseho fihenjanana anatiny ambony kokoa, izay mety hiteraka olana toy ny fisarahana na ny fiolahana amin'ny fampiharana sasany.

Fivoahan'ny onjam-peo matetika (RF) sy ny fiantraikany amin'ny rafitry ny sarimihetsika

Mampiasa saha elektrika mifandimby amin'ny matetika avo lenta ny famoahana RF mba hamoronana plasma, ary matetika ampiasaina amin'ny fandefasana fitaovana manasaraka toy ny oksida sy nitrida. Ny famoahana RF dia mahasoa amin'ny fandefasana tariby tsy mitondra herinaratra satria misoroka ny fiangonan'ny fiampangana eo amin'ny lasibatra, izay miantoka ny famokarana plasma maharitra.

Toetra ara-teknika:

Hakitroky ny plasma ambony kokoa: Mitarika ho amin'ny sosona mitovy kokoa.

Mety amin'ny lasibatra tsy mitondra herinaratra: Ny fivoahan'ny RF dia mety tsara amin'ny fandefasana fitaovana manasaraka toy ny oksida sy ny nitrida.

Tahan'ny fametrahana ambany kokoa: Noho ny herin'ny sputtering ambany kokoa, ny fivoahan'ny RF dia mazàna miteraka tahan'ny fametrahana miadana kokoa.

Fiantraikany amin'ny rafitra bitika:

Haben'ny voa: Ny fivoahan'ny RF dia mamokatra sarimihetsika misy habe voa kely kokoa, izay manatsara ny hakitroky ny sarimihetsika sy ny fahombiazan'ny optika.

Adin-tsaina: Mazàna dia ambany kokoa ny adin-tsaina anatiny ao amin'ilay sarimihetsika, satria mampihena ny fiovaovan'ny adin-tsaina ny fitovian'ny plasma.

Kalitaon'ny ety ivelany: Mazàna malama kokoa ny ety ivelany amin'ilay sarimihetsika, ka mahatonga azy io ho tsara indrindra amin'ny fampiasana coating optika, sarimihetsika dielektrika, ary sarimihetsika manify miasa tsara.

Fivoahan'ny hafanana antonony (MF) sy ny fiantraikany amin'ny rafitry ny sarimihetsika

Miasa eo anelanelan'ny 10–200 kHz ny MF discharge ary matetika ampiasaina amin'ny coatings metaly sy ny dingana reactive sputtering. Ny MF discharge dia miteraka plasma matanjaka kokoa amin'ny fepetra avo lenta kokoa ary afaka manome tahan'ny deposition ambony kokoa.

Toetra ara-teknika:

Hakitry ny hery ambony kokoa: Mahatonga ny tahan'ny fametrahana haingana kokoa sy ny fiantraikany sputtering matanjaka kokoa.

Fahaverezan'ny ionisation ambany kokoa: Raha ampitahaina amin'ny fivoahan'ny RF, ny fivoahan'ny MF dia miteraka fatiantoka ionisation vitsy kokoa, ka manatsara ny fahombiazan'ny fametrahana.

Tahan'ny fametrahana avo: Ny fivoahan'ny MF dia mety amin'ny fandrakofana velarana midadasika amin'ny famokarana indostrialy.

Fiantraikany amin'ny rafitra bitika:

Haben'ny voam-bary: Mazàna ny sarimihetsika dia mampiseho haben'ny voam-bary kely kokoa ary hakitroky tsara kokoa.

Fitoviana: Ny sarimihetsika napetraka miaraka amin'ny fivoahan'ny MF dia mazàna manana rafitra bitika mitovy kokoa.

Adin-tsaina: Noho ny hakitroky ny hery ambony kokoa, ny sarimihetsika fivoahan'ny MF dia mampiseho adin-tsaina anatiny ambany kokoa, izay mandray anjara amin'ny kalitaon'ny ety ivelany tsara kokoa sy ny fahombiazana ambony amin'ny fametrahana azy.

Fivoahan'ny herinaratra DC mihodinkodina sy ny fiantraikany amin'ny rafitry ny sarimihetsika

Ny "pulsed DC discharge" dia teknika iray izay misy fanaraha-maso ny famatsiana herinaratra "pulsed", izay matetika ampiasaina amin'ny fampiharana baomba ion mahery vaika. Ity fomba famoahana ity dia tena ilaina indrindra amin'ny fahazoana hakitroky ion ambony kokoa sy vokatra sputtering mahomby kokoa, sady manome tahan'ny fametrahana ambony kokoa.

Toetra ara-teknika:

Hery fitempon'ny fo: Ny hery fara tampony avo mandritra ny fitempon'ny fo dia ahafahana mampihena ny tahan'ny fametrahana.

Fanafoanana ny arko nohatsaraina: Ny fivoahan'ny herinaratra DC mihodinkodina dia manampy amin'ny fampihenana ny fiantraikan'ny arko, izay tena mahasoa indrindra amin'ny sputtering mahery vaika.

Fahombiazan'ny fiparitahana: Mitsitsy angovo kokoa ny fivoahan'ny herinaratra DC pulsed, manolotra tahan'ny fiparitahana avo lenta miaraka amin'ny fanjifana herinaratra ambany.

Fiantraikany amin'ny rafitra bitika:

Haben'ny voa: Ny sarimihetsika vokarin'ny famoahana herinaratra DC mihodinkodina dia amin'ny ankapobeny dia manana haben'ny voa antonony, izay mandanjalanja ny hakitroky ny sarimihetsika sy ny fitoviana.

Firaikitra amin'ny sarimihetsika: Mazàna ireo sarimihetsika dia mampiseho fifikirana matanjaka amin'ny substrate, noho ny baomba ion angovo avo.

Fanoherana ny fikikisana: Matetika ny sarimihetsika DC mihodinkodina dia mampiseho fanoherana ny fikikisana ambony kokoa noho ny baomba ion avo lenta mandritra ny fametrahana.

Fampitahana ny fomba famoahana amin'ny rafitra bitika sarimihetsika