A'afiaga o Faiga Eseese o le Fa'asa'olotoina i luga o le Fausaga Laiti o Ufiufi

I le faagasologa o le ufiufiina o le vacuum, o le fausaga laiti o ata manifinifi e taua tele i le fuafuaina o latou meatotino fa'amekanika, fa'atinoga opitika, ma le tete'e atu i le 'ele. O le fausaga laiti e fa'atosinaina muamua lava e mea e pei o le mafiafia o le ata, le tele o fatu, le tulaga o le atuatuvale, ma le mageso o le fogaeleele. O nei fa'atulagaga, i le isi itu, e pulea tele e le faiga o le fa'asa'olotoina e fa'aaogaina i le taimi o le fa'aputuina. O faiga e masani ona fa'aaogaina i le fa'aputuina o ata manifinifi o le Direct Current (DC) discharge, Radio Frequency (RF) discharge, Medium Frequency (MF) discharge, ma le Pulsed DC discharge. O nei faiga ta'itasi o le fa'asa'olotoina e a'afia ai uiga o le plasma ma le tufatufaina atu o le malosi, lea e a'afia tele ai le fausaga laiti o le ata ua fa'aputuina. O lenei tusiga o lo'o talanoaina ai pe fa'apefea ona a'afia e auala eseese o le fa'asa'olotoina o le foliga o fatu, le tutusa o le ata, le tulaga o le atuatuvale, ma le mafiafia o le ata.

Fa'amamāina o le Taimi Tuusa'o (DC) ma Lona A'afiaga i le Fausaga Maiko o Ata Tifaga

O le DC discharge o se tasi lea o metotia e sili ona faʻaaogaina lautele, aemaise lava i le faʻaputuina o ata uʻamea. E galue le DC discharge e ala i le fausiaina o se fanua eletise i le va o le sini ma le substrate, ma mafua ai ona fetoʻai electrons ma ions ma faʻaputu mea i luga o le substrate.

Fa'amatalaga Fa'apitoa:

Maualuga le fua faatatau o le fe'avea'i: Talafeagai mo le vave fa'aputuina o ata u'amea.

Maualalo le mafiafia o le plasma: E maua ai ni ata tifaga e fai si lapopo'a o fatu ma se fausaga e sili atu ona ma'a'a.

Loto mamafa tele o totoe: E mafai ona maualuga tele le loto mamafa i totonu o le ata tifaga, lea e ono a'afia ai le pipii ma le tumau o le ata tifaga.

A'afiaga i luga o le Microstructure:

Tele o fatu: O le fa'agasologa o le DC e masani ona i'u ai i ni ata tifaga e tetele atu le tele o fatu.

Mafiafia o le ata tifaga: E masani lava ona itiiti le mafiafia o le ata tifaga, e ono iai ni porosity ma ni avanoa.

Lototiga i totonu: E masani ona faaalia i le ata tifaga le tele o le lototiga i totonu, lea e mafai ona oo atu ai i faafitauli e pei o le vaeluaina po o le pi'o i nisi o faaaogaina.

Fa'asalalauina o le Frequency Radio (RF) ma lona A'afiaga i le Fausaga Maiko o Ata Tifaga

O le fa'amamago RF e fa'aaogā ai fanua eletise fesuia'i e maualuga le saoasaoa e fa'atupu ai le plasma, ma e masani ona fa'aaogā mo le fa'apuna o mea e taofia ai le vevela e pei o oxides ma nitrides. O le fa'apuna o le RF e aogā mo le fa'apuna o le vevela e le o ni aveta'avale auā e 'alofia ai le fa'aputuina o le eletise i luga o le sini, ma fa'amautinoa ai le mautu o le gaosiga o le plasma.

Fa'amatalaga Fa'apitoa:

Maualuga le mafiafia o le plasma: E mafua ai ona sili atu ona tutusa ufiufi.

Talafeagai mo sini e lē fa'avevela ai le ea: O le fa'asa'olotoina o le RF e fetaui lelei mo le fa'asalalauina o mea e taofia ai le ea e pei o oxides ma nitrides.

Maualalo le fua faatatau o le fa'aputuina: Ona o le maualalo o le malosi o le sputtering, o le RF discharge e masani ona i'u ai i le telegese o le fua faatatau o le fa'aputuina.

A'afiaga i luga o le Microstructure:

Tele o fatu: O le fa'amatu'uina atu o le RF e maua ai ni ata tifaga e laiti ifo fatu, lea e fa'aleleia atili ai le mafiafia o ata tifaga ma le fa'atinoga o le va'aiga.

Popolega: E masani ona maualalo le popole i totonu o le ata tifaga, ona o le tutusa o le plasma e faʻaitiitia ai le eseesega o le popole.

Tulaga lelei o le laualuga: E masani ona lamolemole le laualuga o le ata tifaga, ma e fetaui lelei mo ufiufi opitika, ata tifaga dielectric, ma ata tifaga manifinifi e aoga.

Fa'amamāina o le Feololo (MF) ma lona A'afiaga i le Fausaga Maiko o Ata Tifaga

E galue le MF discharge i le va o le 10–200 kHz ma e masani ona faʻaaogaina i vali uʻamea ma faiga faʻasolosolo faʻafuaseʻi. E faʻatupuina e le MF discharge le plasma malosi i lalo o tulaga maualuga o le eletise ma e mafai ona tuʻuina atu ni fua faatatau maualuga o le faʻaputuga.

Fa'amatalaga Fa'apitoa:

Maualuga le mafiafia o le malosi: E mafai ai ona vave le fua faatatau o le fa'aputuina ma malolosi ai aafiaga o le sputtering.

Maualalo le ionization loss: Pe a fa'atusatusa i le RF discharge, o le MF discharge e mafua ai le itiiti ifo o le ionization loss, ma fa'aleleia atili ai le lelei o le deposition.

Maualuga le fua faatatau o le fa'amamāina: E talafeagai le fa'amamāina o le MF mo vali i vaega tetele i le gaosiga fa'apisinisi.

A'afiaga i luga o le Microstructure:

Tele o fatu: E masani ona faaalia e le ata tifaga ni fatu laiti ma lelei le mafiafia.

Tutusa: O ata tifaga e fa'aputuina i le fa'asa'olotoina o le MF e masani lava ona sili atu ona tutusa lona fausaga.

Popolega: Ona o le maualuga o le mamafa o le malosiaga, o ata tifaga o le fa'asa'olotoina o le MF e maualalo le mamafa i totonu, lea e fesoasoani i le lelei o le fogāeleele ma le maualuga o le lelei o le fa'aputuina.

Pulsed DC Discharge ma lona Aafiaga i luga o le Ata Tifaga Microstructure

O le Pulsed DC discharge o se metotia e aofia ai le puleaina o le sapalai o le eletise pulsed, e masani ona faʻaaogaina i faʻaoga faʻapamuina ion e maualuga le malosi. O lenei faiga faʻasaʻoloto e aoga tele mo le ausiaina o le maualuga o le ion density ma le sili atu ona lelei o aafiaga sputtering, aʻo tuʻuina atu ai foʻi se fua faatatau maualuga o le deposition.

Fa'amatalaga Fa'apitoa:

Mana o le tata: O le malosi maualuga i le taimi o tata e mafai ai ona maualuga le fua faatatau o le teuina.

Fa'aleleia atili o le taofiofia o le arc: O le pulsed DC discharge e fesoasoani e fa'aitiitia ai aafiaga o le arcing, lea e sili ona aoga mo le sputtering malosi tele.

Lelei o le sputtering: O le pulsed DC discharge e sili atu ona sefe ai le malosi, e ofoina atu ai le maualuga o le sputtering rate ae maualalo le eletise e faʻaaogaina.

A'afiaga i luga o le Microstructure:

Tele o fatu: O ata tifaga e gaosia e le pulsed DC discharge e masani ona i ai ni lapopo'a feololo o fatu, e paleni le mafiafia ma le tutusa o le ata tifaga.

Pipii mau i le ata tifaga: E masani ona faʻaalia e ata tifaga le pipii malosi i le mea faʻapipiʻi, faʻafetai i le osofaʻiga malosi o ion.

Tete'e i le ofuina: O ata tifaga DC ua pulsed e masani ona fa'aalia ai le tete'e sili atu i le ofuina ona o le maualuga o le osofa'iga o le ion i le taimi o le fa'aputuga.

Fa'atusatusaga o Faiga Fa'asa'oloto i luga o le Fausaga Ata Tifaga