Nā hopena o nā ʻano hoʻokuʻu like ʻole ma ka Microstructure o nā uhi

I ke kaʻina hana uhi hakahaka, he kuleana koʻikoʻi ko ka microstructure o nā ʻiliʻili lahilahi i ka hoʻoholo ʻana i ko lākou mau waiwai mechanical, ka hana optical, a me ke kūpaʻa ʻana i ka corrosion. Hoʻopili nui ʻia ka microstructure e nā mea e like me ka nui o ka ʻiliʻili, ka nui o ka palaoa, ke kūlana stress, a me ka roughness o ka ʻili. ʻO kēia mau palena, ma ka huli ʻana, ua hoʻomalu nui ʻia e ke ʻano hoʻokuʻu i hoʻohana ʻia i ka wā o ka waiho ʻana. ʻO nā ʻano hoʻokuʻu i hoʻohana pinepine ʻia i ka waiho ʻana o ka ʻiliʻili lahilahi ʻo ia ka Direct Current (DC) discharge, Radio Frequency (RF) discharge, Medium Frequency (MF) discharge, a me Pulsed DC discharge. Hoʻopili kēlā me kēia o kēia mau ʻano hoʻokuʻu i nā ʻano plasma a me ka hoʻolaha ikehu, kahi e hoʻopilikia nui ai i ka microstructure o ka ʻiliʻili i waiho ʻia. Kūkākūkā kēia ʻatikala pehea e hoʻopili ai nā ʻano hoʻokuʻu like ʻole i ke ʻano o ka palaoa, ke ʻano like o ka ʻiliʻili, ke kūlana stress, a me ka nui o ka ʻiliʻili.

ʻO ka hoʻokuʻu ʻana o ke au pololei (DC) a me kona hopena ma ka microstructure kiʻiʻoniʻoni

ʻO ka hoʻokuʻu ʻana o DC kekahi o nā ʻano hana sputtering i hoʻohana nui ʻia, ʻoi aku hoʻi i ka waiho ʻana o nā kiʻiʻoniʻoni metala. Hana ka hoʻokuʻu ʻana o DC ma ka hoʻokumu ʻana i kahi kahua uila ma waena o ka pahuhopu a me ka substrate, e hoʻoulu ana i nā electrons a me nā ions e kuʻi a waiho i nā mea ma luna o ka substrate.

Nā Hiʻohiʻona ʻenehana:

Ka nui o ka sputtering: Kūpono no ka waiho wikiwiki ʻana o nā ʻili metala.

Haʻahaʻa ka nui o ka plasma: Nā hopena i nā kiʻiʻoniʻoni me nā nui o ka palaoa nui a me kahi ʻano ʻoi aku ka paʻakikī.

Ke koʻikoʻi koena kiʻekiʻe: Hiki ke kiʻekiʻe ke koʻikoʻi kūloko i loko o ke kiʻiʻoniʻoni, kahi e hoʻopilikia ai i ka hoʻopili ʻana a me ke kūpaʻa o ke kiʻiʻoniʻoni.

Nā hopena ma ka Microstructure:

Ka nui o ka palaoa: ʻO ka hoʻokuʻu ʻana o DC ka hopena maʻamau i nā kiʻiʻoniʻoni me nā nui o ka palaoa.

Ka nui o ke kiʻiʻoniʻoni: ʻOi aku ka liʻiliʻi o ka nui o ke kiʻiʻoniʻoni, me ka porosity a me nā hakahaka hiki.

Ke kaumaha kūloko: Hōʻike pinepine ka kiʻiʻoniʻoni i ke kaumaha kūloko kiʻekiʻe, hiki ke alakaʻi i nā pilikia e like me ka delamination a i ʻole ke warping i kekahi mau noi.

ʻO ka hoʻokuʻu ʻana o ke alapine lekiō (RF) a me kona hopena ma ka microstructure kiʻiʻoniʻoni

Hoʻohana ka hoʻokuʻu RF i nā kahua uila ʻokoʻa alapine kiʻekiʻe e hana i ka plasma, a hoʻohana pinepine ʻia no ka sputtering i nā mea insulating e like me nā oxides a me nā nitrides. He mea maikaʻi ka hoʻokuʻu RF no ka non-conductive target sputtering no ka mea e pale aku i ka hōʻiliʻili ʻana o ka uku ma ka pahuhopu, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka hanauna plasma paʻa.

Nā Hiʻohiʻona ʻenehana:

ʻOi aku ka nui o ka plasma: Alakaʻi i nā uhi like ʻole.

Kūpono no nā pahuhopu ʻaʻole alakaʻi: He kūpono ka hoʻokuʻu RF no ka sputtering i nā mea insulating e like me nā oxides a me nā nitrides.

Ka helu hoʻokaʻawale haʻahaʻa: Ma muli o ka mana sputtering haʻahaʻa, ʻo ka hoʻokuʻu RF ka hopena o ka lohi o ka helu hoʻokaʻawale.

Nā hopena ma ka Microstructure:

Ka nui o ka palaoa: Hoʻopuka ka hoʻokuʻu RF i nā kiʻiʻoniʻoni me nā nui liʻiliʻi o ka palaoa, kahi e hoʻonui ai i ka nui o ka kiʻiʻoniʻoni a me ka hana optical.

Koʻikoʻi: ʻO ka maʻamau, ʻoi aku ka haʻahaʻa o ke koʻikoʻi kūloko o ka ʻili, ʻoiai ʻo ka like ʻana o ka plasma e hōʻemi ana i ka ʻokoʻa o ke koʻikoʻi.

ʻAno o ka ʻili: ʻOi aku ka laumania o ka ʻili o ke kiʻiʻoniʻoni, e kūpono ai no nā uhi optical, nā kiʻiʻoniʻoni dielectric, a me nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi hana.

ʻO ka hoʻokuʻu ʻana o ka alapine waena (MF) a me kona hopena ma ka microstructure kiʻiʻoniʻoni

Hana ka hoʻokuʻu ʻana o MF ma ka pae o 10-200 kHz a hoʻohana pinepine ʻia i nā uhi metala a me nā kaʻina hana sputtering reactive. Hoʻopuka ka hoʻokuʻu ʻana o MF i ka plasma ikaika aʻe ma lalo o nā kūlana mana kiʻekiʻe a hiki ke hāʻawi i nā helu deposition kiʻekiʻe.

Nā Hiʻohiʻona ʻenehana:

ʻOi aku ka nui o ka mana: ʻAe i ka wikiwiki o ka hoʻokahe ʻana a me nā hopena sputtering ikaika.

ʻOi aku ka haʻahaʻa o ka pohō ionization: Ke hoʻohālikelike ʻia me ka hoʻokuʻu ʻana o RF, ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka pohō ionization o ka hoʻokuʻu ʻana o MF, e hoʻomaikaʻi ana i ka pono o ka deposition.

Ka helu hoʻokahe kiʻekiʻe: He kūpono ka hoʻokuʻu ʻana o MF no nā uhi ʻāpana nui i ka hana ʻana ma ke ʻano ʻoihana.

Nā hopena ma ka Microstructure:

Ka nui o ka palaoa: Hōʻike pinepine ka ʻili i nā nui palaoa liʻiliʻi a me ka mānoanoa maikaʻi.

Ke ʻano like: ʻOi aku ka like o ka microstructure o nā kiʻiʻoniʻoni i waiho ʻia me ka hoʻokuʻu ʻana o MF.

Kaumaha: Ma muli o ke kiʻekiʻe o ka mana, hōʻike nā kiʻiʻoniʻoni hoʻokuʻu MF i ke kaumaha kūloko haʻahaʻa, kahi e hāʻawi ai i ka maikaʻi o ka ʻili a me ka pono hoʻokaʻawale kiʻekiʻe.

ʻO ka Pulsed DC Discharge a me kona hopena ma ka Film Microstructure

ʻO ka Pulsed DC discharge kahi ʻenehana e pili ana i ka mana hoʻolako mana pulsed, i hoʻohana pinepine ʻia i nā noi hoʻopōkā ion ikehu kiʻekiʻe. He mea pono loa kēia ʻano hoʻokuʻu no ka hoʻokō ʻana i ka nui o ka ion a me nā hopena sputtering ʻoi aku ka maikaʻi, ʻoiai e hāʻawi ana i kahi helu deposition kiʻekiʻe.

Nā Hiʻohiʻona ʻenehana:

Mana pulsed: ʻO ka mana kiʻekiʻe kiʻekiʻe i ka wā o nā pulses e hiki ai i nā helu waiho kiʻekiʻe.

Hoʻomaikaʻi ʻia ka hoʻopau ʻana i ke arc: Kōkua ka pulsed DC discharge i ka hōʻemi ʻana i nā hopena arcing, kahi mea pono loa no ka sputtering mana kiʻekiʻe.

Ka pono o ka sputtering: ʻOi aku ka mālama pono o ka ikehu o ka Pulsed DC discharge, e hāʻawi ana i nā helu sputtering kiʻekiʻe me ka hoʻohana ʻana i ka mana haʻahaʻa.

Nā hopena ma ka Microstructure:

Ka nui o ka palaoa: ʻO nā kiʻiʻoniʻoni i hana ʻia e ka pulsed DC discharge maʻamau he nui nā nui o ka palaoa waena, ke kaulike nei i ka nui o ka kiʻiʻoniʻoni a me ke kūlike.

Hoʻopili ʻia ke kiʻiʻoniʻoni: Hōʻike pinepine nā kiʻiʻoniʻoni i ka hoʻopili ikaika ʻana i ka substrate, mahalo i ka hoʻouka ʻana o ka ion ikehu kiʻekiʻe.

Ke kū'ē ʻana i ke kapa komo: Hōʻike pinepine nā kiʻiʻoniʻoni Pulsed DC i ke kū'ē ʻana i ke kapa komo maikaʻi loa ma muli o ke kiʻekiʻe o ka hoʻouka ʻana o ka ion i ka wā o ka waiho ʻana.

Hoʻohālikelike o nā ʻano hoʻokuʻu ma ka Microstructure Film