3. Substrat temperaturunun təsiri
Substrat temperaturu membran böyüməsi üçün vacib şərtlərdən biridir. Membran atomlarına və ya molekullarına əlavə enerji təmin edir və əsasən membran quruluşuna, aqlütinasiya əmsalına, genişlənmə əmsalına və aqreqasiya sıxlığına təsir göstərir. Substrat temperaturunun fərqli olması səbəbindən filmin sınma indeksindəki makroskopik əks olunma, səpələnmə, gərginlik, yapışma, sərtlik və həllolmamazlıq çox fərqli olacaq.
(1) Soyuq substrat: ümumiyyətlə metal filmin buxarlanması üçün istifadə olunur.
(2) Yüksək temperaturun üstünlükləri:
① Substrat səthində adsorbsiya olunmuş qalıq qaz molekulları substrat və çökmüş molekullar arasındakı bağlayıcı qüvvəni artırmaq üçün çıxarılır;
(2) Fiziki adsorbsiyanın film təbəqəsinin xemosorbsiyasına çevrilməsini təşviq edin, molekullar arasındakı qarşılıqlı təsiri artırın, filmi sıxlaşdırın, yapışmanı artırın və mexaniki möhkəmliyi artırın;
③ Buxar molekulyar yenidən kristallaşma temperaturu ilə substrat temperaturu arasındakı fərqi azaldın, film təbəqəsinin sıxlığını artırın, daxili gərginliyi aradan qaldırmaq üçün film təbəqəsinin sərtliyini artırın.
(3) Çox yüksək temperaturun dezavantajı: film təbəqəsinin quruluşu dəyişir və ya film materialı parçalanır.
4. İon bombardmanının təsirləri
Kaplamadan sonra bombardman: filmin aqreqasiya sıxlığını artırır, kimyəvi reaksiyanı gücləndirir, oksid filminin refraktiv göstəricisini, mexaniki möhkəmliyini və müqavimətini və yapışmasını artırır. İşığın zədələnmə həddi artır.
5. Substrat materialının təsiri
(1) Substrat materialının fərqli genişlənmə əmsalı filmin fərqli istilik gərginliyinə səbəb olacaq;
(2) Müxtəlif kimyəvi yaxınlıq filmin yapışmasına və möhkəmliyinə təsir edəcək;
(3) Substratın kələ-kötürlüyü və qüsurları nazik təbəqə səpələnməsinin əsas mənbələridir.
6. Substratın təmizlənməsinin təsiri
Substratın səthində kir və yuyucu vasitənin qalığı aşağıdakılara səbəb olacaq: (1) filmin substrata zəif yapışması; 2 Səpələnmənin udulması artır, lazer əleyhinə qabiliyyəti zəifdir; 3 İşıq ötürmə qabiliyyətinin zəif olması.
Film materialının kimyəvi tərkibi (saflıq və çirk növləri), fiziki vəziyyəti (toz və ya blok) və ilkin emal (vakuum sinterləmə və ya döymə) filmin quruluşuna və performansına təsir edəcəkdir.
8. Buxarlanma metodunun təsiri
Molekulları və atomları buxarlandırmaq üçün müxtəlif buxarlanma üsulları ilə təmin edilən ilkin kinetik enerji çox fərqlidir və bu da filmin strukturunda böyük bir fərqə səbəb olur ki, bu da refraktiv indeks, səpələnmə və yapışma fərqi kimi özünü göstərir.
9. Buxarın düşmə bucağının təsiri
Buxar düşmə bucağı, buxar molekulyar şüalanma istiqaməti ilə örtülmüş substratın səth normalı arasındakı bucağı ifadə edir ki, bu da filmin böyümə xüsusiyyətlərinə və aqreqasiya sıxlığına təsir göstərir və filmin refraktiv indeksinə və səpələnmə xüsusiyyətlərinə böyük təsir göstərir. Yüksək keyfiyyətli filmlər əldə etmək üçün, ümumiyyətlə 30° ilə məhdudlaşdırılmalı olan film materialının buxar molekullarının insan tərəfindən yayılma bucağını idarə etmək lazımdır.
10. Çörəkçilik müalicəsinin təsirləri
Atmosferdə filmin istiliklə işlənməsi ətraf mühit qaz molekullarının və film molekullarının stressin sərbəst buraxılmasına və istilik miqrasiyasına kömək edir və filmin rekombinasiyasının strukturunu yarada bilər, buna görə də filmin refraktiv indeksinə, gərginliyinə və sərtliyinə böyük təsir göstərir.
Yazı vaxtı: 29 Mart 2024

