Principe de la pulvérisation magnétronique : lors de leur accélération vers le substrat sous l’action d’un champ électrique, les électrons entrent en collision avec des atomes d’argon, ionisant un grand nombre d’ions argon et d’électrons. Ces derniers sont projetés vers le substrat. Les ions argon, accélérés par le champ électrique, bombardent le matériau cible, projetant une grande quantité d’atomes qui se déposent sur le substrat sous forme d’atomes (ou de molécules) neutres, formant ainsi un film. Lorsque les électrons secondaires sont accélérés vers le substrat, sous l’influence de la force de Lorentz du champ magnétique, ils adoptent une forme composite spirale-cycloïde, décrivant une série de mouvements circulaires à la surface de la cible. Grâce à leur long parcours, les électrons restent dans la zone de plasma proche de la surface de la cible, où une grande quantité d’argon est ionisée, bombardant ainsi la cible. Ceci explique le taux de dépôt élevé du dispositif de pulvérisation magnétronique.
Ainsi, unéquipement de revêtement par pulvérisation cathodique magnétroniqueUn procédé intégrant la pulvérisation magnétronique et le revêtement ionique a été mis au point. Il permet d'améliorer la constance de la couleur, la stabilité du taux de dépôt et la composition du composé. Selon les exigences du produit, le système de chauffage, le système de polarisation, le système d'ionisation et d'autres dispositifs peuvent être sélectionnés. La distribution des cibles est facilement ajustable, garantissant une uniformité de film supérieure. Différents matériaux cibles permettent de préparer un film composite aux performances améliorées. Le revêtement obtenu présente une forte adhérence et une grande compacité, améliorant ainsi la résistance au brouillard salin, la résistance à l'usure et la dureté superficielle du produit, et répondant aux exigences des revêtements haute performance.
Cet équipement est compatible avec une large gamme de matériaux, notamment l'acier inoxydable plaqué, les pièces en plastique, le verre, la céramique et d'autres matériaux. Il est principalement utilisé pour la fabrication de composants électroniques, d'horlogerie haut de gamme, de bijoux de luxe, ainsi que pour la quincaillerie de maroquinerie de marque et d'autres produits de prestige.
Date de publication : 7 février 2023