Магнитронның бөтерелүе, нигездә, агызу плазмасы транспортын, максатчан эфирны, нечкә пленка чүплеген һәм башка процессларны үз эченә ала, магнит кыры процессындагы магнит кыры тәэсир итәчәк. Магнитрон чәчү системасында плюс ортогональ магнит кырында электроннар Лоренц көче роленә керәләр һәм спираль траектория хәрәкәтен ясыйлар, анодка әкренләп күчү өчен даими бәрелешләр кичерергә тиеш, бәрелеш аркасында электроннарның өлеше анодка барып җитә, энергия кечкенә, субстраттагы бомбардировщик җылылыгы да зур түгел. Моннан тыш, электрон максатлы магнит кыры чикләүләре аркасында, агызу полосасында булган регионның магнит эффектының бу өслегендә электрон концентрациянең бик зур диапазоны, һәм субстрат өслегеннән читтә урнашкан магнит эффектында, аеруча өслек янындагы магнит кырыннан ерак, электрон концентрациясе эш шартларының таралуы аркасында, түбән, чагыштырмача бертөрле тарату тармагы (түбән). Субстрат өслеген бомбардировать иткән электроннарның түбән тыгызлыгы, түбән температураның күтәрелүе аркасында субстратны бомбардировать итү, бу магнитронның субстрат температурасының күтәрелүенең төп механизмы. Моннан тыш, электр кыры гына булса, электроннар бик кыска дистанциядән соң анодка барып җитәләр, һәм эш газы белән бәрелешү ихтималы 63,8% тәшкил итә. Спираль хәрәкәт ясау өчен магнит кырын, электроннарны өстәгез, магнит кыры бәйләнә һәм электрон траекториясен киңәйтә, электроннар һәм эш газлары бәрелешү ихтималын шактый яхшырта, бу ионлаштыру, ионлаштыру барлыкка килүенә ярдәм итә, шулай ук электроннар бәрелеш процессына кушылалар, шулай ук зур тыгызлык, энергиянең тыгызлыгы, зурлыгы зурлыгы, зурлыгы, зурлыгы, зурлыгы. плазманың тыгызлыгы аномаль ялтыравыкта арта. Атомнан максаттан атылу тизлеге дә арта, һәм максатны позитив ионнар белән бомбардировать итү аркасында килеп чыккан максатчан бөтерелү нәтиҗәлерәк, бу магнитронның таралу тизлегенең сәбәбе. Моннан тыш, магнит кыры булуы түбән һава басымында эшләүче бөтерелү системасын ясарга мөмкин, һава басымы өчен түбән 1, катлам катламы өлкәсендә ионнар ясарга мөмкин, чагыштырмача зур кинетик энергия белән максатны бомбардировать итү, һәм максатлы атомнарны һәм нейтраль газ бәрелешен киметү өчен, максат атомнары җайланманың таралуы яки диварның таралуы. чүпләү.
Максатлы магнит кыры электрон траекториясен эффектив рәвештә чикли ала, бу үз чиратында плазма үзлекләренә һәм максаттагы ионнарның эфирына тәэсир итә.
Эз: максатлы магнит кырының бердәмлеген арттыру максатлы өслекнең бердәмлеген арттырырга мөмкин, шулай итеп максатлы материалны куллануны яхшырта; акыллы электромагнит кырын тарату шулай ук бөтерелү процессының тотрыклылыгын яхшырта ала. Шуңа күрә, магнитрон чәчү максаты өчен, магнит кырының зурлыгы һәм бүленеше бик мөһим.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 14-2023 декабрь