Resistance heating pagsingaw pinagmulan istraktura ay simple, madaling gamitin, madaling gawin, ay ang pinaka-tinatanggap na ginagamit na isang uri ng pagsingaw source. Ang mga tao ay karaniwang tinatawag na heat generator o evaporation boat.
Ang pag-init ng mga kinakailangan ng materyal na paglaban na ginamit ay: mataas na temperatura, resistivity, mababang presyon ng singaw sa mataas na temperatura, walang kemikal na reaksyon sa materyal ng lamad, hindi gumagawa ng outgassing at polusyon. Napiling mga materyales sa pag-init ng resistensya pangunahin mula sa mga refractory na metal, tulad ng W, Mo, Ta at iba pang mga materyales o pagpili ng high-purity, high-strength graphite o boron nitride synthetic conductive ceramics at iba pang materyales. Minsan, maaari ding piliin ang Fe, Ni, Ni-Cr alloy at Pt bilang evaporation source material.
Iba't-ibang paglaban heating pagsingaw pinagmumulan ng mga karaniwang materyales (tulad ng Ti, Mo, C, Ta, W, atbp.) ng punto ng pagkatunaw at singaw presyon at temperatura relasyon curve ay naiiba. Kabilang sa mga ito, ang tungsten ay nagiging malutong kapag pinainit sa temperatura ng pagsingaw dahil sa produkto ng heating junction. Ang molibdenum, sa kabilang banda, ay nag-iiba sa kadalisayan, na ang ilan ay nagiging malutong at ang iba ay hindi. Ang Tungsten ay tumutugon sa singaw ng tubig upang bumuo ng pabagu-bago ng oxygen compound na WO3.
Samakatuwid, kapag ang tungsten ay pinainit sa natitirang singaw ng tubig, ang pinainit na materyal ay patuloy na nauubos. Kapag ang natitirang presyon ng gas ay mababa, walang gaanong pagkawala ng materyal, ngunit ito ay isang malubhang kontaminasyon ng lamad.
Ang paggamit ng mga pinagmumulan ng filamentary ay dapat magbayad ng pansin sa basa ng mainit na kawad sa materyal ng lamad. Halimbawa, ang temperatura ng mainit na kawad ay masyadong mabilis na tumaas, ang materyal na lamad ay hindi madaling agad na matunaw ang lahat ng materyal na lamad at ang mainit na kawad na basa ay hindi sapat. Bilang resulta, ang hindi natunaw na pelikula ay maaaring mahulog sa wire basket. Kasabay nito, ang pagtaas ng temperatura ay masyadong mabilis ay magiging sanhi din ng materyal na lamad sa gas na inilabas nang mabilis, na nagreresulta sa mga bula o splashing, ang resulta ay gagawin ang pagbuo ng mga maliliit na droplet na dumikit sa substrate. Samakatuwid, ang mga pinagmumulan ng filament ay dapat gamitin nang may kontrol sa temperatura.
Ang pangunahing kawalan ng mga wire basket, conical coils o spiral coils ay ang dami ng sumusuporta sa film material ay masyadong maliit, at ang pinagmumulan na ito ay magiging sanhi ng pagtaas ng temperatura ng hot wire habang bumababa ang halaga ng film material pagkatapos ma-evaporate ang film material, kaya nagiging sanhi ng pagtaas ng evaporation rate. Ito rin ay isang problema na dapat pansinin para sa proseso ng paggawa ng pelikula na nangangailangan ng mahigpit na kontrol sa rate ng pagsingaw.
(2) Ang prinsipyo ng paggawa at istraktura ay hugis at katangian ng paggamit
Paglaban heating pagsingaw source, sa katunayan, ay paglaban heater ito ay ang paggamit ng init generator o pagsingaw bangka direktang energized, kaya na ang kasalukuyang sa pamamagitan ng isang malaking bilang ng mga Joule init at makakuha ng mataas na temperatura upang matunaw metal film materyal, kaya na ang kanyang pagsingaw ng isang uri ng pagsingaw source.
–Ang artikulong ito ay inilabas ngtagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng post: Peb-23-2024