Das Prinzip des Magnetron-Sputterns beruht darauf, dass Elektronen beim Beschleunigen auf das Substrat unter dem Einfluss eines elektrischen Feldes mit Argonatomen kollidieren. Dabei werden zahlreiche Argonionen und Elektronen ionisiert, und die Elektronen fliegen auf das Substrat. Die Argonionen werden durch das elektrische Feld beschleunigt und bombardieren das Targetmaterial, wodurch zahlreiche Targetatome herausgeschleudert werden. Diese lagern sich als neutrale Targetatome (oder -moleküle) auf dem Substrat ab und bilden einen Film. Beim Beschleunigen auf das Substrat beschreiben die Sekundärelektronen unter dem Einfluss der Lorentzkraft des Magnetfelds eine spiralförmige und zykloide Bewegung auf der Targetoberfläche. Die Elektronen legen nicht nur einen langen Weg zurück, sondern befinden sich aufgrund der elektromagnetischen Feldtheorie auch im Plasmabereich nahe der Targetoberfläche. Dort werden zahlreiche Argonatome ionisiert und bombardieren das Target. Dadurch ist die Abscheidungsrate beim Magnetron-Sputtern hoch.
Somit einMagnetron-SputterbeschichtungsanlageEs wurde ein Verfahren entwickelt, das Magnetron-Sputtern und Ionenbeschichtung integriert und eine Lösung zur Verbesserung der Farbkonsistenz sowie der Stabilität der Abscheidungsrate und der Zusammensetzung bietet. Je nach Produktanforderungen können Heizsystem, Vorspannungssystem, Ionisationssystem und weitere Komponenten ausgewählt werden. Die Targetverteilung lässt sich flexibel anpassen, und die Filmhomogenität ist hervorragend. Mit verschiedenen Targetmaterialien kann ein Verbundfilm mit verbesserten Eigenschaften hergestellt werden. Die mit diesem Verfahren erzeugte Beschichtung zeichnet sich durch hohe Haftfestigkeit und Kompaktheit aus und verbessert effektiv die Salzsprühbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und Oberflächenhärte des Produkts. Sie erfüllt somit die Anforderungen an Hochleistungsbeschichtungen.
Die Anlage eignet sich für eine Vielzahl von Materialien, darunter Edelstahl-Beschläge, Kunststoffteile, Glas, Keramik und andere Werkstoffe. Sie wird hauptsächlich für die Hardware von Elektronikprodukten, hochwertigen Uhren, exklusivem Schmuck sowie für Lederwaren und andere hochwertige Produkte eingesetzt.
Veröffentlichungsdatum: 07.02.2023