Конструкція джерела випаровування з опором проста, проста у використанні та виготовленні, є найпоширенішим видом джерела випаровування. Його зазвичай називають теплогенератором або випарним човном.
Вимоги до матеріалу резистивного нагріву: висока температура, питомий опір, низький тиск пари за високих температур, відсутність хімічної реакції з матеріалом мембрани, відсутність виділення газів та забруднення. Вибрані матеріали резистивного нагріву переважно виготовлені з тугоплавких металів, таких як W, Mo, Ta та інших матеріалів, або з високочистого, високоміцного графіту або нітриду бору, синтетичної провідної кераміки та інших матеріалів. Іноді як вихідний матеріал для випаровування також можна використовувати Fe, Ni, сплави Ni-Cr та Pt.
Різні джерела опору випаровування поширених матеріалів (таких як Ti, Mo, C, Ta, W тощо) мають різні точки плавлення, тиск пари та кривий залежності температури. Серед них вольфрам стає крихким при нагріванні до температури випаровування через продукт нагрівання. Молібден, з іншого боку, має різну чистоту, деякі стають крихкими, а інші ні. Вольфрам реагує з водяною парою, утворюючи летку кисневу сполуку WO3.
Тому, коли вольфрам нагрівають у залишковій водяній парі, нагрітий матеріал постійно виснажується. Коли тиск залишкового газу низький, втрати матеріалу невеликі, але це призводить до серйозного забруднення мембрани.
Під час використання ниткоподібних джерел слід звернути увагу на змочування гарячого дроту мембранним матеріалом. Наприклад, якщо температура гарячого дроту підвищується занадто швидко, мембранний матеріал не може одразу розплавити весь його матеріал, а змочування гарячого дроту недостатнє. В результаті нерозплавлена плівка може випасти з дротяного кошика. Водночас, занадто швидке підвищення температури також призведе до швидкого вивільнення газу з мембранного матеріалу, що призведе до утворення бульбашок або розбризкування, що призведе до утворення дрібних крапель, що прилипають до підкладки. Тому ниткоподібні джерела слід використовувати з контролем температури.
Основним недоліком дротяних кошиків, конічних котушок або спіральних котушок є те, що кількість допоміжного плівкового матеріалу занадто мала, і це джерело призведе до підвищення температури гарячого дроту, оскільки кількість плівкового матеріалу зменшується після його випаровування, що призведе до збільшення швидкості випаровування. Цю проблему також слід враховувати для процесу виготовлення плівки, який вимагає суворого контролю швидкості випаровування.
(2) Принцип роботи, форма конструкції та характеристики використання
Джерело випаровування опорного нагрівання, по суті, є резистивним нагрівачем. Він використовується безпосередньо у генераторі тепла або випарному човні, що піддається живленню, завдяки чому струм проходить через велику кількість джоулівого тепла та отримує високу температуру для розплавлення металевої плівки, в результаті чого її випаровування є своєрідним джерелом випаровування.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 23 лютого 2024 р.