Зіткнення з ростом плівки має дуже важливий вплив. Якщо шорсткість поверхні підкладки велика та поєднується з дефектами поверхні, це впливатиме на швидкість прикріплення та росту плівки. Тому перед початком вакуумного покриття підкладку необхідно попередньо обробити, що впливає на шорсткість поверхні підкладки. Після ультразвукового впливу на поверхні підкладки утворюється невелика подряпина, що збільшує площу контакту частинок тонкої плівки з поверхнею підкладки, що може значно підвищити міцність ротора та поєднання мембранної основи.
Для більшості матеріалів підкладок, зі зменшенням шорсткості підкладки, адгезія плівки збільшується, тобто сила зв'язку мембрани з основою посилюється; є також деякі матеріали підкладок, які є особливими випадками, такі як приєднання плівки до керамічної основи. Зі зменшенням ступеня, тобто сила зв'язку мембрани з основою послаблюється.
Серед факторів, що впливають на плівку та плівку, вирішальну роль відіграє коефіцієнт теплового об'єму. Коли коефіцієнт теплового розширення плівки перевищує коефіцієнт теплового розширення матриці, крутний момент є негативним, а максимальний натяг знаходиться на вільній межі. Вона стискається близько до центру, і плівка може виглядати шаруватою. Візьмемо, наприклад, тонку осадову плівку Скінуса. Оскільки коефіцієнт теплового розширення алмазу малий, після завершення газофазного осадження температура підкладки знижується з вищої осадової температури до кімнатної, і стискання алмазу зменшується порівняно з підкладкою. Всередині виникає велике теплове напруження. Коли коефіцієнт теплового розширення плівки менший за коефіцієнт нагрівання підкладки, крутний момент є позитивним, і плівку нелегко нашаровувати.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 29 лютого 2024 р.