Molao-motheo oa ho qhalana ha Magnetron: lielektrone li thulana le liathomo tsa argon nakong ea ho potlakisa ho ea substrate tlas'a ts'ebetso ea tšimo ea motlakase, li etsa hore palo e kholo ea li-ion le lielektrone tsa argon li ione, 'me lielektrone li fofa ho ea substrate. Ion ea argon e potlakisa ho hlasela thepa e reretsoeng tlas'a ts'ebetso ea tšimo ea motlakase, e hasanya palo e kholo ea liathomo tse reretsoeng, tse behiloeng substrate e le liathomo tse sa nke lehlakore (kapa limolek'hule) ho etsa filimi. Ha elektrone ea bobeli e potlakisa ho fofa ho ea substrate, tlas'a tšusumetso ea matla a Lorentz a matla a makenete, e hlahisa foromo ea spiral le cycloid composite ho etsa letoto la metsamao e chitja holim'a sebaka se reretsoeng. Elektrone ha e na tsela e telele feela ea motsamao, e ntse e le sebakeng sa plasma haufi le sebaka se reretsoeng ke moriti oa khopolo-taba ea tšimo ea electromagnetic, moo palo e kholo ea Ar e ionized ho hlasela sepheo, kahoo sekhahla sa ho beha sesebelisoa sa ho roala sa magnetron se holimo.
Kahoo,lisebelisoa tsa ho roala tsa magnetron sputteringe se e ntlafalitsoe, e kopanyang theknoloji ea ho sputtering ea magnetron le ho koahela ion, 'me e fana ka tharollo ea ho ntlafatsa botsitso ba' mala le https://www.zhenhuavac.com/wp-admin/post.php?post=5107&action=edit&message=1#botsitso ba sekhahla sa ho beha le motsoako. Ho ea ka litlhoko tse fapaneng tsa sehlahisoa, sistimi ea ho futhumatsa, sistimi ea leeme, sistimi ea ionization le lisebelisoa tse ling li ka khethoa. Kabo ea sepheo e ka fetoloa ka mokhoa o tenyetsehang, 'me ho tšoana ha filimi ho phahame. Ka lisebelisoa tse fapaneng tsa sepheo, filimi e kopaneng e nang le ts'ebetso e betere e ka lokisoa. Seaparo se lokisitsoeng ke lisebelisoa se na le melemo ea matla a kopaneng le ho kopana, e ka ntlafatsang khanyetso ea letsoai, khanyetso ea ho tsofala le ho thatafala ha bokaholimo ba sehlahisoa, le ho fihlela litlhoko tsa ho lokisa seaparo se sebetsang hantle.
Lisebelisoa li ruile ka thepa e sebetsang, e ka sebelisoang bakeng sa lisebelisoa tsa tšepe e sa ruseng tse koahetsoeng ka metsi/likarolo tsa polasetiki, khalase, letsopa le lisebelisoa tse ling. E sebelisoa haholo bakeng sa lisebelisoa tsa lihlahisoa tsa elektroniki, lioache le lioache tsa maemo a holimo, mabenyane a maemo a holimo le lisebelisoa tsa thepa ea letlalo la mofuta o itseng le lihlahisoa tse ling tse ruileng.
Nako ea poso: Hlakola-07-2023