Nguyên lý kỹ thuật của thiết bị phủ cứng catốt rỗng là gì?

Phủ ion có nghĩa là các chất phản ứng hoặc vật liệu bay hơi được lắng đọng trên chất nền bằng cách bắn phá ion của các ion khí hoặc vật liệu bay hơi trong khi các vật liệu bay hơi được phân tách hoặc khí thải ra trong buồng chân không. Nguyên lý kỹ thuật của thiết bị phủ cứng catốt rỗng là phủ ion catốt rỗng, đây là công nghệ lắng đọng phóng điện catốt rỗng.

Về nguyên lý của lắng đọng phóng điện catốt rỗng: Kỹ thuật lắng đọng phóng điện catốt rỗng sử dụng phóng điện catốt nóng để tạo ra chùm tia plasma, catốt là ống tantalum rỗng. Catốt và anode phụ gần nhau, là hai cực đánh lửa phóng điện hồ quang.

Súng phun phóng điện catốt rỗng đánh lửa theo hai cách.
1. Sử dụng trường điện tần số cao được áp dụng cho ống catốt tantalum, để khí argon trong ống catốt tantalum ion hóa thành các ion argon và sau đó được kích hoạt bằng cách liên tục bắn phá ống catốt tantalum bởi các ion argon, cho đến khi nhiệt độ tăng lên đến nhiệt độ tối thiểu tiêu chuẩn phát xạ electron và tạo ra chùm electron plasma.

2, Trong ống tantali anode và catốt phụ giữa ứng dụng điện áp DC khoảng 300V, ống tantali catốt vẫn đi vào khí argon, trong áp suất khí argon 1Pa-10Pa, hiện tượng phóng điện phát sáng của ống tantali anode và catốt phụ, sự phát sinh của ion argon liên tục bắn phá ống tantali catốt, cho đến khi nhiệt độ 2300K-2400K, ống tantali catốt phát ra một số lượng lớn các electron, sẽ được thay đổi từ "phóng điện phát sáng" thành "phóng điện hồ quang", lần này điện áp thấp tới 30V-60V, sau đó miễn là cực âm và cực dương giữa nguồn điện, bạn có thể tạo ra chùm tia electron plasma.

Thiết bị phủ catốt
1、Cải thiện cấu trúc súng ban đầu, từ dòng điện tối đa ban đầu là 230A lên 280A.
2、Cải thiện cấu trúc hệ thống làm mát ban đầu, từ làm mát bằng máy nước đá 4℃ ban đầu sang làm mát bằng nước ở nhiệt độ phòng, tiết kiệm chi phí điện cho người dùng.
3, Cải thiện cấu trúc truyền động cơ học ban đầu, thay đổi thành cấu trúc truyền động chất lỏng từ, nhiệt độ cao sẽ không làm kẹt khung quay.
4, Diện tích phủ hiệu quả ￠ 650X1100, có thể chứa các nhà sản xuất khuôn mẫu và bánh răng quá khổ 750 X 1250X600 của máy doa cực dài, với thể tích rất lớn.

Máy phủ ion catốt rỗng chủ yếu được sử dụng trong quá trình mạ dụng cụ, khuôn mẫu, khuôn gương lớn, khuôn nhựa, dao phay và các sản phẩm khác.