Hordhac kooban iyo faa'iidooyinka qalabka daahan sputtering magnetron

Mabda'a faafinta Magnetron: elektaroonada ayaa isku dhaca atamka argon inta lagu guda jiro dardargelinta substrate-ka iyadoo la adeegsanayo falgalka garoonka korontada, iyadoo la isku darayo tiro badan oo ah aayada argon iyo elektaroonada, elektaroonadana waxay u duulaan substrate-ka. Aayada argon waxay dardar gelisaa si ay u duqeyso walxaha bartilmaameedka ah iyadoo la adeegsanayo falgalka garoonka korontada, iyadoo la kala firdhiyo tiro badan oo aayada bartilmaameedka ah, kuwaas oo lagu shubo substrate-ka aayada bartilmaameedka dhexdhexaadka ah (ama molecules) si ay u sameeyaan filim. Marka elektaroonada labaad ay degdegto si ay ugu duusho substrate-ka, iyadoo la saamaynayo xoogga Lorentz ee goobta birlabta, waxay soo bandhigaysaa qaab isku-dhafan oo wareegsan iyo cycloid ah si loo sameeyo taxane dhaqdhaqaaqyo wareeg ah oo dusha sare ee bartilmaameedka ah. Elektaroonku ma laha oo keliya waddo dhaqdhaqaaq oo dheer, wali wuxuu ku jiraa aagga plasma-ga oo u dhow dusha bartilmaameedka iyadoo la adeegsanayo iftiinka aragtida goobta korantada, kaas oo xaddi badan oo Ar ah lagu ioneeyay si loo duqeeyo bartilmaameedka, sidaa darteed heerka dhigista ee qalabka dahaarka magnetron-ka ayaa sarreeya.

Sidaas darteed, aqalabka daahan sputtering magnetronWaxaa la sameeyay, kaas oo isku daraya tiknoolajiyada dahaarka magnetron iyo ion, wuxuuna bixiyaa xal lagu hagaajinayo isku dheelitirka midabka iyo https://www.zhenhuavac.com/wp-admin/post.php?post=5107&action=edit&message=1# xasilloonida heerka dhigista iyo halabuurka isku-dhafka ah. Sida waafaqsan shuruudaha badeecada ee kala duwan, nidaamka kuleylinta, nidaamka eexda, nidaamka ionization iyo aaladaha kale ayaa la dooran karaa. Qaybinta bartilmaameedka waxaa si dabacsan loo hagaajin karaa, isku-dhafka filimkuna waa ka sarreeyaa. Iyada oo la adeegsanayo agabyo kala duwan oo bartilmaameed ah, filim isku-dhafan oo leh waxqabad wanaagsan ayaa la diyaarin karaa. Dahaarka uu diyaariyey qalabku wuxuu leeyahay faa'iidooyinka xoog isku-dhafan oo xooggan iyo isku-dhafan, kaas oo si wax ku ool ah u hagaajin kara iska caabbinta buufinta milixda, iska caabbinta xirashada iyo adkaanta dusha sare ee badeecada, iyo buuxinta shuruudaha diyaarinta dahaarka waxqabadka sare leh.
Qalabku wuxuu qani ku yahay agabyada la isticmaali karo, kuwaas oo loo isticmaali karo qalabka birta aan miridhku lahayn ee biyaha lagu dahaadhay, galaaska, dhoobada iyo agabyada kale. Waxaa inta badan loo isticmaalaa qalabka alaabada elektarooniga ah, saacadaha iyo saacadaha heerka sare ah, dahabka heerka sare ah iyo qalabka maqaarka ee summada leh iyo alaabada kale ee hodanka ah.