Buaidhean diofar dhòighean sgaoilidh air meanbh-structar chòtaichean

Anns a’ phròiseas còmhdach falamh, tha pàirt chudromach aig meanbh-structar fhilmichean tana ann a bhith a’ dearbhadh an cuid fheartan meacanaigeach, coileanadh optigeach, agus strì an aghaidh creimeadh. Tha buaidh mhòr aig factaran leithid dùmhlachd film, meud gràin, staid cuideam, agus garbh-chruth uachdar air a’ mheanbh-structar. Tha na paramadairean sin, an uair sin, air an riaghladh gu ìre mhòr leis a’ mhodh sgaoilidh a thathar a’ cleachdadh rè tasgadh. Is e na modhan sgaoilidh as cumanta a thathas a’ cleachdadh ann an tasgadh film tana sgaoileadh Sruth Dhìreach (DC), sgaoileadh Tricead Rèidio (RF), sgaoileadh Tricead Meadhanach (MF), agus sgaoileadh DC Pulsed. Tha buaidh aig gach aon de na modhan sgaoilidh sin air feartan plasma agus sgaoileadh lùtha, a bheir buaidh mhòr air meanbh-structar an fhilm tasgadh. Tha an t-artaigil seo a’ beachdachadh air mar a bheir diofar mhodhan sgaoilidh buaidh air morf-eòlas a’ ghràin, cunbhalachd film, staid cuideam, agus dùmhlachd film.

Sgaoileadh Sruth Dhìreach (DC) agus a Bhuaidh air Meanbh-structar Film

’S e sgaoileadh DC aon de na dòighean sputtering as fharsainge a thathas a’ cleachdadh, gu h-àraidh ann an tasgadh fhilmichean meatailteach. Bidh sgaoileadh DC ag obair le bhith a’ cruthachadh raon dealain eadar an targaid agus an t-substrate, ag adhbhrachadh gum bi dealanan agus ianan a’ bualadh ri chèile agus a’ tasgadh stuth air an t-substrate.

Feartan Teicnigeach:

Ìre sputtering àrd: Freagarrach airson tasgadh luath de fhilmichean meatailteach.

Dùmhlachd plasma ìosal: A’ leantainn gu filmichean le meudan gràin an ìre mhath mòr agus structar nas garbh.

Cuideam àrd fuigheallach: Faodaidh an cuideam a-staigh anns an fhilm a bhith an ìre mhath àrd, agus dh’ fhaodadh sin buaidh a thoirt air greamachadh agus seasmhachd an fhilm.

Buaidhean air Microstructar:

Meud gràin: Mar as trice bidh sgaoileadh DC a’ leantainn gu filmichean le meudan gràin nas motha.

Dlùths film: Mar as trice bidh am film nas lugha dùmhail, le comas ann gum bi e porous agus beàrnan ann.

Cuideam a-staigh: Bidh cuideam a-staigh nas àirde air an fhilm gu tric, agus faodaidh seo leantainn gu cùisean leithid delamination no warping ann an cuid de thagraidhean.

Sgaoileadh Tricead Rèidio (RF) agus a Bhuaidh air Meanbh-structar Film

Bidh sgaoileadh RF a’ cleachdadh raointean dealain atharraichte àrd-tricead gus plasma a chruthachadh, agus mar as trice bidh e air a chleachdadh airson stuthan inslithe leithid ocsaidean agus naitridean a spùtadh. Tha sgaoileadh RF buannachdail airson spùtadh targaid neo-ghiùlain oir tha e a’ seachnadh cruinneachadh luchd air an targaid, a’ dèanamh cinnteach à gineadh plasma seasmhach.

Feartan Teicnigeach:

Dùmhlachd plasma nas àirde: A’ leantainn gu còmhdach nas èideadh.

Freagarrach airson targaidean neo-ghiùlain: tha sgaoileadh RF air leth freagarrach airson stuthan inslithe leithid ocsaidean agus naitridean a sputteradh.

Ìre tasgaidh nas ìsle: Air sgàth cumhachd sputtering nas ìsle, mar as trice bidh sgaoileadh RF ag adhbhrachadh ìrean tasgaidh nas slaodaiche.

Buaidhean air Microstructar:

Meud gràin: Bidh sgaoileadh RF a’ toirt a-mach filmichean le meudan gràin nas lugha, a leasaicheas dùmhlachd film agus coileanadh optigeach.

Cuideam: Mar as trice bidh cuideam a-staigh nas ìsle aig an fhilm, leis gu bheil aonfhoirmeachd a’ phlasma a’ lughdachadh atharrachadh cuideim.

Càileachd uachdar: Bidh uachdar nas socair aig an fhilm, ga dhèanamh freagarrach airson còmhdach optigeach, filmichean dielectric, agus filmichean tana gnìomhach.

Sgaoileadh Meadhanach Tricead (MF) agus a Bhuaidh air Microstructar Film

Bidh sgaoileadh MF ag obrachadh anns an raon 10–200 kHz agus tha e air a chleachdadh gu cumanta ann an còtaichean meatailteach agus pròiseasan sputtering ath-ghnìomhach. Bidh sgaoileadh MF a’ gineadh plasma nas làidire fo chumhachan cumhachd nas àirde agus tha e comasach air ìrean tasgaidh nas àirde a lìbhrigeadh.

Feartan Teicnigeach:

Dùmhlachd cumhachd nas àirde: A’ leigeil le ìrean tasgaidh nas luaithe agus buaidhean sputtering nas làidire.

Call ianachaidh nas ìsle: An coimeas ri sgaoileadh RF, bidh nas lugha de chall ianachaidh mar thoradh air sgaoileadh MF, a’ leasachadh èifeachdas tasgaidh.

Ìre tasgaidh àrd: Tha sgaoileadh MF freagarrach airson còmhdach farsaingeachd mhòr ann an cinneasachadh air sgèile gnìomhachais.

Buaidhean air Microstructar:

Meud gràin: Mar as trice bidh meudan gràin nas lugha agus dùmhlachd nas fheàrr aig an fhilm.

Aonfhoirmeachd: San fharsaingeachd, bidh meanbh-structar nas aonfhoirmeil aig filmichean air an tasgadh le sgaoileadh MF.

Cuideam: Air sgàth an dùmhlachd cumhachd nas àirde, tha cuideam a-staigh nas ìsle aig filmichean sgaoilidh MF, a tha a’ cur ri càileachd uachdar nas fheàrr agus èifeachdas tasgaidh àrd.

Sgaoileadh DC Pulsach agus a Bhuaidh air Microstructar Film

'S e dòigh-obrach a th' ann an sgaoileadh DC cuisleach a bhios a' cleachdadh smachd solar cumhachd cuisleach, a thathas gu tric a' cleachdadh ann an tagraidhean bomadh ian àrd-lùtha. Tha am modh sgaoilidh seo gu sònraichte feumail airson dùmhlachd ian nas àirde agus buaidhean sputtering nas èifeachdaiche a choileanadh, agus aig an aon àm a' toirt seachad ìre tasgaidh nas àirde.

Feartan Teicnigeach:

Cumhachd cuisleach: Leigidh an cumhachd as àirde rè na cuislean le ìrean tasgaidh àrda.

Casg bogha nas fheàrr: Bidh sgaoileadh DC cuisleach a’ cuideachadh le bhith a’ lughdachadh buaidhean bogha, rud a tha gu sònraichte buannachdail airson sputtering àrd-chumhachd.

Èifeachdas sputtering: Tha sgaoileadh DC cuisleach nas èifeachdaiche a thaobh lùtha, a’ tabhann ìrean sputtering àrd le caitheamh cumhachd an ìre mhath ìosal.

Buaidhean air Microstructar:

Meud gràin: Mar as trice bidh meudan gràin meadhanach aig na filmichean a thèid a dhèanamh le sgaoileadh DC cuisleach, a’ cothromachadh dùmhlachd agus cunbhalachd an fhilm.

Greamachadh film: Mar as trice bidh greamachadh làidir aig na filmichean ris an t-substrate, le taing do bhomadh ian àrd-lùtha.

Seasmhachd an aghaidh caitheamh: Bidh filmichean DC cuisleach gu tric a’ nochdadh strì an aghaidh caitheamh nas fheàrr air sgàth an àrd-bhomadh ian rè an tasgadh.

Coimeas eadar Modhan Sgaoilidh air Microstructar Film