Fa'atomuaga pu'upu'u ma fa'amanuiaga o meafaigaluega ufiufi magnetron sputtering

Mataupu faavae o le Magnetron sputtering: e feto'ai electrons ma argon atoms i le faagasologa o le fa'avavevaveina i le substrate i lalo o le gaioiga a le eletise, ma fa'aionize ai le tele o argon ions ma electrons, ma lele electrons i le substrate. E fa'avavevave le argon ion e pomu ai le mea o lo'o fa'amoemoeina i lalo o le gaioiga a le eletise, ma sasaa ese ai le tele o atoms o lo'o fa'amoemoeina, lea e teuina i luga o le substrate o ni neutral target atoms (po'o molecules) e fausia ai se ata tifaga. A fa'avavevave le electron lona lua e lele i le substrate, i lalo o le faatosinaga a le Lorentz force o le magnetic field, e tu'uina atu ai se foliga fa'asolosolo ma cycloid e fai ai se fa'asologa o gaioiga fa'ata'amilomilo i luga o le fogaeleele o lo'o fa'amoemoeina. E le gata o le eletise e iai se ala umi o gaioiga, ae o lo'o iai pea i le eria plasma e lata ane i le fogaeleele o lo'o fa'amoemoeina e le electromagnetic field theory beam, lea e fa'aionized ai le tele o Ar e pomu ai le sini, o lea e maualuga ai le fua faatatau o le teuina o le magnetron sputtering coating device.

O lea la, o semeafaigaluega ufiufi magnetron sputteringua atiaeina, lea e tuufaatasia ai le magnetron sputtering ma le tekinolosi ufiufi ion, ma maua ai se fofo mo le faaleleia atili o le tutusa o lanu ma le https://www.zhenhuavac.com/wp-admin/post.php?post=5107&action=edit&message=1#le mautu o le fua faatatau o le teuina ma le tuufaatasiga o le tuufaatasiga. E tusa ai ma manaoga eseese o oloa, e mafai ona filifilia le faiga faamafanafana, le faiga faaituau, le faiga ionization ma isi masini. E mafai ona fetuutuunai le tufatufaina o le sini, ma e sili atu le tutusa o le ata tifaga. Faatasi ai ma meafaitino eseese o le sini, e mafai ona saunia se ata tifaga tuufaatasi e sili atu le lelei. O le ufiufi ua saunia e le masini e iai ona lelei o le malosi tuufaatasi malosi ma le mafiafia, lea e mafai ona faaleleia atili ai le tete'e atu i le masima, tete'e atu i le ofuina ma le maaa o le luga o le oloa, ma ausia ai manaoga o le sauniuniga o ufiufi maualuga.
E tele mea e mafai ona fa'aaogaina i totonu o lenei masini, e mafai ona fa'aaogaina mo mea faigaluega ua ufi i le vai/vaega palasitika e fai i le u'amea e le gaoia, tioata, seramika ma isi mea. E masani ona fa'aaogaina mo mea faigaluega o oloa eletise, uati ma uati taugata, teuga taugata ma mea faigaluega o oloa pa'u ma isi oloa taugata.