Lub hauv paus ntsiab lus ntawm Magnetron sputtering: cov electrons sib tsoo nrog cov argon atoms thaum lub sijhawm nrawm mus rau lub substrate nyob rau hauv qhov kev ua ntawm lub zog hluav taws xob, ionizing ntau tus argon ions thiab electrons, thiab cov electrons ya mus rau lub substrate. Lub argon ion nrawm los bombard cov khoom siv hauv qab qhov kev ua ntawm lub zog hluav taws xob, splashing tawm ntau tus atoms lub hom phiaj, uas tau tso rau ntawm lub substrate ua cov atoms lub hom phiaj nruab nrab (lossis molecules) los tsim ib zaj duab xis. Thaum lub electron theem nrab nrawm los ya mus rau lub substrate, nyob rau hauv qhov kev cuam tshuam ntawm Lorentz lub zog ntawm lub zog magnetic, nws nthuav tawm ib daim ntawv sib xyaw ua ke thiab cycloid los ua ib qho kev txav mus los ntawm lub hom phiaj nto. Lub electron tsis tsuas yog muaj txoj kev ntev ntawm kev txav mus los, Nws tseem nyob hauv thaj chaw plasma ze ntawm lub hom phiaj nto los ntawm lub zog electromagnetic teb, uas muaj ntau ntawm Ar yog ionized los bombard lub hom phiaj, yog li tus nqi tso tawm ntawm lub magnetron sputtering txheej ntaus ntawv siab.
Yog li ntawd, ibcov khoom siv magnetron sputtering txheejtau tsim kho, uas koom ua ke nrog magnetron sputtering thiab ion txheej thev naus laus zis, thiab muab kev daws teeb meem rau kev txhim kho cov xim sib xws thiab https://www.zhenhuavac.com/wp-admin/post.php?post=5107&action=edit&message=1#qhov ruaj khov ntawm qhov tso tawm thiab cov khoom sib xyaw. Raws li cov khoom xav tau sib txawv, lub kaw lus cua sov, lub kaw lus bias, lub kaw lus ionization thiab lwm yam khoom siv tuaj yeem xaiv tau. Lub hom phiaj faib tuaj yeem hloov kho tau yooj yim, thiab zaj duab xis sib xws zoo dua. Nrog cov ntaub ntawv hom phiaj sib txawv, zaj duab xis sib xyaw nrog kev ua tau zoo dua tuaj yeem npaj tau. Lub txheej txheej uas npaj los ntawm cov khoom siv muaj qhov zoo ntawm lub zog sib xyaw ua ke thiab kev sib xyaw ua ke, uas tuaj yeem txhim kho qhov tsis kam ntsev tsuag, hnav tsis kam thiab qhov nyuaj ntawm cov khoom, thiab ua tau raws li qhov xav tau ntawm kev npaj txheej txheej siab.
Cov khoom siv no muaj ntau yam khoom siv, uas siv tau rau cov khoom siv hlau tsis xeb / yas, iav, ceramics thiab lwm yam khoom siv. Nws feem ntau yog siv rau cov khoom siv hluav taws xob, cov moos thiab cov moos zoo nkauj, cov hniav nyiaj hniav kub zoo nkauj thiab cov khoom siv tawv thiab lwm yam khoom nplua nuj.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Ob Hlis-07-2023