Đối mặt với sự phát triển của màng có tác động rất quan trọng. Nếu độ nhám bề mặt của chất nền lớn và ngày càng kết hợp với các khuyết tật bề mặt, nó sẽ ảnh hưởng đến tốc độ bám dính và phát triển của màng. Do đó, trước khi bắt đầu phủ chân không, chất nền sẽ được xử lý sơ bộ, đóng vai trò là độ nhám bề mặt của chất nền trên bề mặt chất nền. Sau khi can thiệp siêu âm, bề mặt chất nền sẽ hình thành một vết xước nhỏ, làm tăng diện tích tiếp xúc của các hạt màng mỏng và bề mặt chất nền, có thể làm tăng đáng kể tính chính thức của rôto và sự kết hợp của đế màng.
Đối với hầu hết các vật liệu nền, khi độ nhám của nền giảm, độ bám dính của màng tăng, nghĩa là lực liên kết của đế màng trở nên mạnh hơn; cũng có một số vật liệu nền là trường hợp đặc biệt, chẳng hạn như độ bám dính của màng của đế gốm giảm, nghĩa là lực liên kết của đế màng trở nên yếu hơn.
Trong các yếu tố ảnh hưởng phù hợp với màng và màng, hệ số khối nhiệt đóng vai trò quyết định. Khi hệ số giãn nở nhiệt của màng lớn hơn hệ số giãn nở nhiệt của ma trận, mô men xoắn là âm và độ căng cực đại ở ranh giới tự do. Nó gần tâm của tâm để bị nén và màng có thể xuất hiện theo lớp. Lấy màng mỏng Skinus trầm tích làm ví dụ. Vì hệ số giãn nở nhiệt của kim cương nhỏ, khi quá trình lắng đọng pha khí kết thúc, nhiệt độ của chất nền giảm từ nhiệt độ trầm tích cao hơn xuống nhiệt độ phòng và độ co lại của kim cương giảm so với chất nền. Một ứng suất nhiệt lớn sẽ được tạo ra bên trong. Khi hệ số giãn nở nhiệt của màng nhỏ hơn hệ số sổ cái nhiệt của chất nền, mô men xoắn là dương và màng không dễ phân lớp.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 29-02-2024