Giới thiệu ngắn gọn và ưu điểm của thiết bị phủ màng bằng phương pháp phún xạ magnetron.

Nguyên lý lắng đọng phún xạ magnetron: các electron va chạm với các nguyên tử argon trong quá trình tăng tốc đến chất nền dưới tác dụng của điện trường, ion hóa một lượng lớn ion argon và electron, và các electron bay đến chất nền. Ion argon được tăng tốc để bắn phá vật liệu đích dưới tác dụng của điện trường, làm bắn ra một lượng lớn các nguyên tử đích, được lắng đọng trên chất nền dưới dạng các nguyên tử (hoặc phân tử) đích trung tính để tạo thành một lớp màng. Khi electron thứ cấp được tăng tốc bay đến chất nền, dưới ảnh hưởng của lực Lorentz của từ trường, nó tạo thành dạng xoắn ốc và dạng cycloid phức hợp để tạo ra một loạt các chuyển động tròn trên bề mặt đích. Electron không chỉ có quãng đường chuyển động dài, mà còn nằm trong vùng plasma gần bề mặt đích nhờ chùm tia theo lý thuyết điện từ, trong đó một lượng lớn Ar bị ion hóa để bắn phá đích, do đó tốc độ lắng đọng của thiết bị phủ phún xạ magnetron rất cao.

Do đó, mộtthiết bị phủ màng bằng phương pháp phún xạ magnetronMột hệ thống tích hợp công nghệ lắng đọng phún xạ magnetron và phủ ion đã được phát triển, cung cấp giải pháp cải thiện độ đồng nhất màu sắc và độ ổn định của tốc độ lắng đọng cũng như thành phần hỗn hợp. Tùy theo yêu cầu sản phẩm khác nhau, có thể lựa chọn hệ thống gia nhiệt, hệ thống phân cực, hệ thống ion hóa và các thiết bị khác. Sự phân bố mục tiêu có thể được điều chỉnh linh hoạt, và độ đồng nhất của màng phủ vượt trội. Với các vật liệu mục tiêu khác nhau, có thể tạo ra màng phủ hỗn hợp có hiệu suất tốt hơn. Lớp phủ được tạo ra bằng thiết bị này có ưu điểm là lực liên kết mạnh và độ đặc chắc, có thể cải thiện hiệu quả khả năng chống ăn mòn muối, chống mài mòn và độ cứng bề mặt của sản phẩm, đáp ứng yêu cầu chế tạo lớp phủ hiệu suất cao.
Thiết bị này có nhiều loại vật liệu ứng dụng, có thể dùng cho các chi tiết phần cứng mạ nước bằng thép không gỉ/các bộ phận bằng nhựa, thủy tinh, gốm sứ và các vật liệu khác. Nó chủ yếu được sử dụng cho phần cứng của các sản phẩm điện tử, đồng hồ cao cấp, đồ trang sức cao cấp và phần cứng của các thương hiệu đồ da và các sản phẩm cao cấp khác.