Bandorên Modên Cûda yên Derxistinê li ser Mîkroavahîya Pêçanan

Di pêvajoya pêçandina valahiyê de, mîkroavahîya fîlmên tenik roleke girîng di destnîşankirina taybetmendiyên wan ên mekanîkî, performansa optîkî û berxwedana wan a korozyonê de dilîze. Mîkroavahiyê bi giranî ji hêla faktorên wekî dendika fîlmê, mezinahiya dendikê, rewşa stresê û hişkbûna rûyê ve tê bandorkirin. Ev parametre, di encamê de, bi giranî ji hêla moda derxistinê ya ku di dema danîna fîlmê tenik de tê bikar anîn ve têne rêvebirin. Modên derxistinê yên herî gelemperî di danîna fîlmê tenik de derxistina Herika Rasterast (DC), derxistina Frekansa Radyoyê (RF), derxistina Frekansa Navîn (MF) û derxistina DC ya Pulse ne. Her yek ji van modên derxistinê bandorê li taybetmendiyên plazmayê û belavkirina enerjiyê dike, ku bandorek girîng li ser mîkroavahîya fîlmê danîne dike. Ev gotar nîqaş dike ka modên derxistinê yên cûda çawa bandorê li morfolojiya dendikê, yekrengiya fîlmê, rewşa stresê û dendika fîlmê dikin.

Derxistina Herika Rasterast (DC) û Bandora Wê li ser Mîkroavahîya Fîlmê

Derxistina DC yek ji teknîkên sputteringê yên herî berbelav e, bi taybetî di danîna fîlmên metalîk de. Derxistina DC bi afirandina qadeke elektrîkê di navbera hedef û substratê de dixebite, dibe sedema ku elektron û iyon li hev bikevin û materyalê li ser substratê deynin.

Taybetmendiyên Teknîkî:

Rêjeya bilind a sputterkirinê: Ji bo danîna bilez a fîlmên metalîkî guncaw e.

Densiya plazmayê ya nizm: Di encamê de fîlmên bi mezinahiyên danên nisbeten mezin û avahiyek hişktir çêdibin.

Stresa mayî ya bilind: Stresa navxweyî ya di fîlmê de dikare nisbeten bilind be, ku dibe ku bandorê li ser zeliqandin û domdariya fîlmê bike.

Bandorên li ser Mîkroavahîyê:

Mezinahiya dendikan: Derxistina DC bi gelemperî dibe sedema fîlmên bi mezinahiya dendikên mezintir.

Tîrbûna fîlmê: Fîlm bi gelemperî kêmtir tîr e, bi potansiyela porozîtî û valahiyê.

Stresa navxweyî: Fîlm pir caran streseke navxweyî ya bilindtir nîşan dide, ku ev dikare di hin serîlêdanan de bibe sedema pirsgirêkên wekî veqetandin an jî xwarbûnê.

Derxistina Frekansa Radyoyê (RF) û Bandora Wê li ser Mîkroavahîya Fîlmê

Derxistina RF ji bo çêkirina plazmayê qadên elektrîkê yên alternatîf ên frekanseke bilind bikar tîne û bi gelemperî ji bo sputterkirina materyalên îzolekirinê yên wekî oksîd û nîtrîdan tê bikar anîn. Derxistina RF ji bo sputterkirina hedefa ne-guhêzbar sûdmend e ji ber ku ew kombûna bargiraniyê li ser hedefê asteng dike, û çêkirina plazmayek stabîl misoger dike.

Taybetmendiyên Teknîkî:

Densiya plazmayê ya bilindtir: Dibe sedema pêçandina yekrengtir.

Ji bo hedefên ne-guhêzbar guncaw e: Dakêşana RF ji bo sputterkirina materyalên îzolekirinê yên wekî oksîd û nîtrîdan îdeal e.

Rêjeya danîna kêmtir: Ji ber hêza sputteringê ya kêmtir, daketina RF bi gelemperî dibe sedema rêjeyên danîna hêdtir.

Bandorên li ser Mîkroavahîyê:

Mezinahiya dendikan: Dakêşana RF fîlmên bi mezinahiya dendikên piçûktir çêdike, ku dendika fîlmê û performansa optîkî zêde dike.

Stres: Fîlm bi gelemperî stresa navxweyî kêmtir e, ji ber ku yekrengiya plazmayê guherîna stresê kêm dike.

Qalîteya rûberê: Fîlm xwedî rûberek nermtir e, ji ber vê yekê ew ji bo pêçandina optîkî, fîlmên dielektrîk û fîlmên tenik ên fonksiyonel îdeal e.

Derxistina Frekansa Navîn (MF) û Bandora Wê li ser Mîkroavahîya Fîlmê

Derxistina MF di navbera 10–200 kHz de dixebite û bi gelemperî di pêçandina metalî û pêvajoyên sputterkirina reaktîf de tê bikar anîn. Derxistina MF di bin şert û mercên hêza bilindtir de plazmayek bihêztir çêdike û dikare rêjeyên depokirinê yên bilindtir peyda bike.

Taybetmendiyên Teknîkî:

Densiya hêzê ya bilindtir: Rê dide rêjeyên depokirina zûtir û bandorên sputteringê yên bihêztir.

Windahiyên îyonîzasyonê yên kêmtir: Li gorî dakêşana RF, dakêşana MF dibe sedema windahiyên îyonîzasyonê yên kêmtir, û karîgeriya danîna avê baştir dike.

Rêjeya bilind a danînê: Derxistina MF ji bo pêçandina rûbereke mezin di hilberîna di asta pîşesaziyê de guncaw e.

Bandorên li ser Mîkroavahîyê:

Mezinahiya dendikan: Fîlm bi gelemperî mezinahiya dendikan a piçûktir û dendika çêtir nîşan dide.

Yekrengî: Fîlmên ku bi dakêşana MF re têne razandin bi gelemperî xwedî mîkroavahiyek yekrengtir in.

Stres: Ji ber dendika hêzê ya bilindtir, fîlmên dakêşana MF stresa navxweyî ya kêmtir nîşan didin, ku ev yek dibe sedema qalîteya rûyê çêtir û karîgeriya bilind a depokirinê.

Derxistina DC ya Pulsed û Bandora Wê li ser Mîkroavahîya Fîlmê

Dakêşana DC ya pulsasyonî teknîkek e ku kontrola dabînkirina hêzê ya pulsasyonî dihewîne, ku pir caran di sepanên bombebarana îyonê ya enerjiya bilind de tê bikar anîn. Ev moda dakêşanê bi taybetî ji bo bidestxistina dendika îyonê ya bilindtir û bandorên sputterkirinê yên bibandortir bikêrhatî ye, di heman demê de rêjeyek danîna bilindtir jî peyda dike.

Taybetmendiyên Teknîkî:

Hêza pulsasyonê: Hêza lûtkeya bilind di dema pulsan de rêjeyên bilind ên danîna pêkhateyan gengaz dike.

Tepeserkirina kevanê ya baştirkirî: Derxistina DC ya pulsasyonî dibe alîkar ku bandorên kevanê kêm bike, ku ev yek bi taybetî ji bo sputterkirina bi hêza bilind sûdmend e.

Karîgeriya sputterkirinê: Dakêşana DC ya pulsasyonî ji hêla enerjiyê ve teserûfkartir e, rêjeyên sputterkirina bilind bi xerckirina enerjiyê ya nisbeten kêm pêşkêş dike.

Bandorên li ser Mîkroavahîyê:

Mezinahiya dendikan: Fîlmên ku bi dakêşana DC ya pulsasyonî têne hilberandin bi gelemperî mezinahiya dendikan navîn in, ku dendika fîlmê û yekrengiyê hevseng dike.

Pêvedana fîlmê: Fîlm bi gelemperî, bi saya bombebarana îyonên bi enerjiya bilind, bi substratê ve girêdanek xurt nîşan didin.

Berxwedana li hember aşînê: Fîlmên DC yên pulsasyonkirî pir caran ji ber bombebarana îyonên bilind di dema danînê de berxwedana li hember aşînê ya bilindtir nîşan didin.

Berawirdkirina Modên Derxistinê li ser Mîkroavahîya Fîlmê