1. Công nghệ CVD nhiệt
Lớp phủ cứng chủ yếu là lớp phủ gốm kim loại (TiN, v.v.), được hình thành do phản ứng của kim loại trong lớp phủ và khí hóa phản ứng. Lúc đầu, công nghệ CVD nhiệt được sử dụng để cung cấp năng lượng hoạt hóa của phản ứng kết hợp bằng năng lượng nhiệt ở nhiệt độ cao 1000 ℃. Nhiệt độ này chỉ phù hợp để lắng đọng TiN và các lớp phủ cứng khác trên các dụng cụ cacbua xi măng. Cho đến nay, việc lắng đọng lớp phủ composite TiN-Al20 trên đầu dụng cụ cacbua xi măng vẫn là một công nghệ quan trọng.
2. Lớp phủ ion catốt rỗng và lớp phủ ion hồ quang dây nóng
Vào những năm 1980, lớp phủ ion catốt rỗng và lớp phủ ion hồ quang dây nóng đã được sử dụng để phủ các công cụ cắt được phủ. Cả hai công nghệ phủ ion này đều là công nghệ phủ ion phóng điện hồ quang, với tỷ lệ ion hóa kim loại lên tới 20% ~ 40%.
3. Lớp phủ ion hồ quang catốt
Sự xuất hiện của lớp phủ ion hồ quang catốt đã dẫn đến sự phát triển của công nghệ lắng đọng lớp phủ cứng trên khuôn. Tỷ lệ ion hóa của lớp phủ ion hồ quang catốt là 60% ~ 90%, cho phép một số lượng lớn các ion kim loại và các ion khí phản ứng tiếp cận bề mặt của phôi và vẫn duy trì hoạt động cao, dẫn đến lắng đọng phản ứng và hình thành các lớp phủ cứng như TiN. Hiện nay, công nghệ phủ ion hồ quang catốt chủ yếu được sử dụng để lắng đọng lớp phủ cứng trên khuôn.
Nguồn hồ quang catốt là nguồn bốc hơi trạng thái rắn không có vũng nóng chảy cố định và vị trí nguồn hồ quang có thể được đặt tùy ý, cải thiện tỷ lệ sử dụng không gian của phòng phủ và tăng khả năng tải của lò. Hình dạng của nguồn hồ quang catốt bao gồm nguồn hồ quang catốt tròn nhỏ, nguồn hồ quang dạng cột và nguồn hồ quang lớn phẳng hình chữ nhật. Các thành phần khác nhau của nguồn hồ quang nhỏ, nguồn hồ quang dạng cột và nguồn hồ quang lớn có thể được sắp xếp riêng biệt để lắng đọng màng nhiều lớp và màng nhiều lớp nano. Trong khi đó, do tốc độ ion hóa kim loại cao của lớp phủ ion hồ quang catốt, các ion kim loại có thể hấp thụ nhiều khí phản ứng hơn, dẫn đến phạm vi quy trình rộng và vận hành đơn giản để thu được lớp phủ cứng tuyệt vời. Tuy nhiên, có những giọt thô trong cấu trúc vi mô của lớp phủ thu được bằng lớp phủ ion hồ quang catốt. Trong những năm gần đây, nhiều công nghệ mới đã xuất hiện để tinh chỉnh cấu trúc của lớp màng, giúp cải thiện chất lượng của màng phủ ion hồ quang.
——Bài viết này được phát hành bởi Guangdong Zhenhua Technology, mộtnhà sản xuất máy phủ quang học.
Thời gian đăng: 28-04-2023