3. Влияние температуры подложки
Температура подложки является одним из важных условий для роста мембраны. Она обеспечивает дополнительную энергетическую поддержку атомам или молекулам мембраны и в основном влияет на структуру мембраны, коэффициент агглютинации, коэффициент расширения и плотность агрегации. Макроскопическое отражение в пленке, показатель преломления, рассеяние, напряжение, адгезия, твердость и нерастворимость будут значительно различаться в зависимости от температуры подложки.
(1) Холодная подложка: обычно используется для испарения металлической пленки.
(2) Преимущества высокой температуры:
① Остаточные молекулы газа, адсорбированные на поверхности подложки, удаляются для увеличения силы сцепления между подложкой и осажденными молекулами;
(2) Способствовать преобразованию физической адсорбции в хемосорбцию пленочного слоя, усиливать взаимодействие между молекулами, делать пленку плотной, повышать адгезию и улучшать механическую прочность;
③ Уменьшить разницу между температурой рекристаллизации молекул из паровой фазы и температурой подложки, повысить плотность пленочного слоя, увеличить твердость пленочного слоя и устранить внутренние напряжения.
(3) Недостаток слишком высокой температуры: изменяется структура пленочного слоя или происходит разложение пленочного материала.
4. Последствия ионной бомбардировки
Бомбардировка после нанесения покрытия: улучшает плотность агрегации пленки, усиливает химическую реакцию, повышает показатель преломления оксидной пленки, механическую прочность и сопротивление, а также адгезию. Повышается порог светоповреждения.
5. Влияние материала подложки
(1) Различный коэффициент расширения материала подложки приведет к различным термическим напряжениям пленки;
(2) Различное химическое сродство повлияет на адгезию и прочность пленки;
(3) Шероховатость и дефекты подложки являются основными источниками рассеяния в тонкой пленке.
6. Влияние очистки основания
Остатки грязи и моющих средств на поверхности подложки приведут к: (1) плохой адгезии пленки к подложке; ② увеличению рассеянного поглощения, ухудшению устойчивости к лазерному излучению; ③ низкой светопропускающей способности.
Химический состав (чистота и типы примесей), физическое состояние (порошок или блок) и предварительная обработка (вакуумное спекание или ковка) пленочного материала влияют на структуру и характеристики пленки.
8. Влияние метода испарения
Начальная кинетическая энергия, обеспечиваемая различными методами испарения для испарения молекул и атомов, сильно различается, что приводит к значительным различиям в структуре пленки, проявляющимся в разнице показателей преломления, рассеяния и адгезии.
9. Влияние угла падения пара
Угол падения пара — это угол между направлением излучения молекул пара и нормалью к поверхности покрытой подложки, который влияет на характеристики роста и плотность агрегации пленки, а также оказывает значительное влияние на показатель преломления и характеристики рассеяния пленки. Для получения высококачественных пленок необходимо контролировать угол излучения молекул пара в материале пленки, который, как правило, должен быть ограничен 30°.
10. Влияние обработки при выпечке
Термическая обработка пленки в атмосферных условиях способствует снятию напряжений и термической миграции молекул окружающего газа и молекул пленки, а также может вызывать рекомбинацию структуры пленки, что оказывает значительное влияние на показатель преломления, напряжение и твердость пленки.
Дата публикации: 29 марта 2024 г.