సన్నని పొర పరికరాల నాణ్యతను ప్రభావితం చేసే ప్రక్రియ అంశాలు మరియు చర్య విధానాలు (భాగం 2)

3. ఉపరితల ఉష్ణోగ్రత ప్రభావం

పొర పెరుగుదలకు ఉపరితల ఉష్ణోగ్రత ఒక ముఖ్యమైన పరిస్థితి. ఇది పొర అణువులకు లేదా పరమాణువులకు అదనపు శక్తిని అందిస్తుంది మరియు ప్రధానంగా పొర నిర్మాణం, సంసంజన గుణకం, వ్యాకోచ గుణకం మరియు సమూహ సాంద్రతను ప్రభావితం చేస్తుంది. వేర్వేరు ఉపరితల ఉష్ణోగ్రతల కారణంగా ఫిల్మ్ వక్రీభవన సూచిక, వికీర్ణం, ఒత్తిడి, సంసంజనం, కాఠిన్యం మరియు కరగనితనం వంటి స్థూల పరావర్తనంలో చాలా తేడాలు ఉంటాయి.

(1) కోల్డ్ సబ్‌స్ట్రేట్: సాధారణంగా మెటల్ ఫిల్మ్ యొక్క ఆవిరికరణకు ఉపయోగిస్తారు.

(2) అధిక ఉష్ణోగ్రత వల్ల కలిగే ప్రయోజనాలు:

① ఉపరితలానికి మరియు నిక్షేపించబడిన అణువులకు మధ్య బంధన శక్తిని పెంచడానికి, ఉపరితల ఉపరితలంపై శోషించబడిన అవశేష వాయు అణువులను తొలగిస్తారు;

(2) ఫిల్మ్ పొర యొక్క భౌతిక శోషణను రసాయన శోషణగా మార్చడాన్ని ప్రోత్సహించడం, అణువుల మధ్య పరస్పర చర్యను పెంచడం, ఫిల్మ్‌ను గట్టిగా చేయడం, సంశ్లేషణను పెంచడం మరియు యాంత్రిక బలాన్ని మెరుగుపరచడం;

③ ఆవిరి అణు పునఃస్ఫటికీకరణ ఉష్ణోగ్రత మరియు ఉపరితల ఉష్ణోగ్రత మధ్య వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించడం, ఫిల్మ్ పొర యొక్క సాంద్రతను మెరుగుపరచడం, అంతర్గత ఒత్తిడిని తొలగించడానికి ఫిల్మ్ పొర యొక్క కాఠిన్యాన్ని పెంచడం.

(3) అధిక ఉష్ణోగ్రత వల్ల కలిగే ప్రతికూలత: ఫిల్మ్ పొర యొక్క నిర్మాణం మారుతుంది లేదా ఫిల్మ్ పదార్థం విచ్ఛిన్నమవుతుంది.

4. అయాన్ బాంబార్డ్‌మెంట్ ప్రభావాలు

ప్లేటింగ్ తర్వాత బాంబార్డ్‌మెంట్: ఫిల్మ్ యొక్క అగ్రిగేషన్ సాంద్రతను మెరుగుపరుస్తుంది, రసాయన ప్రతిచర్యను పెంచుతుంది, ఆక్సైడ్ ఫిల్మ్ యొక్క వక్రీభవన సూచిక, యాంత్రిక బలం, నిరోధకత మరియు సంశ్లేషణను పెంచుతుంది. కాంతి నష్టం థ్రెషోల్డ్ పెరుగుతుంది.
5. ఉపరితల పదార్థం యొక్క ప్రభావం

(1) సబ్‌స్ట్రేట్ పదార్థం యొక్క విభిన్న విస్తరణ గుణకం ఫిల్మ్ యొక్క విభిన్న ఉష్ణ ఒత్తిడికి దారితీస్తుంది;

(2) విభిన్న రసాయన అనుబంధం ఫిల్మ్ యొక్క సంశ్లేషణ మరియు దృఢత్వాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది;

(3) సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క గరుకుదనం మరియు లోపాలు సన్నని పొర చెదరడానికి ప్రధాన కారణాలు.
6. ఉపరితల శుభ్రపరచడం యొక్క ప్రభావం

సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై మురికి మరియు డిటర్జెంట్ అవశేషాలు దీనికి దారితీస్తాయి: (1) సబ్‌స్ట్రేట్‌కు ఫిల్మ్ యొక్క పేలవమైన అతుకుదల; ② వికీర్ణ శోషణ పెరుగుతుంది, లేజర్ నిరోధక సామర్థ్యం పేలవంగా ఉంటుంది; ③ పేలవమైన కాంతి ప్రసార పనితీరు.

ఫిల్మ్ పదార్థం యొక్క రసాయన కూర్పు (స్వచ్ఛత మరియు మలినాల రకాలు), భౌతిక స్థితి (పౌడర్ లేదా బ్లాక్), మరియు ప్రీట్రీట్‌మెంట్ (వాక్యూమ్ సింటరింగ్ లేదా ఫోర్జింగ్) అనేవి ఫిల్మ్ యొక్క నిర్మాణం మరియు పనితీరును ప్రభావితం చేస్తాయి.

8. బాష్పీభవన పద్ధతి ప్రభావం

అణువులను మరియు పరమాణువులను బాష్పీభవనం చేయడానికి వివిధ బాష్పీభవన పద్ధతుల ద్వారా అందించబడిన ప్రారంభ గతిజ శక్తి చాలా భిన్నంగా ఉంటుంది, దీని ఫలితంగా ఫిల్మ్ నిర్మాణంలో పెద్ద వ్యత్యాసం ఏర్పడుతుంది, ఇది వక్రీభవన సూచిక, వికీర్ణం మరియు సంసంజనంలో వ్యత్యాసంగా వ్యక్తమవుతుంది.

9. ఆవిరి పతన కోణం యొక్క ప్రభావం

ఆవిరి పతన కోణం అనేది ఆవిరి అణువుల వికిరణ దిశకు మరియు పూత పూసిన సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క ఉపరితల లంబానికి మధ్య ఉండే కోణాన్ని సూచిస్తుంది. ఇది ఫిల్మ్ యొక్క పెరుగుదల లక్షణాలను మరియు సమూహ సాంద్రతను ప్రభావితం చేస్తుంది, అలాగే ఫిల్మ్ యొక్క వక్రీభవన సూచిక మరియు వికీర్ణ లక్షణాలపై గొప్ప ప్రభావాన్ని చూపుతుంది. అధిక-నాణ్యత గల ఫిల్మ్‌లను పొందడానికి, ఫిల్మ్ పదార్థం యొక్క ఆవిరి అణువుల మానవ ఉద్గార కోణాన్ని నియంత్రించడం అవసరం, దీనిని సాధారణంగా 30°కి పరిమితం చేయాలి.

10. బేకింగ్ చికిత్స యొక్క ప్రభావాలు

వాతావరణంలో ఫిల్మ్‌కు చేసే ఉష్ణ చికిత్స, పరిసర వాయు అణువులు మరియు ఫిల్మ్ అణువుల మధ్య ఒత్తిడి విడుదల మరియు ఉష్ణ ప్రసరణకు దోహదపడుతుంది, మరియు ఫిల్మ్ నిర్మాణ పునఃసంయోగానికి కారణమవుతుంది, కాబట్టి ఇది ఫిల్మ్ యొక్క వక్రీభవన సూచిక, ఒత్తిడి మరియు కాఠిన్యంపై గొప్ప ప్రభావాన్ని చూపుతుంది.