Với sự phát triển ngày càng tăng của lớp phủ phun, đặc biệt là công nghệ phủ phun magnetron, hiện nay, đối với bất kỳ vật liệu nào cũng có thể chế tạo màng mục tiêu bắn phá ion, vì mục tiêu bị phun trong quá trình phủ lên một số loại chất nền, chất lượng của màng đo được có tác động quan trọng, do đó, các yêu cầu đối với vật liệu mục tiêu cũng nghiêm ngặt hơn. Trong quá trình lựa chọn vật liệu mục tiêu, ngoài việc sử dụng bản thân màng nên được lựa chọn, cũng nên xem xét các vấn đề sau:
Vật liệu mục tiêu phải có độ bền cơ học và độ ổn định hóa học tốt sau khi phủ màng;
Mục tiêu và chất nền phải được kết hợp chặt chẽ, nếu không thì phải lấy chất nền có sự kết hợp tốt của lớp màng, trước tiên là phun một lớp màng nền rồi mới chuẩn bị lớp màng cần thiết;
Khi phản ứng phun vào màng, vật liệu phải dễ phản ứng với khí để tạo thành màng hợp chất.
Với tiền đề đáp ứng các yêu cầu về hiệu suất của màng, sự khác biệt giữa hệ số giãn nở nhiệt của vật liệu mục tiêu và chất nền phải càng nhỏ càng tốt, để giảm thiểu ảnh hưởng của ứng suất nhiệt lên màng bị phun.
Theo yêu cầu sử dụng và hiệu suất của màng, vật liệu mục tiêu phải đáp ứng độ tinh khiết, hàm lượng tạp chất, tính đồng nhất của thành phần, độ chính xác gia công và các yêu cầu kỹ thuật khác.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 09-01-2024