Зі зростаючим розвитком напилення, особливо технології магнетронного напилення, наразі для будь-якого матеріалу можна отримати плівку мішені шляхом іонного бомбардування. Оскільки мішень розпилюється в процесі нанесення покриття на певний тип підкладки, якість виміряної плівки має важливий вплив, тому вимоги до матеріалу мішені також стають суворішими. При виборі матеріалу мішені, окрім використання самої плівки, слід також враховувати такі питання:
Цільовий матеріал повинен мати добру механічну міцність та хімічну стабільність після плівки;
Мішень та підкладка повинні бути міцно поєднані, інакше слід взяти підкладку з гарним поєднанням мембранного шару, спочатку напилення базової плівки, а потім підготовка необхідного мембранного шару;
Оскільки реакція розпилення в мембрану, матеріал повинен легко реагувати з газом для утворення складної плівки.
За умови відповідності вимогам до продуктивності мембрани, різниця між коефіцієнтом теплового розширення цільового матеріалу та підкладки має бути якомога меншою, щоб мінімізувати вплив теплового напруження на напилену мембрану.
Відповідно до вимог до використання та експлуатаційних характеристик мембрани, цільовий матеріал повинен відповідати чистоті, вмісту домішок, однорідності компонентів, точності обробки та іншим технічним вимогам.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 09 січня 2024 р.