3. Yüzey sıcaklığının etkisi
Yüzey sıcaklığı, membran büyümesi için önemli koşullardan biridir. Membran atomlarına veya moleküllerine ek enerji takviyesi sağlar ve esas olarak membran yapısını, yapışma katsayısını, genleşme katsayısını ve agregasyon yoğunluğunu etkiler. Farklı yüzey sıcaklıklarına bağlı olarak, filmdeki makroskopik yansıma, kırılma indisi, saçılma, gerilim, yapışma, sertlik ve çözünmezlik büyük ölçüde farklılık gösterecektir.
(1) Soğuk alt tabaka: genellikle metal filmin buharlaştırılması için kullanılır.
(2) Yüksek sıcaklığın avantajları:
① Yüzeyde adsorbe olan artık gaz molekülleri uzaklaştırılarak, yüzey ile biriken moleküller arasındaki bağlanma kuvveti artırılır;
(2) Film tabakasının fiziksel adsorpsiyonunun kimyasal adsorpsiyona dönüşümünü teşvik etmek, moleküller arasındaki etkileşimi artırmak, filmi sıkılaştırmak, yapışmayı artırmak ve mekanik dayanımı iyileştirmek;
③ Buhar moleküler yeniden kristalleşme sıcaklığı ile alt tabaka sıcaklığı arasındaki farkı azaltın, film tabakasının yoğunluğunu iyileştirin, film tabakasının sertliğini artırın ve iç gerilimi ortadan kaldırın.
(3) Çok yüksek sıcaklığın dezavantajı: film tabakasının yapısı değişir veya film malzemesi bozulur.
4. İyon bombardımanının etkileri
Kaplama sonrası bombardıman: filmin agregasyon yoğunluğunu artırır, kimyasal reaksiyonu hızlandırır, oksit filminin kırılma indeksini, mekanik mukavemetini, direncini ve yapışma özelliğini artırır. Işık hasar eşiği yükselir.
5. Alt tabaka malzemesinin etkisi
(1) Alt tabaka malzemesinin farklı genleşme katsayısı, filmin farklı termal gerilimine yol açacaktır;
(2) Farklı kimyasal afinite, filmin yapışmasını ve sağlamlığını etkileyecektir;
(3) Alt tabakanın pürüzlülüğü ve kusurları, ince film saçılmasının ana kaynaklarıdır.
6. Yüzey temizliğinin etkisi
Yüzeydeki kir ve deterjan kalıntıları şunlara yol açacaktır: (1) Filmin yüzeye yapışmasının zayıflaması; ② Saçılma emiliminin artması, lazere karşı direncin azalması; ③ Zayıf ışık iletim performansı.
Film malzemesinin kimyasal bileşimi (saflık ve safsızlık türleri), fiziksel hali (toz veya blok) ve ön işlemi (vakum sinterleme veya dövme) filmin yapısını ve performansını etkileyecektir.
8. Buharlaştırma yönteminin etkisi
Molekülleri ve atomları buharlaştırmak için farklı buharlaştırma yöntemlerinin sağladığı başlangıç kinetik enerjisi çok farklıdır; bu da filmin yapısında büyük bir farklılığa yol açar ve bu farklılık kırılma indisi, saçılma ve yapışma özelliklerinde kendini gösterir.
9. Buharın geliş açısının etkisi
Buhar geliş açısı, buhar moleküler radyasyon yönü ile kaplanmış alt tabakanın yüzey normali arasındaki açıyı ifade eder ve filmin büyüme özelliklerini ve agregasyon yoğunluğunu etkiler; ayrıca filmin kırılma indisi ve saçılma özellikleri üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. Yüksek kaliteli filmler elde etmek için, film malzemesinin buhar moleküllerinin insan tarafından yayılan açısının kontrol edilmesi gerekir ve bu açı genellikle 30° ile sınırlı tutulmalıdır.
10. Fırınlama işleminin etkileri
Filmin atmosferde ısıl işlem görmesi, gerilimin giderilmesine ve ortam gazı molekülleri ile film moleküllerinin termal göçüne elverişlidir ve filmin yapısının yeniden birleşmesini sağlayabilir; bu nedenle filmin kırılma indisi, gerilimi ve sertliği üzerinde büyük bir etkiye sahiptir.
Yayın tarihi: 29 Mart 2024