ផលប៉ះពាល់នៃរបៀបបញ្ចេញផ្សេងៗគ្នាលើមីក្រូស្ត្រុកទ័រនៃថ្នាំកូត

នៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាស មីក្រូស្ត្រុកទ័រនៃខ្សែភាពយន្តស្តើងដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការកំណត់លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច ប្រសិទ្ធភាពអុបទិក និងភាពធន់នឹងការច្រេះរបស់វា។ មីក្រូស្ត្រុកទ័រត្រូវបានជះឥទ្ធិពលជាចម្បងដោយកត្តាដូចជាដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្ត ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ ស្ថានភាពស្ត្រេស និងភាពរដុបនៃផ្ទៃ។ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រទាំងនេះវិញ ត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងទូលំទូលាយដោយរបៀបបញ្ចេញដែលប្រើក្នុងអំឡុងពេលដាក់ស្រទាប់។ របៀបបញ្ចេញដែលប្រើជាទូទៅបំផុតនៅក្នុងការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស្តើងគឺ ការបញ្ចេញចរន្តផ្ទាល់ (DC) ការបញ្ចេញប្រេកង់វិទ្យុ (RF) ការបញ្ចេញប្រេកង់មធ្យម (MF) និងការបញ្ចេញចរន្តឌីស៊ីជីពចរ។ របៀបបញ្ចេញនីមួយៗទាំងនេះមានឥទ្ធិពលលើលក្ខណៈប្លាស្មា និងការចែកចាយថាមពល ដែលប៉ះពាល់យ៉ាងខ្លាំងដល់មីក្រូស្ត្រុកទ័រនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។ អត្ថបទនេះពិភាក្សាអំពីរបៀបដែលរបៀបបញ្ចេញផ្សេងៗគ្នាប៉ះពាល់ដល់រូបរាងគ្រាប់ធញ្ញជាតិ ឯកសណ្ឋានខ្សែភាពយន្ត ស្ថានភាពស្ត្រេស និងដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្ត។

ការបញ្ចេញចរន្តផ្ទាល់ (DC) និងឥទ្ធិពលរបស់វាទៅលើមីក្រូស្ត្រុកទ័រខ្សែភាពយន្ត

ការបញ្ចេញចរន្តត្រង់ (DC discharge) គឺជាបច្ចេកទេសបញ្ចេញពន្លឺមួយក្នុងចំណោមបច្ចេកទេសបញ្ចេញពន្លឺដែលត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយបំផុត ជាពិសេសនៅក្នុងការរលាយខ្សែភាពយន្តលោហធាតុ។ ការបញ្ចេញចរន្តត្រង់ដំណើរការដោយបង្កើតដែនអគ្គិសនីរវាងគោលដៅ និងស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលបណ្តាលឱ្យអេឡិចត្រុង និងអ៊ីយ៉ុងប៉ះទង្គិចគ្នា និងដាក់សម្ភារៈទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។

លក្ខណៈបច្ចេកទេស៖

អត្រា​ស្ព្រាត​ខ្ពស់៖ ស័ក្តិសម​សម្រាប់​ការ​ដាក់​ស្រទាប់​លោហធាតុ​យ៉ាង​រហ័ស។

ដង់ស៊ីតេប្លាស្មាទាប៖ លទ្ធផលជាខ្សែភាពយន្តដែលមានទំហំគ្រាប់ធំល្មម និងមានរចនាសម្ព័ន្ធរដុបជាង។

ភាពតានតឹងសំណល់ខ្ពស់៖ ភាពតានតឹងខាងក្នុងនៅក្នុងខ្សែភាពយន្តអាចខ្ពស់ ដែលអាចប៉ះពាល់ដល់ភាពស្អិត និងភាពធន់នៃខ្សែភាពយន្ត។

ផលប៉ះពាល់លើមីក្រូរចនាសម្ព័ន្ធ៖

ទំហំ​គ្រាប់​ធញ្ញជាតិ៖ ការបញ្ចេញ​ចរន្តអគ្គិសនី​ជាធម្មតា​បណ្តាលឱ្យ​មាន​ខ្សែភាពយន្ត​ដែលមាន​ទំហំ​គ្រាប់​ធញ្ញជាតិ​ធំជាង។

ដង់ស៊ីតេ​ខ្សែភាពយន្ត៖ ខ្សែភាពយន្ត​នេះ​ជាធម្មតា​មាន​ដង់ស៊ីតេ​តិចជាង ជាមួយនឹង​ភាព​พรุน និង​ចន្លោះប្រហោង​ដែល​អាច​កើតមាន។

ភាពតានតឹងខាងក្នុង៖ ខ្សែភាពយន្តនេះច្រើនតែបង្ហាញពីភាពតានតឹងខាងក្នុងខ្ពស់ ដែលអាចនាំឱ្យមានបញ្ហាដូចជាការបែកចេញ ឬការរួញអង្កាញ់នៅក្នុងកម្មវិធីមួយចំនួន។

ការបញ្ចេញប្រេកង់វិទ្យុ (RF) និងឥទ្ធិពលរបស់វាទៅលើមីក្រូស្ត្រុកទ័រខ្សែភាពយន្ត

ការបញ្ចេញ RF ប្រើប្រាស់ដែនអគ្គិសនីឆ្លាស់ប្រេកង់ខ្ពស់ដើម្បីបង្កើតប្លាស្មា ហើយត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅសម្រាប់ការបាញ់សារធាតុអ៊ីសូឡង់ដូចជាអុកស៊ីដ និងនីទ្រីត។ ការបញ្ចេញ RF មានអត្ថប្រយោជន៍សម្រាប់ការបាញ់គោលដៅដែលមិនដឹកនាំចរន្ត ពីព្រោះវាជៀសវាងការប្រមូលផ្តុំបន្ទុកលើគោលដៅ ដែលធានាបាននូវការបង្កើតប្លាស្មាដែលមានស្ថេរភាព។

លក្ខណៈបច្ចេកទេស៖

ដង់ស៊ីតេប្លាស្មាខ្ពស់៖ នាំឱ្យមានថ្នាំកូតឯកសណ្ឋានជាងមុន។

ស័ក្តិសមសម្រាប់គោលដៅមិនដឹកនាំចរន្ត៖ ការបញ្ចេញ RF គឺល្អសម្រាប់ការបាញ់ថ្នាំសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ដូចជាអុកស៊ីដ និងនីទ្រីត។

អត្រា​នៃ​ការ​បញ្ចេញ​ចំហាយ​ទាប៖ ដោយសារ​ថាមពល​បញ្ចេញ​ចំហាយ​ទាប ការបញ្ចេញ​ចំហាយ RF ជាធម្មតា​បណ្តាល​ឱ្យ​អត្រា​នៃ​ការ​បញ្ចេញ​ចំហាយ​យឺត​ជាង។

ផលប៉ះពាល់លើមីក្រូរចនាសម្ព័ន្ធ៖

ទំហំ​គ្រាប់​ធញ្ញជាតិ៖ ការបញ្ចេញ RF ផលិត​ខ្សែភាពយន្ត​ដែលមាន​ទំហំ​គ្រាប់​ធញ្ញជាតិ​តូចជាង ដែល​បង្កើន​ដង់ស៊ីតេ​ខ្សែភាពយន្ត និង​ដំណើរការ​អុបទិក។

ភាពតានតឹង៖ ខ្សែភាពយន្តនេះជាធម្មតាមានភាពតានតឹងខាងក្នុងទាបជាង ដោយសារឯកសណ្ឋានប្លាស្មាកាត់បន្ថយការប្រែប្រួលភាពតានតឹង។

គុណភាពផ្ទៃ៖ ខ្សែភាពយន្តនេះមានទំនោរមានផ្ទៃរលោងជាងមុន ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ថ្នាំកូតអុបទិក ខ្សែភាពយន្តឌីអេឡិចត្រិច និងខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលមានមុខងារ។

ការបញ្ចេញប្រេកង់មធ្យម (MF) និងឥទ្ធិពលរបស់វាទៅលើមីក្រូស្ត្រុកទ័រខ្សែភាពយន្ត

ការបញ្ចេញ MF ដំណើរការក្នុងចន្លោះពី 10–200 kHz ហើយត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងថ្នាំកូតលោហធាតុ និងដំណើរការបញ្ចេញប្រតិកម្ម។ ការបញ្ចេញ MF បង្កើតប្លាស្មាខ្លាំងជាងមុនក្រោមលក្ខខណ្ឌថាមពលខ្ពស់ និងមានសមត្ថភាពផ្តល់អត្រាបញ្ចេញខ្ពស់ជាងមុន។

លក្ខណៈបច្ចេកទេស៖

ដង់ស៊ីតេថាមពលខ្ពស់ជាង៖ អនុញ្ញាតឱ្យមានអត្រាការដាក់សារធាតុលឿនជាងមុន និងឥទ្ធិពលនៃការបាញ់ទឹកខ្លាំងជាងមុន។

ការខាតបង់អ៊ីយ៉ូដទាបជាង៖ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងការបញ្ចេញ RF ការបញ្ចេញ MF បណ្តាលឱ្យមានការខាតបង់អ៊ីយ៉ូដតិចជាង ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពនៃការបញ្ចេញ។

អត្រា​នៃ​ការ​ដាក់​ខ្ពស់៖ ការ​បញ្ចេញ MF គឺ​សមរម្យ​សម្រាប់​ថ្នាំកូត​លើ​ផ្ទៃដី​ធំ​ក្នុង​ផលិតកម្ម​ទ្រង់ទ្រាយ​ធំ​។

ផលប៉ះពាល់លើមីក្រូរចនាសម្ព័ន្ធ៖

ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិ៖ ខ្សែភាពយន្តនេះជាធម្មតាបង្ហាញទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិតូចជាង និងដង់ស៊ីតេល្អជាង។

ឯកសណ្ឋាន៖ ខ្សែភាពយន្តដែលដាក់ជាមួយនឹងការបញ្ចេញ MF ជាទូទៅមានមីក្រូស្ត្រុកទ័រឯកសណ្ឋានជាង។

ភាពតានតឹង៖ ដោយសារតែដង់ស៊ីតេថាមពលខ្ពស់ជាងនេះ ខ្សែភាពយន្តបញ្ចេញ MF បង្ហាញពីភាពតានតឹងខាងក្នុងទាបជាង ដែលរួមចំណែកដល់គុណភាពផ្ទៃកាន់តែប្រសើរ និងប្រសិទ្ធភាពនៃការដាក់ស្រទាប់ខ្ពស់។

ការបញ្ចេញចរន្តអគ្គិសនី DC ដែលមានជីពចរ និងឥទ្ធិពលរបស់វាទៅលើមីក្រូស្ត្រុកទ័រខ្សែភាពយន្ត

ការបញ្ចេញចរន្តត្រង់ដែលមានជីពចរ គឺជាបច្ចេកទេសមួយដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការគ្រប់គ្រងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលដែលមានជីពចរ ដែលជារឿយៗត្រូវបានប្រើនៅក្នុងកម្មវិធីទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់។ របៀបបញ្ចេញនេះមានប្រយោជន៍ជាពិសេសសម្រាប់ការសម្រេចបានដង់ស៊ីតេអ៊ីយ៉ុងខ្ពស់ និងប្រសិទ្ធភាពនៃការបាញ់ស្ព្រាតកាន់តែមានប្រសិទ្ធភាព ខណៈពេលដែលក៏ផ្តល់នូវអត្រាការដាក់ខ្ពស់ជាងមុនផងដែរ។

លក្ខណៈបច្ចេកទេស៖

ថាមពល​ជីពចរ៖ ថាមពល​កំពូល​ខ្ពស់​អំឡុងពេល​ជីពចរ​អាច​ឱ្យ​មាន​អត្រា​បញ្ចេញ​ខ្ពស់។

ការទប់ស្កាត់ធ្នូបានប្រសើរឡើង៖ ការបញ្ចេញចរន្ត DC ដែលមានជីពចរជួយកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់នៃការធ្នូ ដែលមានប្រយោជន៍ជាពិសេសសម្រាប់ការបាញ់កាំរស្មីថាមពលខ្ពស់។

ប្រសិទ្ធភាព​នៃ​ការ​បញ្ចេញ​ពន្លឺ៖ ការបញ្ចេញ​ចរន្ត​ត្រង់​ដែល​មាន​ជីពចរ​មាន​ប្រសិទ្ធភាព​ថាមពល​ច្រើន​ជាង ដោយ​ផ្តល់​អត្រា​បញ្ចេញ​ពន្លឺ​ខ្ពស់​ជាមួយ​នឹង​ការ​ប្រើប្រាស់​ថាមពល​ទាប។

ផលប៉ះពាល់លើមីក្រូរចនាសម្ព័ន្ធ៖

ទំហំ​គ្រាប់​ហ្វីល៖ ខ្សែភាពយន្ត​ដែល​ផលិត​ដោយ​ការ​បញ្ចេញ​ចរន្ត​ DC ជាទូទៅ​មាន​ទំហំ​គ្រាប់​ហ្វីល​មធ្យម ដែល​ធ្វើ​ឲ្យ​មាន​តុល្យភាព​រវាង​ដង់ស៊ីតេ​ហ្វីល និង​ឯកសណ្ឋាន។

ភាពស្អិតជាប់នៃខ្សែភាពយន្ត៖ ខ្សែភាពយន្តទាំងនេះជាធម្មតាបង្ហាញពីភាពស្អិតជាប់ខ្លាំងទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោម ដោយសារការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់។

ភាពធន់នឹងការពាក់៖ ខ្សែភាពយន្ត DC ដែលមានជីពចរច្រើនតែបង្ហាញពីភាពធន់នឹងការពាក់ខ្ពស់ជាងដោយសារតែការទម្លាក់អ៊ីយ៉ុងខ្ពស់ក្នុងអំឡុងពេលដាក់។

ការប្រៀបធៀបនៃរបៀបបញ្ចេញលើមីក្រូស្ត្រុកទ័រខ្សែភាពយន្ត