บทนำโดยสังเขปและข้อดีของอุปกรณ์เคลือบผิวแบบสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอน

หลักการสปัตเตอริงแบบแมกเนตรอน: อิเล็กตรอนชนกับอะตอมของอาร์กอนในกระบวนการเร่งความเร็วไปยังพื้นผิวภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้า ทำให้เกิดการแตกตัวเป็นไอออนของอาร์กอนและอิเล็กตรอนจำนวนมาก และอิเล็กตรอนจะเคลื่อนที่ไปยังพื้นผิว ไอออนของอาร์กอนจะเร่งความเร็วเพื่อพุ่งชนวัสดุเป้าหมายภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้า ทำให้เกิดการกระเด็นของอะตอมเป้าหมายจำนวนมาก ซึ่งจะตกตะกอนบนพื้นผิวในรูปของอะตอมเป้าหมายที่เป็นกลาง (หรือโมเลกุล) เพื่อสร้างฟิล์ม เมื่ออิเล็กตรอนทุติยภูมิเร่งความเร็วเพื่อเคลื่อนที่ไปยังพื้นผิว ภายใต้อิทธิพลของแรงลอเรนซ์ของสนามแม่เหล็ก มันจะเคลื่อนที่ในรูปแบบเกลียวและไซคลอยด์ผสมกัน ทำให้เกิดการเคลื่อนที่แบบวงกลมหลายรอบบนพื้นผิวเป้าหมาย อิเล็กตรอนไม่เพียงแต่มีเส้นทางการเคลื่อนที่ที่ยาวเท่านั้น แต่ยังอยู่ในบริเวณพลาสมาใกล้กับพื้นผิวเป้าหมายด้วยลำแสงตามทฤษฎีสนามแม่เหล็กไฟฟ้า ซึ่งอาร์กอนจำนวนมากแตกตัวเป็นไอออนเพื่อพุ่งชนเป้าหมาย ดังนั้นอัตราการตกตะกอนของอุปกรณ์เคลือบแบบสปัตเตอริงแบบแมกเนตรอนจึงสูง

ดังนั้นอุปกรณ์เคลือบผิวด้วยการสปัตเตอร์แบบแมกเนตรอนได้มีการพัฒนาเทคโนโลยีที่ผสานรวมการสปัตเตอร์ด้วยแมกเนตรอนและการเคลือบด้วยไอออนเข้าด้วยกัน ซึ่งเป็นวิธีการแก้ปัญหาในการปรับปรุงความสม่ำเสมอของสีและความเสถียรของอัตราการตกตะกอนและองค์ประกอบของสารประกอบ สามารถเลือกใช้ระบบทำความร้อน ระบบไบแอส ระบบไอออนไนเซชัน และอุปกรณ์อื่นๆ ได้ตามความต้องการของผลิตภัณฑ์ที่แตกต่างกัน สามารถปรับการกระจายตัวของเป้าหมายได้อย่างยืดหยุ่น และมีความสม่ำเสมอของฟิล์มที่ดีเยี่ยม สามารถเตรียมฟิล์มคอมโพสิตที่มีประสิทธิภาพดีกว่าได้ด้วยวัสดุเป้าหมายที่แตกต่างกัน การเคลือบที่เตรียมโดยอุปกรณ์นี้มีข้อดีคือมีแรงยึดเกาะที่แข็งแรงและมีความหนาแน่นสูง ซึ่งสามารถปรับปรุงความต้านทานต่อการพ่นเกลือ ความต้านทานต่อการสึกหรอ และความแข็งของพื้นผิวของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และตรงตามข้อกำหนดของการเตรียมการเคลือบประสิทธิภาพสูง
เครื่องจักรนี้รองรับวัสดุได้หลากหลาย สามารถใช้กับชิ้นส่วนสแตนเลสชุบน้ำ/พลาสติก แก้ว เซรามิก และวัสดุอื่นๆ โดยส่วนใหญ่ใช้สำหรับชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ นาฬิกาหรู เครื่องประดับชั้นสูง และชิ้นส่วนเครื่องหนังแบรนด์เนม รวมถึงผลิตภัณฑ์อื่นๆ ที่หลากหลาย