Direnç ısıtma buharlaştırma kaynağı yapısı basittir, kullanımı kolaydır, yapımı kolaydır, en yaygın kullanılan bir tür buharlaştırma kaynağıdır. İnsanlar genellikle ısı jeneratörü veya buharlaştırma teknesi olarak adlandırılır.
Kullanılan direnç malzemesinin ısıtma gereksinimleri şunlardır: yüksek sıcaklık, özdirenç, yüksek sıcaklıklarda düşük buhar basıncı, membran malzemesiyle kimyasal reaksiyona girmez, gaz çıkışı ve kirlilik üretmez. Seçilen direnç ısıtma malzemeleri çoğunlukla refrakter metallerden, örneğin W, Mo, Ta ve diğer malzemelerden veya yüksek saflıkta, yüksek mukavemetli grafit veya bor nitrür sentetik iletken seramikler ve diğer malzemelerden seçilir. Bazen, buharlaşma kaynağı malzemesi olarak Fe, Ni, Ni-Cr alaşımı ve Pt de seçilebilir.
Yaygın malzemelerin (Ti, Mo, C, Ta, W, vb. gibi) çeşitli direnç ısıtma buharlaşma kaynağı, erime noktası ve buhar basıncı ve sıcaklık ilişki eğrisi farklıdır. Bunlar arasında, tungsten, ısıtma bağlantı ürünü nedeniyle buharlaşma sıcaklığına ısıtıldığında kırılgan hale gelir. Öte yandan molibden, bazıları kırılgan hale gelirken diğerleri değil, saflıkta değişir. Tungsten, uçucu oksijen bileşiği WO3'ü oluşturmak için su buharıyla reaksiyona girer.
Bu nedenle, tungsten artık su buharında ısıtıldığında, ısıtılan malzeme sürekli olarak tükenir. Artık gaz basıncı düşük olduğunda, çok fazla malzeme kaybı olmaz, ancak membranın ciddi bir kirlenmesidir.
Filamentli kaynakların kullanımında, sıcak telin membran malzemesi üzerindeki ıslatılmasına dikkat edilmelidir. Örneğin, sıcak tel sıcaklığı çok hızlı yükselirse, membran malzemesinin tüm membran malzemesinin hemen erimesi kolay olmaz ve sıcak tel ıslatması yeterli olmaz. Sonuç olarak, erimemiş film tel sepetinden düşebilir. Aynı zamanda, sıcaklık artışı çok hızlı olursa, membran malzemesinin gazda hızla salınmasına neden olur, bu da kabarcıklara veya sıçramaya neden olur, sonuç olarak küçük damlacıkların alt tabakaya yapışmasına neden olur. Bu nedenle, filament kaynakları sıcaklık kontrolü ile kullanılmalıdır.
Tel sepetlerin, konik bobinlerin veya spiral bobinlerin başlıca dezavantajı, destekleyici film malzemesinin miktarının çok az olması ve bu kaynağın film malzemesi buharlaştıktan sonra film malzemesi miktarı azaldıkça sıcak telin sıcaklığının artmasına neden olması ve böylece buharlaşma oranının artmasına neden olmasıdır. Bu, buharlaşma oranının sıkı bir şekilde kontrol edilmesini gerektiren film yapım süreci için de dikkate alınması gereken bir sorundur.
(2) Çalışma prensibi ve yapı şekli ve kullanım özelliği
Direnç ısıtma buharlaşma kaynağı, aslında, direnç ısıtıcısıdır, doğrudan enerjilendirilen ısı jeneratörünün veya buharlaştırma teknesinin kullanılmasıdır, böylece akım çok sayıda Joule ısısı geçirir ve metal film malzemesini eritmek için yüksek sıcaklık elde eder, böylece buharlaşması bir tür buharlaşma kaynağıdır.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 23-Şub-2024