3. تأثير درجة حرارة الركيزة
تُعدّ درجة حرارة الركيزة من أهمّ العوامل المؤثرة في نموّ الأغشية. فهي تُزوّد ذرات أو جزيئات الغشاء بطاقة إضافية، وتؤثر بشكل رئيسي على بنية الغشاء، ومعامل التكتل، ومعامل التمدد، وكثافة التجمّع. ويختلف الانعكاس الكلي في معامل انكسار الغشاء، والتشتت، والإجهاد، والالتصاق، والصلابة، وعدم الذوبان اختلافًا كبيرًا تبعًا لاختلاف درجة حرارة الركيزة.
(1) الركيزة الباردة: تستخدم بشكل عام لتبخير طبقة المعدن.
(2) مزايا درجات الحرارة المرتفعة:
① تتم إزالة جزيئات الغاز المتبقية الممتصة على سطح الركيزة لزيادة قوة الربط بين الركيزة والجزيئات المترسبة؛
(2) تعزيز تحويل الامتزاز الفيزيائي إلى امتزاز كيميائي لطبقة الفيلم، وتعزيز التفاعل بين الجزيئات، وجعل الفيلم متماسكًا، وزيادة الالتصاق وتحسين القوة الميكانيكية؛
③ تقليل الفرق بين درجة حرارة إعادة التبلور الجزيئي للبخار ودرجة حرارة الركيزة، وتحسين كثافة طبقة الفيلم، وزيادة صلابة طبقة الفيلم للقضاء على الإجهاد الداخلي.
(3) عيب ارتفاع درجة الحرارة بشكل مفرط: يتغير هيكل طبقة الفيلم أو تتحلل مادة الفيلم.
4. آثار قصف الأيونات
يؤدي القصف الضوئي بعد الطلاء إلى تحسين كثافة تكتل الطبقة، وتعزيز التفاعل الكيميائي، وزيادة معامل انكسار طبقة الأكسيد، والقوة الميكانيكية، والمقاومة، والالتصاق. كما يرتفع عتبة التلف الضوئي.
5. تأثير مادة الركيزة
(1) سيؤدي اختلاف معامل التمدد لمادة الركيزة إلى اختلاف الإجهاد الحراري للفيلم؛
(2) ستؤثر الألفة الكيميائية المختلفة على التصاق الفيلم وصلابته؛
(3) خشونة وعيوب الركيزة هي المصادر الرئيسية لتشتت الأغشية الرقيقة.
6. تأثير تنظيف الركيزة
إن بقايا الأوساخ والمنظفات على سطح الركيزة ستؤدي إلى: (1) ضعف التصاق الفيلم بالركيزة؛ (2) زيادة امتصاص التشتت، وضعف القدرة على مقاومة الليزر؛ (3) ضعف أداء نقل الضوء.
سيؤثر التركيب الكيميائي (النقاء وأنواع الشوائب) والحالة الفيزيائية (مسحوق أو كتلة) والمعالجة المسبقة (التلبيد الفراغي أو التشكيل) لمادة الفيلم على بنية الفيلم وأدائه.
8. تأثير طريقة التبخير
تختلف الطاقة الحركية الأولية التي توفرها طرق التبخير المختلفة لتبخير الجزيئات والذرات اختلافًا كبيرًا، مما يؤدي إلى اختلاف كبير في بنية الفيلم، والذي يتجلى في الاختلاف في معامل الانكسار والتشتت والالتصاق.
9. تأثير زاوية سقوط البخار
تشير زاوية سقوط البخار إلى الزاوية بين اتجاه إشعاع جزيئات البخار والعمود المقام على سطح الركيزة المطلية، وهي تؤثر على خصائص نمو الفيلم وكثافة تجمعه، ولها تأثير كبير على معامل انكساره وخصائص تشتته. وللحصول على أفلام عالية الجودة، من الضروري التحكم في زاوية انبعاث جزيئات بخار مادة الفيلم، والتي يجب ألا تتجاوز عادةً 30 درجة.
10. آثار المعالجة بالخبز
إن المعالجة الحرارية للفيلم في الغلاف الجوي تساعد على تخفيف الإجهاد والهجرة الحرارية لجزيئات الغاز المحيط وجزيئات الفيلم، ويمكن أن تؤدي إلى إعادة تركيب بنية الفيلم، لذلك لها تأثير كبير على معامل الانكسار والإجهاد وصلابة الفيلم.
تاريخ النشر: 29 مارس 2024