3. อิทธิพลของอุณหภูมิพื้นผิว
อุณหภูมิของพื้นผิวเป็นหนึ่งในเงื่อนไขสำคัญสำหรับการเจริญเติบโตของเมมเบรน มันให้พลังงานเพิ่มเติมแก่โมเลกุลหรืออะตอมของเมมเบรน และส่งผลต่อโครงสร้างของเมมเบรน ค่าสัมประสิทธิ์การจับกลุ่ม ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัว และความหนาแน่นของการรวมกลุ่ม การสะท้อนในระดับมหภาคของดัชนีหักเห การกระเจิง ความเครียด การยึดเกาะ ความแข็ง และการไม่ละลายของฟิล์มจะแตกต่างกันอย่างมากเนื่องจากอุณหภูมิของพื้นผิวที่แตกต่างกัน
(1) พื้นผิวเย็น: โดยทั่วไปใช้สำหรับการระเหยของฟิล์มโลหะ
(2) ข้อดีของอุณหภูมิสูง:
① โมเลกุลก๊าซตกค้างที่ดูดซับอยู่บนพื้นผิวของวัสดุจะถูกกำจัดออกไป เพื่อเพิ่มแรงยึดเกาะระหว่างวัสดุกับโมเลกุลที่ถูกตกตะกอน
(2) ส่งเสริมการเปลี่ยนจากการดูดซับทางกายภาพเป็นการดูดซับทางเคมีของชั้นฟิล์ม เพิ่มปฏิสัมพันธ์ระหว่างโมเลกุล ทำให้ฟิล์มแน่นขึ้น เพิ่มการยึดเกาะและปรับปรุงความแข็งแรงเชิงกล
③ ลดความแตกต่างระหว่างอุณหภูมิการตกผลึกใหม่ของโมเลกุลไอระเหยและอุณหภูมิของพื้นผิว ปรับปรุงความหนาแน่นของชั้นฟิล์ม เพิ่มความแข็งของชั้นฟิล์มเพื่อขจัดความเครียดภายใน
(3) ข้อเสียของอุณหภูมิที่สูงเกินไป: โครงสร้างของชั้นฟิล์มเปลี่ยนแปลงหรือวัสดุฟิล์มสลายตัว
4. ผลกระทบจากการระดมยิงด้วยไอออน
การกระแทกหลังการชุบ: ช่วยเพิ่มความหนาแน่นของการรวมตัวของฟิล์ม เพิ่มปฏิกิริยาเคมี เพิ่มดัชนีหักเหของฟิล์มออกไซด์ ความแข็งแรงเชิงกล ความต้านทาน และการยึดเกาะ และเพิ่มขีดจำกัดความเสียหายจากแสง
5. อิทธิพลของวัสดุพื้นผิว
(1) ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวที่แตกต่างกันของวัสดุพื้นผิวจะนำไปสู่ความเครียดทางความร้อนที่แตกต่างกันของฟิล์ม
(2) ความสัมพันธ์ทางเคมีที่แตกต่างกันจะส่งผลต่อการยึดเกาะและความแข็งแรงของฟิล์ม
(3) ความหยาบและข้อบกพร่องของพื้นผิวเป็นแหล่งที่มาหลักของการกระเจิงของฟิล์มบาง
6. ผลกระทบของการทำความสะอาดพื้นผิว
คราบสกปรกและผงซักฟอกที่ตกค้างบนพื้นผิวของวัสดุจะนำไปสู่: (1) การยึดเกาะของฟิล์มกับวัสดุไม่ดี (2) การดูดซับและการกระเจิงเพิ่มขึ้น ความสามารถในการป้องกันเลเซอร์ไม่ดี (3) ประสิทธิภาพการส่งผ่านแสงไม่ดี
องค์ประกอบทางเคมี (ความบริสุทธิ์และชนิดของสิ่งเจือปน) สถานะทางกายภาพ (ผงหรือก้อน) และการเตรียมการก่อนการผลิต (การเผาผนึกในสุญญากาศหรือการขึ้นรูป) ของวัสดุฟิล์มจะมีผลต่อโครงสร้างและประสิทธิภาพของฟิล์ม
8. อิทธิพลของวิธีการระเหย
พลังงานจลน์เริ่มต้นที่ได้จากวิธีการระเหยที่แตกต่างกันในการทำให้โมเลกุลและอะตอมกลายเป็นไอมีความแตกต่างกันมาก ส่งผลให้โครงสร้างของฟิล์มมีความแตกต่างกันอย่างมาก ซึ่งแสดงออกมาในรูปของความแตกต่างในดัชนีหักเห การกระเจิง และการยึดเกาะ
9. อิทธิพลของมุมตกกระทบของไอน้ำ
มุมตกกระทบของไอ หมายถึงมุมระหว่างทิศทางการแผ่รังสีของโมเลกุลไอและแนวตั้งฉากของพื้นผิววัสดุเคลือบ ซึ่งส่งผลต่อลักษณะการเจริญเติบโตและความหนาแน่นของการรวมตัวของฟิล์ม และมีอิทธิพลอย่างมากต่อดัชนีหักเหและลักษณะการกระเจิงของฟิล์ม เพื่อให้ได้ฟิล์มคุณภาพสูง จำเป็นต้องควบคุมมุมการแผ่รังสีของโมเลกุลไอของวัสดุฟิล์ม ซึ่งโดยทั่วไปควรจำกัดไว้ที่ 30°
10. ผลกระทบของการอบ
การอบชุบความร้อนของฟิล์มในบรรยากาศปกติจะช่วยลดความเครียดและส่งเสริมการเคลื่อนย้ายความร้อนของโมเลกุลก๊าซในบรรยากาศและโมเลกุลของฟิล์ม ซึ่งสามารถทำให้โครงสร้างของฟิล์มเกิดการรวมตัวกันใหม่ ดังนั้นจึงมีผลอย่างมากต่อดัชนีหักเห ความเครียด และความแข็งของฟิล์ม
วันที่โพสต์: 29 มีนาคม 2024