Okwu mmeghe dị mkpirikpi na uru nke magnetron sputtering mkpuchi akụrụngwa

Ụkpụrụ nke ịkụnye Magnetron: elektrọn na-adakọ na atọm argon n'usoro nke ịgba ọsọ gaa na substrate n'okpuru ọrụ nke ubi eletriki, na-eme ka ọtụtụ ion argon na elektrọn dị iche iche, elektrọn na-efekwa gaa na substrate. ion argon na-agba ọsọ iji tụọ ihe mgbaru ọsọ n'okpuru ọrụ nke ubi eletriki, na-awụsa ọtụtụ atọm ebumnuche, nke a na-etinye na substrate dị ka atọm ebumnuche na-anọpụ iche (ma ọ bụ molekul) iji mepụta ihe nkiri. Mgbe elektrọn nke abụọ na-agba ọsọ iji fega na substrate, n'okpuru mmetụta nke ike Lorentz nke ubi magnet, ọ na-egosi ụdị ihe mejupụtara gburugburu na cycloid iji mee usoro mmegharị gburugburu n'elu ebumnuche. Elektrọn ahụ abụghị naanị na ọ nwere ụzọ mmegharị ogologo, ọ ka nọ na mpaghara plasma dị nso na elu ebumnuche site na ìhè ozizi ubi electromagnetic, ebe a na-etinye nnukwu Ar iji tụọ ihe mgbaru ọsọ ahụ, yabụ ọnụego itinye nke ngwaọrụ mkpuchi magnetron dị elu.

Ya mere, amagnetron sputtering mkpuchi akụrụngwaEmepụtala ya, nke na-ejikọta teknụzụ magnetron sputtering na ion coating, ma na-enye ngwọta maka imeziwanye nguzozi agba na https://www.zhenhuavac.com/wp-admin/post.php?post=5107&action=edit&message=1# nkwụsi ike nke ọnụego nkwụnye na nhazi ihe mejupụtara ya. Dịka ihe dị iche iche achọrọ maka ngwaahịa si dị, enwere ike ịhọrọ sistemụ kpo oku, sistemụ eletrọnịkị, sistemụ ionization na ngwaọrụ ndị ọzọ. Enwere ike ịgbanwe nkesa ebumnuche n'ụzọ dị mfe, nha nha fim ahụ dịkwa mma. Site na ihe dị iche iche ebumnuche, enwere ike ịkwadebe ihe nkiri mejupụtara nwere arụmọrụ ka mma. Mkpuchi nke akụrụngwa kwadebere nwere uru nke ike ngwakọta siri ike na obere ihe, nke nwere ike imeziwanye nguzogide ịgba nnu, nguzogide iyi na ike elu nke ngwaahịa ahụ, ma mezuo ihe achọrọ maka nkwadebe mkpuchi arụmọrụ dị elu.
Ngwa a bara ụba na ihe ndị e ji arụ ọrụ, nke enwere ike iji maka ihe eji arụ ọrụ na ihe eji arụ ọrụ na mmiri, iko, seramiiki na ihe ndị ọzọ. A na-ejikarị ya eme ihe maka ngwa eletrọnịkị, elekere na elekere dị elu, ọla na ihe eji arụ ọrụ na ngwaahịa akpụkpọ anụ ndị ọzọ bara ụba.