3. Ảnh hưởng của nhiệt độ chất nền
Nhiệt độ chất nền là một trong những điều kiện quan trọng cho sự phát triển màng. Nó cung cấp thêm năng lượng cho các nguyên tử hoặc phân tử màng, và chủ yếu ảnh hưởng đến cấu trúc màng, hệ số kết tụ, hệ số giãn nở và mật độ kết tụ. Sự phản xạ vĩ mô trong chỉ số khúc xạ của màng, sự tán xạ, ứng suất, độ bám dính, độ cứng và độ không tan sẽ khác nhau rất nhiều do nhiệt độ chất nền khác nhau.
(1) Chất nền lạnh: thường được sử dụng để bay hơi màng kim loại.
(2) Ưu điểm của nhiệt độ cao:
① Các phân tử khí còn sót lại bám trên bề mặt chất nền được loại bỏ để tăng lực liên kết giữa chất nền và các phân tử được lắng đọng;
(2) Thúc đẩy quá trình chuyển đổi từ hấp phụ vật lý sang hấp phụ hóa học của lớp màng, tăng cường tương tác giữa các phân tử, làm cho màng chặt, tăng độ bám dính và cải thiện độ bền cơ học;
③ Giảm sự chênh lệch giữa nhiệt độ tái kết tinh phân tử hơi và nhiệt độ chất nền, cải thiện mật độ lớp màng, tăng độ cứng của lớp màng để loại bỏ ứng suất bên trong.
(3) Nhược điểm của nhiệt độ quá cao: cấu trúc của lớp màng thay đổi hoặc vật liệu màng bị phân hủy.
4. Tác động của sự bắn phá ion
Xử lý bằng tia bắn phá sau khi mạ: cải thiện mật độ kết tụ của màng, tăng cường phản ứng hóa học, tăng chỉ số khúc xạ của màng oxit, độ bền cơ học, khả năng chống chịu và độ bám dính. Ngưỡng hư hại do ánh sáng cũng tăng lên.
5. Ảnh hưởng của vật liệu nền
(1) Hệ số giãn nở khác nhau của vật liệu nền sẽ dẫn đến ứng suất nhiệt khác nhau của màng;
(2) Độ ái lực hóa học khác nhau sẽ ảnh hưởng đến độ bám dính và độ cứng của màng;
(3) Độ nhám và khuyết tật của chất nền là nguồn chính gây tán xạ màng mỏng.
6. Tác động của việc làm sạch bề mặt
Cặn bẩn và chất tẩy rửa còn sót lại trên bề mặt chất nền sẽ dẫn đến: (1) độ bám dính của màng phim với chất nền kém; ② Sự hấp thụ tán xạ tăng lên, khả năng chống tia laser kém; ③ Hiệu suất truyền ánh sáng kém.
Thành phần hóa học (độ tinh khiết và loại tạp chất), trạng thái vật lý (dạng bột hoặc khối) và quá trình tiền xử lý (thiêu kết chân không hoặc rèn) của vật liệu màng sẽ ảnh hưởng đến cấu trúc và hiệu suất của màng.
8. Ảnh hưởng của phương pháp bay hơi
Năng lượng động ban đầu được cung cấp bởi các phương pháp bay hơi khác nhau để làm bay hơi các phân tử và nguyên tử là rất khác nhau, dẫn đến sự khác biệt lớn trong cấu trúc của màng, thể hiện ở sự khác biệt về chỉ số khúc xạ, tán xạ và độ bám dính.
9. Ảnh hưởng của góc tới của hơi nước
Góc tới của hơi đề cập đến góc giữa hướng bức xạ phân tử hơi và pháp tuyến bề mặt của chất nền được phủ, ảnh hưởng đến đặc tính tăng trưởng và mật độ kết tụ của màng, đồng thời có ảnh hưởng lớn đến chiết suất và đặc tính tán xạ của màng. Để thu được màng chất lượng cao, cần phải kiểm soát góc phát xạ của các phân tử hơi của vật liệu màng, nói chung nên giới hạn ở mức 30°.
10. Ảnh hưởng của quá trình xử lý bằng phương pháp nướng
Quá trình xử lý nhiệt màng phim trong môi trường khí quyển có lợi cho việc giải phóng ứng suất và sự dịch chuyển nhiệt của các phân tử khí xung quanh và các phân tử màng phim, đồng thời có thể làm tái cấu trúc màng phim, do đó có ảnh hưởng lớn đến chỉ số khúc xạ, ứng suất và độ cứng của màng phim.
Thời gian đăng bài: 29/03/2024