Đặc điểm nguồn bốc hơi nhiệt điện trở, yêu cầu và lựa chọn vật liệu

Cấu trúc nguồn bốc hơi nhiệt điện trở đơn giản, dễ sử dụng, dễ chế tạo, là loại nguồn bốc hơi được sử dụng rộng rãi nhất. Người ta thường gọi là máy phát nhiệt hoặc thuyền bốc hơi.

Yêu cầu về vật liệu chịu nhiệt được sử dụng là: nhiệt độ cao, điện trở suất, áp suất hơi thấp ở nhiệt độ cao, không có phản ứng hóa học với vật liệu màng, không tạo ra khí thải và ô nhiễm. Vật liệu chịu nhiệt chủ yếu được lựa chọn từ các kim loại chịu lửa, chẳng hạn như W, Mo, Ta và các vật liệu khác hoặc lựa chọn gốm dẫn điện tổng hợp graphite hoặc boron nitride có độ tinh khiết cao, cường độ cao và các vật liệu khác. Đôi khi, cũng có thể chọn hợp kim Fe, Ni, Ni-Cr và Pt làm vật liệu nguồn bốc hơi.

Nhiều nguồn bốc hơi nhiệt điện trở của các vật liệu thông thường (như Ti, Mo, C, Ta, W, v.v.) có điểm nóng chảy và đường cong quan hệ áp suất hơi và nhiệt độ khác nhau. Trong số đó, vonfram trở nên giòn khi được nung nóng đến nhiệt độ bốc hơi do sản phẩm tiếp giáp nhiệt. Mặt khác, molypden có độ tinh khiết khác nhau, một số trở nên giòn và một số thì không. Vonfram phản ứng với hơi nước để tạo thành hợp chất oxy dễ bay hơi WO3.

Do đó, khi vonfram được nung nóng trong hơi nước còn lại, vật liệu được nung nóng liên tục bị cạn kiệt. Khi áp suất khí còn lại thấp, không có nhiều vật liệu bị mất, nhưng lại là sự ô nhiễm nghiêm trọng đối với màng.

Việc sử dụng nguồn sợi nên chú ý đến việc làm ướt dây nóng trên vật liệu màng. Ví dụ, nhiệt độ dây nóng tăng quá nhanh, vật liệu màng không dễ làm tan chảy ngay lập tức tất cả vật liệu màng và việc làm ướt dây nóng không đủ. Kết quả là, màng chưa tan chảy có thể rơi ra khỏi giỏ dây. Đồng thời, nhiệt độ tăng quá nhanh cũng sẽ khiến vật liệu màng trong khí thoát ra nhanh chóng, dẫn đến bong bóng hoặc bắn tung tóe, kết quả sẽ làm hình thành các giọt nhỏ dính vào chất nền. Do đó, nên sử dụng nguồn sợi có kiểm soát nhiệt độ.

Nhược điểm chính của giỏ dây, cuộn hình nón hoặc cuộn xoắn ốc là lượng vật liệu màng hỗ trợ quá nhỏ và nguồn này sẽ khiến nhiệt độ của dây nóng tăng lên khi lượng vật liệu màng giảm sau khi vật liệu màng bốc hơi, do đó làm tăng tốc độ bốc hơi. Đây cũng là một vấn đề cần lưu ý đối với quy trình làm màng đòi hỏi phải kiểm soát chặt chẽ tốc độ bốc hơi.

(2) Nguyên lý làm việc và cấu trúc hình dạng và đặc điểm sử dụng

Nguồn bốc hơi nhiệt điện trở, thực chất là nguồn bốc hơi nhiệt điện trở, nó sử dụng máy phát nhiệt hoặc thuyền bốc hơi được cấp điện trực tiếp, để dòng điện đi qua một lượng lớn nhiệt lượng Joule và đạt được nhiệt độ cao làm nóng chảy vật liệu màng kim loại, do đó sự bốc hơi của nó là một loại nguồn bốc hơi.

– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa