३. सब्सट्रेटच्या तापमानाचा प्रभाव
झिल्लीच्या वाढीसाठी आधारस्तराचे तापमान ही एक महत्त्वाची अट आहे. ते झिल्लीच्या अणू किंवा रेणूंना अतिरिक्त ऊर्जा पुरवते आणि प्रामुख्याने झिल्लीची रचना, एकत्रीकरण गुणांक, प्रसरण गुणांक आणि समुच्चय घनतेवर परिणाम करते. वेगवेगळ्या आधारस्तराच्या तापमानामुळे फिल्मच्या अपवर्तनांक, विकिरण, ताण, आसंजन, कठीणपणा आणि अविद्राव्यतेमधील स्थूल परावर्तन मोठ्या प्रमाणात भिन्न असेल.
(1) कोल्ड सबस्ट्रेट: सामान्यतः मेटल फिल्मच्या बाष्पीभवनासाठी वापरले जाते.
(2) उच्च तापमानाचे फायदे:
① सबस्ट्रेट आणि जमा झालेल्या रेणूंमधील बंधन शक्ती वाढवण्यासाठी, सबस्ट्रेटच्या पृष्ठभागावर शोषलेले अवशिष्ट वायूचे रेणू काढून टाकले जातात;
(2) फिल्म लेयरच्या भौतिक अधिशोषणाचे रासायनिक अधिशोषणात रूपांतर करण्यास प्रोत्साहन देणे, रेणूंमधील आंतरक्रिया वाढवणे, फिल्म घट्ट बनवणे, आसंजन वाढवणे आणि यांत्रिक शक्ती सुधारणे;
③ बाष्प आण्विक पुन:स्फटिकीकरण तापमान आणि सब्सट्रेट तापमान यांमधील फरक कमी करा, फिल्म लेयरची घनता सुधारा, फिल्म लेयरची कडकपणा वाढवा जेणेकरून अंतर्गत ताण नाहीसा होईल.
(3) खूप जास्त तापमानाचा तोटा: फिल्म लेयरची रचना बदलते किंवा फिल्म मटेरियलचे विघटन होते.
४. आयन बॉम्बार्डमेंटचे परिणाम
प्लेटिंगनंतर बॉम्बार्डमेंट केल्याने: फिल्मची एकत्रीकरण घनता सुधारते, रासायनिक अभिक्रिया वाढते, ऑक्साइड फिल्मचा अपवर्तनांक, यांत्रिक शक्ती, प्रतिकारशक्ती आणि आसंजन वाढते. प्रकाशामुळे होणाऱ्या नुकसानीची मर्यादा वाढते.
५. आधार सामग्रीचा प्रभाव
(1) आधार सामग्रीच्या वेगवेगळ्या प्रसरण गुणांकामुळे फिल्मवर वेगवेगळा औष्णिक ताण निर्माण होईल;
(2) वेगवेगळ्या रासायनिक आकर्षणामुळे फिल्मच्या चिकटण्यावर आणि घट्टपणावर परिणाम होईल;
(3) सब्सट्रेटचा खडबडीतपणा आणि दोष हे पातळ फिल्मच्या विखुरण्याचे मुख्य स्रोत आहेत.
६. सब्सट्रेट स्वच्छ करण्याचा परिणाम
सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर धूळ आणि डिटर्जंटचे अवशेष राहिल्यामुळे: (1) सब्सट्रेटला फिल्मचे चिकटणे खराब होते; 2) स्कॅटरिंग शोषण वाढते, अँटी-लेझर क्षमता खराब होते; 3) प्रकाश प्रसारणाची कामगिरी खराब होते.
फिल्म मटेरियलची रासायनिक रचना (शुद्धता आणि अशुद्धतेचे प्रकार), भौतिक अवस्था (पावडर किंवा ब्लॉक) आणि पूर्व-प्रक्रिया (व्हॅक्यूम सिंटरिंग किंवा फोर्जिंग) या गोष्टी फिल्मच्या संरचनेवर आणि कार्यक्षमतेवर परिणाम करतील.
८. बाष्पीभवन पद्धतीचा प्रभाव
रेणू आणि अणूंचे बाष्पीभवन करण्यासाठी वेगवेगळ्या बाष्पीभवन पद्धतींद्वारे प्रदान केलेली प्रारंभिक गतिज ऊर्जा खूप भिन्न असते, ज्यामुळे फिल्मच्या संरचनेत मोठा फरक निर्माण होतो, जो अपवर्तनांक, विकिरण आणि आसंजन यांमधील फरकाच्या रूपात दिसून येतो.
९. बाष्पाच्या आपतन कोनाचा प्रभाव
बाष्प आपतन कोन म्हणजे बाष्पाच्या रेणूंच्या उत्सर्जनाची दिशा आणि लेपित सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागाची लंबरेषा यांमधील कोन होय. हा कोन फिल्मच्या वाढीच्या वैशिष्ट्यांवर आणि एकत्रीकरण घनतेवर परिणाम करतो, तसेच फिल्मच्या अपवर्तनांक आणि विखुरण्याच्या वैशिष्ट्यांवरही त्याचा मोठा प्रभाव असतो. उच्च-गुणवत्तेच्या फिल्म्स मिळवण्यासाठी, फिल्मच्या पदार्थातील बाष्पाच्या रेणूंच्या उत्सर्जन कोनावर नियंत्रण ठेवणे आवश्यक असते, जो साधारणपणे ३०° पर्यंत मर्यादित असावा.
१०. बेकिंग उपचाराचे परिणाम
वातावरणात फिल्मवर केलेली उष्णता प्रक्रिया ही सभोवतालच्या वायूच्या रेणूंचा आणि फिल्मच्या रेणूंचा ताण कमी होण्यास व औष्णिक स्थलांतरास अनुकूल ठरते आणि फिल्मच्या संरचनेचे पुनर्संयोजन घडवून आणू शकते, त्यामुळे फिल्मच्या अपवर्तनांक, ताण आणि कठीणपणावर याचा मोठा प्रभाव पडतो.
पोस्ट करण्याची वेळ: २९ मार्च २०२४

