Принцип магнетронного распыления: электроны сталкиваются с атомами аргона в процессе ускорения к подложке под действием электрического поля, ионизируя большое количество ионов аргона и электронов, и электроны устремляются к подложке. Ионы аргона ускоряются и бомбардируют материал мишени под действием электрического поля, выбрасывая большое количество атомов мишени, которые осаждаются на подложке в виде нейтральных атомов (или молекул) мишени, образуя пленку. Когда вторичные электроны ускоряются и устремляются к подложке под действием силы Лоренца магнитного поля, они принимают спиралевидно-циклоидную форму, совершая ряд круговых движений по поверхности мишени. Электрон не только имеет длинный путь движения, но и остается в плазменной области вблизи поверхности мишени под действием пучка электромагнитного поля, в котором ионизируется большое количество Ar, бомбардируя мишень, поэтому скорость осаждения при магнетронном распылении высока.
Таким образом, аоборудование для магнетронного распыления покрытийРазработана технология, объединяющая магнетронное распыление и ионное нанесение покрытий, которая обеспечивает решение для улучшения однородности цвета и стабильности скорости осаждения и состава композита. В зависимости от требований к изделию можно выбрать систему нагрева, систему смещения, систему ионизации и другие устройства. Распределение мишени можно гибко регулировать, обеспечивая превосходную однородность пленки. Используя различные материалы мишени, можно получить композитную пленку с лучшими характеристиками. Покрытие, полученное с помощью этого оборудования, обладает преимуществами высокой прочности композита и плотности, что позволяет эффективно повысить стойкость к солевому туману, износостойкость и твердость поверхности изделия, а также удовлетворить требованиям к высокоэффективному нанесению покрытий.
Оборудование обладает широким спектром применимых материалов, включая нержавеющую сталь с гальваническим покрытием, пластиковые детали, стекло, керамику и другие материалы. В основном оно используется для изготовления фурнитуры электронных изделий, высококачественных часов, ювелирных украшений, кожаных изделий известных брендов и других изделий из различных материалов.
Дата публикации: 07 февраля 2023 г.