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Breve introduzione e vantaggi delle apparecchiature di rivestimento a sputtering magnetron

Fonte dell'articolo: Zhenhua Vacuum
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Pubblicato: 23-02-07

Principio della deposizione per sputtering magnetron: gli elettroni, accelerando verso il substrato sotto l'azione di un campo elettrico, collidono con gli atomi di argon, ionizzando un gran numero di ioni di argon ed elettroni, che vengono poi proiettati sul substrato. Gli ioni di argon, accelerati dal campo elettrico, bombardano il materiale bersaglio, espellendo un gran numero di atomi che si depositano sul substrato come atomi (o molecole) neutri, formando un film. Quando gli elettroni secondari accelerano verso il substrato, sotto l'influenza della forza di Lorentz del campo magnetico, assumono una forma a spirale e cicloidale, compiendo una serie di movimenti circolari sulla superficie del bersaglio. L'elettrone non solo percorre un lungo tragitto, ma, grazie al campo elettromagnetico, rimane anche nella zona di plasma vicino alla superficie del bersaglio, dove una grande quantità di argon viene ionizzata e bombarda il bersaglio, garantendo così un'elevata velocità di deposizione del rivestimento mediante sputtering magnetron.
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Pertanto, unapparecchiature per rivestimento a sputtering magnetronÈ stato sviluppato un sistema che integra la tecnologia di sputtering magnetron e di rivestimento ionico, fornendo una soluzione per migliorare la consistenza del colore e la stabilità del tasso di deposizione e della composizione del composto. In base alle diverse esigenze del prodotto, è possibile selezionare il sistema di riscaldamento, il sistema di polarizzazione, il sistema di ionizzazione e altri dispositivi. La distribuzione del target può essere regolata in modo flessibile e l'uniformità del film è superiore. Con diversi materiali target, è possibile preparare un film composito con prestazioni migliori. Il rivestimento preparato dall'apparecchiatura presenta i vantaggi di una forte forza di adesione e compattezza, che possono migliorare efficacemente la resistenza alla nebbia salina, la resistenza all'usura e la durezza superficiale del prodotto e soddisfare i requisiti di preparazione di rivestimenti ad alte prestazioni.
L'attrezzatura è ricca di materiali applicabili, utilizzabili per componenti in acciaio inossidabile placcato acqua/parti in plastica, vetro, ceramica e altri materiali. Trova impiego principalmente nella produzione di componenti per prodotti elettronici, orologi di alta gamma, gioielli di lusso e componenti per articoli in pelle di marca e altri prodotti di pregio.


Data di pubblicazione: 7 febbraio 2023