Нечкә пленкалы җайланмаларның сыйфатына тәэсир итүче процесс элементлары һәм эш механизмнары (2 нче өлеш)

3. Субстрат температурасының йогынтысы

Субстрат температурасы мембрана үсеше өчен мөһим шартларның берсе. Ул мембрана атомнарына яки молекулаларына өстәмә энергия бирә һәм, нигездә, мембрана структурасына, агглютинация коэффициентына, киңәю коэффициентына һәм агрегация тыгызлыгына тәэсир итә. Пленканың сыну күрсәткечендәге макроскопик чагылыш, чәчелү, көчәнеш, адгезия, катылык һәм эремәүчәнлек субстрат температурасы төрле булу сәбәпле бик нык аерылып торачак.

(1) Салкын субстрат: гадәттә металл пленканы парга әйләндерү өчен кулланыла.

(2) Югары температураның өстенлекләре:

① Субстрат өслегендә адсорбцияләнгән калдык газ молекулалары субстрат һәм утыртылган молекулалар арасындагы бәйләнеш көчен арттыру өчен бетерелә;

(2) Пленка катламының физик адсорбциясен хемосорбциягә әйләндерүне стимуллаштыру, молекулалар арасындагы үзара бәйләнешне көчәйтү, пленканы тыгыз итү, адгезияне арттыру һәм механик ныклыкны яхшырту;

③ Пар молекуляр рекристаллизация температурасы һәм субстрат температурасы арасындагы аерманы киметү, пленка катламының тыгызлыгын арттыру, эчке киеренкелекне бетерү өчен пленка катламының катылыгын арттыру.

(3) Артык югары температураның кимчелеге: пленка катламының структурасы үзгәрә яки пленка материалы таркала.

4. Ион бомбардированиесенең йогынтысы

Каплаганнан соң бомбага тоту: пленканың агрегация тыгызлыгын яхшырта, химик реакцияне көчәйтә, оксид пленкасының сыну күрсәткечен, механик ныклыкны һәм каршылыкны, шулай ук ​​адгезияне арттыра. Яктылыкның зыян чиге арта.
5. Субстрат материалының йогынтысы

(1) Субстрат материалының төрле киңәю коэффициенты пленканың төрле җылылык көчәнешенә китерәчәк;

(2) Төрле химик бәйләнеш пленканың ябышуына һәм ныклыгына тәэсир итәчәк;

(3) Нечкә пленка сибелүенең төп чыганаклары - нигезнең тупаслыгы һәм кимчелекләре.
6. Субстратны чистартуның йогынтысы

Субстрат өслегендә пычрак һәм югыч матдә калдыклары түбәндәгеләргә китерәчәк: (1) пленканың субстратка начар ябышуы; 2 Сиптерүчәнлекнең артуы, лазерга каршы сәләтнең начарлануы; 3 Яктылык үткәрүчәнлегенең начарлануы.

Пленка материалының химик составы (чисталык һәм катнашма төрләре), физик халәте (порошок яки блок) һәм алдан эшкәртү (вакуумда эретү яки куу) пленканың структурасына һәм эш сыйфатына тәэсир итәчәк.

8. Парга әйләндерү ысулының йогынтысы

Молекулаларны һәм атомнарны парга әйләндерү өчен төрле парга әйләндерү ысуллары белән бирелгән башлангыч кинетик энергия бик төрле, бу пленка структурасында зур аерма тудыра, бу сыну күрсәткече, чәчелү һәм адгезия аермасы буларак күренә.

9. Пар төшү почмагының йогынтысы

Пар төшү почмагы пар молекуляр нурланыш юнәлеше белән капланган субстратның өслек нормалы арасындагы почмакны аңлата, ул пленканың үсеш үзенчәлекләренә һәм агрегация тыгызлыгына тәэсир итә, һәм пленканың сыну күрсәткеченә һәм таралу үзенчәлекләренә зур йогынты ясый. Югары сыйфатлы пленкалар алу өчен, пленка материалының пар молекулаларының кеше тарафыннан чыгарылу почмагын контрольдә тотарга кирәк, ул гадәттә 30° белән чикләнергә тиеш.

10. Пешерү процессының йогынтысы

Атмосферада пленканы җылылык белән эшкәртү әйләнә-тирә мохиттәге газ молекулаларының һәм пленка молекулаларының көчәнешне бетерүенә һәм җылылык миграциясенә ярдәм итә, һәм пленканың рекомбинация структурасын үзгәртә ала, шуңа күрә ул пленканың сыну күрсәткеченә, көчәнешенә һәм катылыгына зур йогынты ясый.