Sugeng rawuh ing Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
spanduk_tunggal

Unsur Proses lan Mekanisme Aksi sing Mangaruhi Kualitas Piranti Film Tipis (Bagian 2)

Sumber artikel: Vakum Zhenhua
Wacanen: 10
Dipublikasikake:24-03-29

3. Pengaruh suhu substrat

Suhu substrat minangka salah sawijining kahanan penting kanggo pertumbuhan membran. Iki nyedhiyakake suplemen energi tambahan kanggo atom utawa molekul membran, lan utamane mengaruhi struktur membran, koefisien aglutinasi, koefisien ekspansi lan kepadatan agregasi. Refleksi makroskopik ing indeks bias film, hamburan, stres, adhesi, kekerasan lan ketidaklarutan bakal beda banget amarga suhu substrat sing beda.

(1) Substrat adhem: umume digunakake kanggo nguap film logam.

(2) Kauntungan saka suhu dhuwur:

① Molekul gas sisa sing diserap ing permukaan substrat dicopot kanggo nambah gaya pengikatan antarane substrat lan molekul sing diendapkan;

(2) Ningkatake transformasi adsorpsi fisik dadi kemisorpsi lapisan film, ningkatake interaksi antarane molekul, nggawe film kenceng, nambah adhesi lan ningkatake kekuatan mekanik;

③ Ngurangi bedane antarane suhu rekristalisasi molekul uap lan suhu substrat, ningkatake kapadhetan lapisan film, nambah kekerasan lapisan film kanggo ngilangi stres internal.

(3) Kekurangane suhu sing dhuwur banget: struktur lapisan film owah utawa bahan film bosok.

大图

4. Efek saka pemboman ion

Pengeboman sawise pelapisan: ningkatake kapadhetan agregasi film, ningkatake reaksi kimia, nambah indeks bias film oksida, kekuatan mekanik lan resistensi lan adhesi. Ambang kerusakan cahya mundhak.
5. Pengaruhe bahan substrat

(1) Koefisien ekspansi bahan substrat sing beda bakal nyebabake tekanan termal film sing beda;

(2) Afinitas kimia sing beda bakal mengaruhi adhesi lan kekencengan film;

(3) Kasar lan cacat substrat minangka sumber utama panyebaran film tipis.
6. Dampak saka reresik substrat

Sisa rereget lan deterjen ing lumahing substrat bakal nyebabake: (1) adhesi film sing kurang apik menyang substrat; ② Penyerapan hamburan mundhak, kemampuan anti-laser kurang apik; ③ Performa transmisi cahya sing kurang apik.

Komposisi kimia (jinis kemurnian lan pengotor), kahanan fisik (bubuk utawa blok), lan perawatan awal (sintering vakum utawa tempa) saka bahan film bakal mengaruhi struktur lan kinerja film kasebut.

8. Pengaruh metode penguapan

Energi kinetik awal sing diwenehake dening macem-macem metode penguapan kanggo nguapke molekul lan atom beda banget, sing nyebabake bedane gedhe ing struktur film, sing diwujudake minangka bedane indeks bias, hamburan, lan adhesi.

9. Pengaruh Sudut datang uap

Sudut kedadeyan uap nuduhake Sudut antarane arah radiasi molekul uap lan normal permukaan substrat sing dilapisi, sing mengaruhi karakteristik pertumbuhan lan kepadatan agregasi film, lan nduweni pengaruh gedhe marang indeks bias lan karakteristik hamburan film. Kanggo entuk film sing berkualitas tinggi, perlu kanggo ngontrol Sudut emisi manungsa saka molekul uap bahan film, sing umume kudu diwatesi nganti 30°.

10. Efek saka perawatan manggang

Perlakuan panas film ing atmosfer nyumbang kanggo pelepasan stres lan migrasi termal molekul gas sekitar lan molekul film, lan bisa nggawe struktur rekombinasi film, saengga nduweni pengaruh gedhe marang indeks bias, stres lan kekerasan film.


Wektu kiriman: 29 Maret 2024